專利名稱：電子部件的高頻特性誤差修正方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子部件的高頻特性誤差修正方法，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及在2端子阻抗部件的高頻特性的測(cè)量中，修正測(cè)量系統(tǒng)的誤差的方法。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)的電子部件的批量生產(chǎn)工序中，使用自動(dòng)特性分選機(jī)，測(cè)量電子部件的電氣特性。自動(dòng)特性分選機(jī)中的測(cè)量系統(tǒng)，由于成為基準(zhǔn)的測(cè)量系統(tǒng)和電路特性不同，所以修正利用自動(dòng)特性分選機(jī)獲得的測(cè)量值，推定成為基準(zhǔn)的測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量值后，能夠提高產(chǎn)品的合格率。作為進(jìn)行這種修正的方法，被稱作“S0LT、TRL校正及RRRR/TRRR校正”的技術(shù)，已經(jīng)廣為人知。首先，講述TRL/S0LT校正。作為旨在測(cè)量被檢查件——表面安裝部件的散布系數(shù)行列的真值而能夠使用的現(xiàn)有技術(shù)，TRL校正是最有效的技術(shù)。另外，作為廣泛使用的現(xiàn)有技術(shù)，還有SOLT校正。對(duì)于它們進(jìn)行簡(jiǎn)單的講述。為了獲得被檢查件的真值，必須鑒別測(cè)量系統(tǒng)的誤差因素，從測(cè)量結(jié)果中去掉誤差因素的影響。

圖1表示在代表性的誤差除去方法(校正方法)中使用的誤差模型(error models)。就是說(shuō)，如圖1 (a)所示，被檢查件——電子部件2與在測(cè)量工具10的上面形成的傳輸線路連接。在測(cè)量工具10的傳輸線路的兩端設(shè)置的連接器lla、llb，與在同軸電纜50、 60的一端設(shè)置的連接器51、61連接，同軸電纜50、60的另一端與未圖示的網(wǎng)絡(luò)分析器的測(cè)量端口連接。箭頭51s、61s表示校正面。圖1(b)是1扎修正的誤差模型，在用散布系數(shù)5114、5124、&吣&24表示的測(cè)量工具的電路12和端子對(duì)B1-I^a2-ID2之間，用散布系數(shù)^^e^emen表示的一個(gè)測(cè)量端口側(cè)的電路52和用散布系數(shù)f, f01> f10> fn表示的另一個(gè)測(cè)量端口側(cè)的電路62連接。圖1(c)是SOLT修正的誤差模型，在用散布系數(shù)S11A、S12A、S21A, 表示的測(cè)量工具的電路14的兩側(cè)，用散布系數(shù)Edf、Ekf、I、Esf表示的一個(gè)測(cè)量端口側(cè)的電路M和用散布系數(shù)E『Etf表示的另一個(gè)測(cè)量端口側(cè)的電路64連接。進(jìn)行SOLT校正時(shí)，為了鑒別誤差因素，必須將至少3種散布系數(shù)已知的器件安裝到被檢查件的測(cè)量面上后進(jìn)行測(cè)量，如圖2所示，傳統(tǒng)性地大多使用開(kāi)路(OPEN)、短路 (SHORT)、終端(LOAD = 50 Ω )的標(biāo)準(zhǔn)器80、81、82。但是在同軸環(huán)境以外，實(shí)現(xiàn)良好的“開(kāi)路” “短路”的標(biāo)準(zhǔn)器非常困難，不能夠用工具10的前端(用箭頭51s、61s表示的校正面) 校正。如果是同軸環(huán)境，這種標(biāo)準(zhǔn)器由于能夠采用滑動(dòng)的負(fù)載等手法實(shí)現(xiàn)，所以該方法被廣泛使用，被稱作“ SOLT校正”。所謂“TRL校正”，是取代難以實(shí)現(xiàn)的器件形狀的標(biāo)準(zhǔn)器，將端口之間直接連接狀態(tài)(Through)和全反射(Reflection，通常為短路)及長(zhǎng)度不同的多種傳輸線路(Line)作為標(biāo)準(zhǔn)器使用。由于比較容易制作散布系數(shù)已知的器件，而且全反射也短路后能夠比較簡(jiǎn)單地預(yù)料其特性，所以特別在波導(dǎo)管環(huán)境中，作為精度最高的校正方法，標(biāo)準(zhǔn)器的傳輸線路廣為人知。圖3示出TRL校正的誤差因素導(dǎo)出方法。圖中，給傳輸線路加了斜線。校正面如用箭頭2s、2t所示的那樣，是與器件連接的連接部。為了鑒別誤差因素，將端口之間直接連接狀態(tài)(Through)的基板86和全反射(Reflection，通常為短路)的基板83及長(zhǎng)度不同的多種傳輸線路(Line)的基板84、885作為標(biāo)準(zhǔn)器使用。在該例中，Through是所謂的 kro-Through。測(cè)量被檢查件時(shí)，使被檢查件2和只增加了被檢查件的大小的長(zhǎng)度的測(cè)量基板串聯(lián)后，進(jìn)行測(cè)量。TRL、SOLT校正的概要如上所述，但是在這些技術(shù)中，存在著以下2個(gè)問(wèn)題(1)在標(biāo)準(zhǔn)器——傳輸線路等(Line數(shù)種類和Reflection)和Through中，如果同軸-平面?zhèn)鬏斁€路的連接部產(chǎn)生的誤差因素不完全相等，就要產(chǎn)生校正誤差。例如即使在各標(biāo)準(zhǔn)器中使用相同種類的連接器，也在互不不同時(shí)，特別是連接器的特性離差的影響變得非常大，接近毫米波帶后，事實(shí)上就不能實(shí)施。(2)為了解決上述課題，在市場(chǎng)上銷售的工具，雖然將同軸連接器作為共同，與標(biāo)準(zhǔn)器傳輸線路接觸連接，絞盡腦汁地避免連接器測(cè)量的離差的影響，但是由于同軸管腳破損，在結(jié)構(gòu)上難以確保向檢出部施加足夠的按壓載荷，由于接觸不穩(wěn)定，校正往往不穩(wěn)定。 另外，由于測(cè)量頻率增大后，傳輸線路和同軸管腳也通常變細(xì)，所以它們的定位再現(xiàn)性造成的測(cè)量離差變大。為了解決這些問(wèn)題，有人提出了所謂的RRRR/TRRR校正法。接著，講述RRRR/TRRR校正法的概要。它們的特征在于只在一個(gè)傳輸線路上的規(guī)定的幾處，將信號(hào)導(dǎo)體和接地導(dǎo)體短路，從而能夠鑒別到傳輸線路前端為止的測(cè)量系統(tǒng)的誤差，高精度地測(cè)量表面安裝部件的高頻電氣特性。它們的優(yōu)點(diǎn)是與在TRL/S0LT校正法中成問(wèn)題的傳輸線路特性的離差及傳輸線路和同軸連接器的接點(diǎn)狀態(tài)的離差沒(méi)有關(guān)系。誤差模型如圖4及圖5所示，和S0LT/TRL校正同樣。就是說(shuō)，圖4是TRRR校正的誤差模型，與圖1 (c)所示的SOLT校正的誤差模型相同；圖5是RRRR校正的誤差模型，與圖 1(b)所示的TRL校正的誤差模型相同。RRRR/TRRR校正法的要點(diǎn)，是校正使用的“標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量值”的測(cè)量方法，在SOLT中將標(biāo)準(zhǔn)器件作為“標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量值”，在TRL中將標(biāo)準(zhǔn)傳輸線路的測(cè)量值作為“標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量值”，而在 RRRR/TRRR校正法中，如圖6所示，將在測(cè)量基板IOa上改變短路基準(zhǔn)的位置后進(jìn)行測(cè)量的測(cè)量值作為“標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量值”。因?yàn)椴划a(chǎn)生連接器的影響，所以在臺(tái)上測(cè)量時(shí)，可以說(shuō)是比SOLT 校正及TRL校正精度高的有效的方法?？墒牵赥RRR/RRRR校正法中，由于將短路基準(zhǔn)(短路片2s)與工具傳輸線路10s、 IOt連接的位置的差異產(chǎn)生的反射系數(shù)的變化，作為校正基準(zhǔn)使用，所以測(cè)量的信號(hào)的波長(zhǎng)較長(zhǎng)時(shí)(頻率較低時(shí))，需要大大改變短路基準(zhǔn)的連接位置，需要加長(zhǎng)圖中的1\、T2,需要加長(zhǎng)測(cè)量基板IOa的長(zhǎng)度(用箭頭表示的方向的尺寸)。另外，因?yàn)樵诮Y(jié)構(gòu)、尺寸上受到限制， 所以難以采用設(shè)置旨在修正工具IOa的GND端子及能夠高精度地將短路片2s定位的結(jié)構(gòu)(例如參照專利文獻(xiàn)1、2)。專利文獻(xiàn)1 :W02005/101033號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :W02005/101034號(hào)公報(bào)# # ^lJ i K 1 :Application Note 1287-9 In-Fixture Measurements Using Vector Network Analyzers, ((C) 1999Hewlett_Packard Company)在電子部件的批量生產(chǎn)工序中使用自動(dòng)特性分選機(jī)，例如象圖9的主要部件結(jié)構(gòu)圖所示的那樣，被檢查件——電子部件2的電極2a、2b被從測(cè)量端子部30中突出的測(cè)量管腳32a、32b按壓后，在測(cè)量管腳32a、32b之間串聯(lián)，測(cè)量管腳32a、32b通過(guò)同軸電纜34、 36作媒介，與未圖示的測(cè)量機(jī)連接。在測(cè)量端子部30的周圍，只能確?？梢赃B接電子部件 2的程度的狹窄的空間時(shí)，不得不在實(shí)質(zhì)上只能使批量器件本身或與批量器件大致相同尺寸、形狀的試料與測(cè)量端子部30連接的制約下，進(jìn)行測(cè)量系統(tǒng)的誤差修正。這時(shí)，就產(chǎn)生了下述課題。(1)終究不能將長(zhǎng)度不同的傳輸線路與自動(dòng)特性分選機(jī)的測(cè)量端子部連接，不能夠采用TRL校正。(2) SOLT校正實(shí)際上不能用測(cè)量端子部的前端進(jìn)行校正，存在著只能采用同軸、導(dǎo)波管系統(tǒng)的制約。通常到同軸連接器部為止，采用SOLT校正進(jìn)行校正，不產(chǎn)生誤差地設(shè)計(jì)以后的傳輸線路，從而獲得足夠的測(cè)量精度?？墒牵谧詣?dòng)特性分選機(jī)的測(cè)量端子部中，由于對(duì)同軸連接器以后的傳輸線路的尺寸、形狀有限制，所以只靠到同軸連接器部為止的校正，往往不能獲得足夠的精度。(3)即使在SOLT校正中進(jìn)行一些改進(jìn)，要用測(cè)量端子部的前端測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)器件，也要產(chǎn)生如下問(wèn)題。i)在SOLT校正中，需要測(cè)量各端口的1端口器件。就是說(shuō)，如圖7的測(cè)量基板IOb 的平面圖所示，在一條信號(hào)線IOx的狹縫IOk之間，串聯(lián)2端子電子部件進(jìn)行測(cè)量時(shí)，因?yàn)闇y(cè)量不需要，所以在端子部中沒(méi)有接地端子?？墒?，在SOLT校正中如果沒(méi)有接地導(dǎo)體，就不能夠測(cè)量1端口器件，所以為了采用SOLT校正，需要設(shè)計(jì)僅僅為了進(jìn)行校正的接地端子。ii)在SOLT校正中，2個(gè)端口的每一個(gè)都需要測(cè)量數(shù)值已知的3種1端口器件。但是如圖8的測(cè)量基板IOc的平面圖所示，由于在信號(hào)導(dǎo)體IOp和接地導(dǎo)體IOg之間連接器件的2個(gè)端子，所以不能夠測(cè)量各端口獨(dú)立的1端口器件。(4)串聯(lián)測(cè)量電子部件時(shí)，因?yàn)闇y(cè)量不需要，所以在端子部中沒(méi)有接地端子?？墒?， 在RRRR校正中需要進(jìn)行短路測(cè)量，所以為了采用RRRR校正，需要設(shè)計(jì)僅僅為了進(jìn)行校正的接地端子。(5)在RRRR校正中，在基板的多處進(jìn)行短路測(cè)量，頻率較低時(shí)，需要大大改變短路基準(zhǔn)的連接位置，因此需要加長(zhǎng)測(cè)量基板的長(zhǎng)度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是針對(duì)上述情況研制的，其目的在于提供能夠在成為修正對(duì)象的測(cè)量系統(tǒng)保持和實(shí)測(cè)時(shí)相同的狀態(tài)下，對(duì)于2端子阻抗部件進(jìn)行校正作業(yè)的電子部件的高頻特性誤差修正方法。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供采用以下結(jié)構(gòu)的電子部件的高頻特性誤差修正方法。電子部件的高頻特性誤差修正方法，是根據(jù)用實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量2端子阻抗部件——電子部件的結(jié)果，計(jì)算出如果用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值的方法。電子部件的高頻特性誤差修正方法，具備(1)準(zhǔn)備用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的、高頻特性不同的至少3個(gè)第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的第1步驟；O) 用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或被認(rèn)為具有和所述第1 修正數(shù)據(jù)取得用試料同等的高頻特性的至少3個(gè)第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的第2步驟；(3) 根據(jù)在所述第1步驟中準(zhǔn)備的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的數(shù)據(jù)和在所述第2步驟中用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或第2 修正數(shù)據(jù)取得用試料的測(cè)量數(shù)據(jù)，決定使用傳輸線路的誤差修正系數(shù)將用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值和用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值聯(lián)系起來(lái)的公式的第3步驟；(4)用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量任意的電子部件的第4步驟；( 根據(jù)在所述第4步驟中獲得的測(cè)量結(jié)果，使用在所述第3步驟中決定的所述公式，計(jì)算出如果用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值的第5步驟。在所述第1步驟中準(zhǔn)備的第1修正數(shù)據(jù)取得用試料，即使實(shí)際上用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量過(guò)而預(yù)先標(biāo)稱，也可以采用除此以外的方法預(yù)先標(biāo)稱。例如可以對(duì)于被認(rèn)為同等的特性的許多試料，只實(shí)際上用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量其一部分試料，而在其它試料的標(biāo)稱中使用該測(cè)量值。采用上述方法后，能夠使用和電子部件實(shí)質(zhì)上相同形狀、尺寸的修正數(shù)據(jù)取得用試料，能夠執(zhí)行第1及第2步驟?，F(xiàn)有技術(shù)的自動(dòng)特性分選機(jī)的測(cè)量系統(tǒng)只能校正到同軸連接器前端為止，而采用上述方法后，能夠校正到連接電子部件的端子部前端為止。理想的一種實(shí)施方式，在所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)中，所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件或所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料、所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件被串聯(lián)(series-connect)。所述公式，根據(jù)在測(cè)量用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件時(shí)的阻抗Zm的端子和測(cè)量用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件時(shí)的阻抗&的端子ld、 之間連接的誤差模型導(dǎo)出。計(jì)算從所述端子Im看的阻抗時(shí)，所述誤差模型(error models), 阻抗Z11和阻抗&在所述端子Im和所述端子“之間串聯(lián)，在所述阻抗Z11和阻抗&的連接點(diǎn)和接地之間連接Z12，在所述端子 和所述端子 之間連接阻抗Z21，在所述端子 和接地之間連接&2。所述阻抗Zf、Z11, Z12, Z21, Z22,使用在所述第1步驟中測(cè)量至少3個(gè)所述第 1修正數(shù)據(jù)取得用試料的阻抗的結(jié)果Ai、zd2、Zd3和在所述第2步驟中對(duì)于至少3個(gè)所述第 1修正數(shù)據(jù)取得用試料或第2修正數(shù)據(jù)取得用試料測(cè)量所述端子Im的阻抗的結(jié)果Zmll、Zml2、 Zffll3及測(cè)量所述端子4的阻抗的結(jié)果zm21、Zm22、Zm23，通過(guò)下列[公式la][公式la]denom = (Zd2-Zdl) Zml3+ (Zdl-Zd3) Zml2+ (Zd3-Zd2) Zmll Z11 = [士 ^Zdl - Zdl - Zdl ^jZdi - Zd2」Zmll - Zmll pmli - Zmll ^Zmu - Zml2- {(ZJ3 - A2 Vml2Znil3 + (Zdl -Zd3)ZmliZml3 + (Zd2 -ZdX)ZmUZmn}]/ denomZ12 = ±V(Zrf2 -ZdlXZ2d,+(-Zd2-Zdi)Zds + ZrflZrf2)(Zml2 - Zmll)(Z:13 + (-Zml2 - Zrall)Zml3 + ZrallZml2)
權(quán)利要求
1. 一種電子部件的高頻特性誤差修正方法，該方法根據(jù)用實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)對(duì)2端子阻抗部件的電子部件進(jìn)行測(cè)量的結(jié)果，計(jì)算出如果用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值， 該方法具備準(zhǔn)備用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的、高頻特性不同的至少3個(gè)第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的第1步驟；用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或被認(rèn)為具有與所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料同等的高頻特性的至少3個(gè)第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的第2步驟；根據(jù)在所述第1步驟中準(zhǔn)備的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的數(shù)據(jù)和在所述第2步驟中用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的測(cè)量數(shù)據(jù)，決定使用傳輸線路的誤差修正系數(shù)將用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值與用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值聯(lián)系起來(lái)的公式的第3步驟；用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量任意的電子部件的第4步驟；和根據(jù)在所述第4步驟中獲得的測(cè)量結(jié)果，使用在所述第3步驟中決定的所述公式，計(jì)算出如果用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值的第5步驟，其特征在于在所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)中，所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件或所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料、所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件被并聯(lián)連接；所述公式，根據(jù)在用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件時(shí)測(cè)量導(dǎo)納Ym的端子Im^m與在用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件時(shí)測(cè)量導(dǎo)納Yd的端子lddd之間連接的誤差模型導(dǎo)出； 計(jì)算從所述端子Im看的導(dǎo)納時(shí)，所述誤差模型，在所述端子Im與所述端子Id之間連接導(dǎo)納Y12，在所述端子Im和所述導(dǎo)納Y12的連接點(diǎn)與接地之間連接導(dǎo)納Y11,在所述導(dǎo)納Y12和所述端子Id的連接點(diǎn)與接地之間連接導(dǎo)納Yf，在所述端子 和所述端子 之間連接導(dǎo)納 ^，在所述導(dǎo)納\2和所述端子 的連接點(diǎn)與接地之間連接導(dǎo)納Y21 ； 所述導(dǎo)納 Yf、Yn、Y12J21J22，使用在所述第1步驟中測(cè)量至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的導(dǎo)納的結(jié)果Ydl、 Yd2>Yd3和在所述第2步驟中對(duì)至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料，測(cè)量所述端子Im的導(dǎo)納的結(jié)果Ymll、Yml2、Yml3及測(cè)量所述端子 的導(dǎo)納的結(jié)果由下列公式3a和下列公式3b獲得的16組Yn、Y12、Y21J22的組合中， 對(duì)下列公式4，使用Yfl、Yf2、Yf3致的至少一個(gè)組合來(lái)確定， [公式3a]
2. 一種電子部件的高頻特性誤差修正方法，該方法根據(jù)用實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)對(duì)2端子阻抗部件的電子部件進(jìn)行測(cè)量的結(jié)果，計(jì)算出如果用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值， 該方法具備準(zhǔn)備用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的、高頻特性不同的至少3個(gè)第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的第1步驟；用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或被認(rèn)為具有與所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料同等的高頻特性的至少3個(gè)第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的第2步驟；根據(jù)在所述第1步驟中準(zhǔn)備的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的數(shù)據(jù)和在所述第2步驟中用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的測(cè)量數(shù)據(jù)，決定使用傳輸線路的誤差修正系數(shù)將用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值與用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值聯(lián)系起來(lái)的公式的第3步驟；用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量任意的電子部件的第4步驟；和根據(jù)在所述第4步驟中獲得的測(cè)量結(jié)果，使用在所述第3步驟中決定的所述公式，計(jì)算出如果用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值的第5步驟，其特征在于在所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)中，所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件或所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料、所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件被串聯(lián)連接；所述第3步驟包含子步驟，該子步驟中，將在所述第1步驟中準(zhǔn)備的所述高頻特性不同的至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行的標(biāo)稱、和在所述第 2步驟中獲得的高頻特性不同的至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或被認(rèn)為具有與所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料同等的高頻特性的至少3個(gè)所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值，變換成為阻抗參數(shù)，進(jìn)而導(dǎo)出其差動(dòng)阻抗成分；所述公式，通過(guò)2端口誤差模型作媒介，將用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)利用2個(gè)端口測(cè)量電子部件時(shí)的阻抗，與用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件時(shí)的阻抗關(guān)聯(lián)，根據(jù)1端口誤差模型導(dǎo)出，該1端口誤差模型只有1個(gè)端口，該端口輸入在用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件時(shí)測(cè)量阻抗的2個(gè)端口的差動(dòng)信號(hào)。
3. 一種電子部件的高頻特性誤差修正方法，該方法根據(jù)用實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)對(duì)2端子阻抗部件的電子部件進(jìn)行測(cè)量的結(jié)果，計(jì)算出如果用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值，該方法具備準(zhǔn)備用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的、高頻特性不同的至少3個(gè)第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的第1步驟；用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或被認(rèn)為具有與所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料同等的高頻特性的至少3個(gè)第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的第2步驟；根據(jù)在所述第1步驟中準(zhǔn)備的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)稱的數(shù)據(jù)和在所述第2步驟中用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的測(cè)量數(shù)據(jù)，決定使用傳輸線路的誤差修正系數(shù)將用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值與用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值聯(lián)系起來(lái)的公式的第3步驟；用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量任意的電子部件的第4步驟；和根據(jù)在所述第4步驟中獲得的測(cè)量結(jié)果，使用在所述第3步驟中決定的所述公式，計(jì)算出如果用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值的第5步驟，其特征在于在所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)中，所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件或所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料、所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料及所述電子部件被并聯(lián)連接；所述第3步驟包含子步驟，該子步驟中，將在所述第1步驟中準(zhǔn)備的所述高頻特性不同的至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料的用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行的標(biāo)稱、和在所述第 2步驟中獲得的高頻特性不同的至少3個(gè)所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料或被認(rèn)為具有與所述第1修正數(shù)據(jù)取得用試料同等的高頻特性的至少3個(gè)所述第2修正數(shù)據(jù)取得用試料的用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值，變換成為導(dǎo)納參數(shù)，進(jìn)而導(dǎo)出其同相導(dǎo)納成分；所述公式，通過(guò)2端口誤差模型作媒介，將用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)利用2個(gè)端口測(cè)量電子部件時(shí)的導(dǎo)納，與用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件的導(dǎo)納關(guān)聯(lián)，根據(jù)1端口誤差模型導(dǎo)出，該1端口誤差模型只有1個(gè)端口，該端口輸入測(cè)量用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量電子部件時(shí)的導(dǎo)納的2個(gè)端口的同相信號(hào)。
4. 一種電子部件的高頻特性誤差修正裝置，其特征在于，用于權(quán)利要求1 3任一項(xiàng)所述電子部件的高頻特性誤差修正方法的至少所述第5步驟中， 所述高頻特性誤差修正裝置，具備存儲(chǔ)部，該存儲(chǔ)部存儲(chǔ)在所述第3步驟中決定的所述公式和在所述第4步驟中獲得的用所述實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量任意的電子部件的測(cè)量值；和演算部，該演算部使用所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的所述公式，進(jìn)行修正所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述測(cè)量值的運(yùn)算，計(jì)算用所述基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值。
全文摘要
電子部件的高頻特性誤差修正方法，能夠在成為修正對(duì)象的測(cè)量系統(tǒng)保持和實(shí)測(cè)時(shí)相同的狀態(tài)下，對(duì)于2端子阻抗部件進(jìn)行校正作業(yè)。用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)和實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量高頻特性不同的至少3個(gè)修正數(shù)據(jù)取得用試料，決定使用傳輸線路的誤差修正系數(shù)將用實(shí)測(cè)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值和用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量的測(cè)量值聯(lián)系起來(lái)的公式。用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量任意的電子部件，使用決定的公式，計(jì)算出如果用基準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量該電子部件將會(huì)獲得的該電子部件的高頻特性的推定值。
文檔編號(hào)G01R27/28GK102520258SQ20111036332
公開(kāi)日2012年6月27日 申請(qǐng)日期2007年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月30日
發(fā)明者森太一, 神谷岳, 藤井直樹(shù) 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所