專利名稱：具有低成本封裝的壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
當(dāng)前公開(kāi)一般地涉及壓力傳感器，并且更特別的，涉及具有低成本封裝的壓力傳感器。
背景技術(shù)：
壓力傳感器在廣泛的各種應(yīng)用中被使用，例如包括商業(yè)、自動(dòng)化、航天、工業(yè)、以及醫(yī)療應(yīng)用。在許多應(yīng)用中，壓力傳感器可通過(guò)通常形成在壓力感測(cè)管芯上的感測(cè)元件檢測(cè)壓力，感測(cè)元件將由引入的壓力所引起的機(jī)械應(yīng)力轉(zhuǎn)換為電輸出信號(hào)。在這些應(yīng)用的某些中，可能希望的是盡可能地降低壓力傳感器的成本。

發(fā)明內(nèi)容
本公開(kāi)一般地涉及壓力傳感器，并且更特別的，涉及用于感測(cè)例如氣體或液體的介質(zhì)的壓力的壓力傳感器。在一個(gè)說(shuō)明性的實(shí)施例中，壓力傳感器組件可包括具有前側(cè)和后側(cè)的壓力感測(cè)管芯。壓力傳感器組件可進(jìn)一步包括壓力感測(cè)隔膜，該壓力感測(cè)隔膜具有一個(gè)或多個(gè)與該壓力感測(cè)隔膜相結(jié)合的壓阻元件，用于感測(cè)在壓力感測(cè)隔膜中壓力引起的應(yīng)力。兩個(gè)或更多電焊盤(pán)可放置在壓力傳感器管芯的前側(cè)上，并且兩個(gè)或更多電焊盤(pán)中的每一個(gè)與一個(gè)或多個(gè)壓阻元件電耦合。壓力傳感器組件可進(jìn)一步包括具有安裝側(cè)和感測(cè)側(cè)的外殼。該感測(cè)側(cè)可限定壓力端口。壓力傳感器管芯可固定到外殼使得壓力傳感器管芯的后側(cè)面向外殼的感測(cè)側(cè)，并且壓力感測(cè)隔膜被暴露給壓力端口。當(dāng)如此固定時(shí)，壓力感測(cè)管芯的前側(cè)可接近外殼的安裝側(cè)而放置，并且可從外殼的外側(cè)接入壓力感測(cè)管芯的兩個(gè)或多個(gè)電焊盤(pán)。在某些實(shí)例中，壓力端口可包括延長(zhǎng)的壓力端口。提供了前述的概要是為了方便總的理解當(dāng)前公開(kāi)的某些創(chuàng)新特征，并且不是為了作為完整的描述。本公開(kāi)的完整理解可通過(guò)將完整的說(shuō)明書(shū)、權(quán)利要求、附圖和摘要作為整體來(lái)得到。


本公開(kāi)可通過(guò)結(jié)合附圖考慮各個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例的隨后描述而被更完整地理解，其中圖I為說(shuō)明性的壓力傳感器的分解透視頂視圖2為圖I的說(shuō)明性的壓力傳感器的分解透視底視圖3為圖I和圖2的說(shuō)明性的壓力傳感器的透視圖4為另一個(gè)說(shuō)明性的壓力傳感器的分解透視頂視圖5為圖4的說(shuō)明性的壓力傳感器的分解透視底視圖；以及圖6為圖4和圖5的說(shuō)明性的壓力傳感器的透視圖。雖然本公開(kāi)服從于各種修改和可替換形式，但其細(xì)節(jié)已經(jīng)以附圖中實(shí)例的方式示出并將詳細(xì)描述。不過(guò)，應(yīng)該理解的是，不試圖將公開(kāi)限制于在此描述的特定的說(shuō)明性實(shí)施例。相反，則試圖將覆蓋所有落入本公開(kāi)精神和范圍內(nèi)的修改、等同和替換。
具體實(shí)施例方式應(yīng)當(dāng)參考附圖理解以下描述，其中在不同附圖中的相似元件采用相同的編號(hào)。說(shuō)明書(shū)和不必要進(jìn)行縮放的附圖描繪了說(shuō)明性實(shí)施例并且不是為了限制公開(kāi)的范圍。描繪的說(shuō)明性實(shí)施例僅是為了作為示范。任何說(shuō)明性實(shí)施例的所選特征可被合并在附加的實(shí)施例中，除非明確指定為相反的情況。如在此使用的術(shù)語(yǔ)“流質(zhì)”不是為了限制為液體介質(zhì)。相反，術(shù)語(yǔ)“流質(zhì)”被認(rèn)為是包含任何易于流動(dòng)的物質(zhì)，例如但不限于，液體和/或氣體。圖I是說(shuō)明性的壓力傳感器組件10的分解透視頂視圖。該壓力傳感器組件10可包括配置為在壓力感測(cè)管芯12和客戶應(yīng)用之間提供流質(zhì)連通的端口外殼20。該外殼20可由塑料、聚酰胺、陶瓷、金屬、或任何其它適合材料形成。雖然外殼20圖示為具有大致正方形的外形，所想到的是，外殼20可具有任何期望的形狀。外殼20可包括頂側(cè)23和底側(cè)25 (在圖2中更好地示出)。在某些實(shí)例中，外殼20可包括從頂側(cè)23延伸至底側(cè)25的壓力端口 26。該壓力端口 26可配置為允許在應(yīng)用和壓力傳感器組件10的壓力感測(cè)管芯之間的流質(zhì)連通。雖然壓力端口 26圖示為包括圓形孔，所想到的是，該壓力端口 26可如期望地適于包括各種接口選擇和連接。例如，所想到的是，壓力端口 26可如期望地包括任何外形或尺寸，通常取決于手邊的特定應(yīng)用。進(jìn)一步需所想到的是，在某些實(shí)施例中，外殼20可不包括端口 26。當(dāng)如此提供時(shí)，外殼20連同壓力感測(cè)管芯的后側(cè)可形成用于容納參考?jí)毫Φ姆忾]空腔。在一個(gè)說(shuō)明性的實(shí)施例中，壓力感測(cè)管芯12可以是利用硅片和適合的制造技術(shù)所制造的微機(jī)械傳感器元件。壓力感測(cè)管芯12可包括一個(gè)或多個(gè)壓力感測(cè)元件和/或利用適當(dāng)?shù)闹圃旎蛴∷⒓夹g(shù)形成的其它電路(例如配平電路、信號(hào)調(diào)節(jié)電路等)。在某些情況下， 壓力感測(cè)管芯12可包括壓力感測(cè)隔膜18，該壓力感測(cè)隔膜18包括在其上形成的一個(gè)或多個(gè)感測(cè)元件，例如壓阻感測(cè)部件，用于感測(cè)撓曲并以此感測(cè)壓力感測(cè)隔膜18的頂和底側(cè)之間的壓力差異。壓敏電阻可以這樣的方式配置使得它們的電阻響應(yīng)于壓力感測(cè)隔膜18的撓曲而變化。在某些實(shí)例中，壓力感測(cè)隔膜18可包括構(gòu)建在微機(jī)械加工的硅隔膜結(jié)構(gòu)中的壓阻式惠斯通電橋。因此，當(dāng)布置壓力傳感器組件10以使得壓力端口 26與流質(zhì)介質(zhì)處于流質(zhì)連通時(shí)，壓力傳感器組件10的壓力輸出可對(duì)應(yīng)于壓敏電阻的電阻值的變化。在某些實(shí)施例中，壓力感測(cè)隔膜18可通過(guò)后側(cè)蝕刻硅管芯來(lái)制造，不過(guò)，可如期望地使用任何適合的工藝。壓力感測(cè)管芯12可包括后側(cè)16和相對(duì)的前側(cè)14 (在圖2中更好地示出)。感測(cè)管芯12的后側(cè)16可利用粘合劑、密封、墊片、或任何其它適合的接合或密封機(jī)制32 (例如焊接、共熔等)接合到外殼20。在某些實(shí)例中，壓力感測(cè)管芯12可利用應(yīng)力隔離粘合劑附著到外殼20，應(yīng)力隔離粘合劑例如但不限于室溫硫化(RTV)硅橡膠粘合劑。密封32可配置為將感測(cè)管芯12附著到外殼20，同時(shí)允許壓力感測(cè)隔膜18暴露給由外殼20所限定的壓力端口 26。圖2示出了圖I的說(shuō)明性的壓力傳感器10的分解透視底視圖?？梢钥闯?，外殼20 的底側(cè)25可包括安裝側(cè)表面22和感測(cè)側(cè)表面24。如所示的，安裝側(cè)22通過(guò)一個(gè)或多個(gè)橫側(cè)壁28與感測(cè)側(cè)22連接但向后隔開(kāi)。在某些實(shí)施例中，安裝側(cè)22可限定開(kāi)口使得感測(cè)側(cè) 24和側(cè)壁28—起限定壓力感測(cè)管芯空腔34。在某些實(shí)施例中，壓力感測(cè)管芯12可安裝在
4管芯空腔34內(nèi)使得壓力感測(cè)管芯12的后側(cè)16面向和/或附著到外殼20的感測(cè)側(cè)24的內(nèi)表面。外殼20的感測(cè)側(cè)24可限定包括壓力端口 26的壁，以使得當(dāng)壓力感測(cè)管芯12安裝在管芯空腔34內(nèi)時(shí)，壓力端口 26與壓力感測(cè)隔膜18處于流質(zhì)連通。在外殼20的感測(cè)側(cè)24和壓力感測(cè)管芯12的后側(cè)16之間可布置密封32、粘合劑層、墊片、或其它密封機(jī)制以在管芯空腔34內(nèi)固定管芯12。當(dāng)壓力感測(cè)管芯12固定在外殼的管芯空腔34之內(nèi)時(shí)，可接近(在之下或之上)外殼20的安裝側(cè)22放置壓力感測(cè)管芯12的前側(cè)14。壓力感測(cè)管芯12可包括布置在管芯12的前側(cè)14上的一個(gè)或多個(gè)電焊盤(pán)30?？扇绱瞬贾秒姾副P(pán)30以使得焊盤(pán)30可從外殼20的外側(cè)接入。在某些實(shí)例中，電焊盤(pán)30可與壓力感測(cè)隔膜18的一個(gè)或多個(gè)感測(cè)元件電連接。在某些實(shí)施例中，壓力感測(cè)管芯12可包括四個(gè)電焊盤(pán)30，每個(gè)與包括感測(cè)壓敏電阻的惠斯通電橋的四個(gè)連接點(diǎn)之一相連接。不過(guò)，所想到的是，壓力感測(cè)管芯12可如期望地包括任何數(shù)量的電焊盤(pán)30。在某些實(shí)施例中， 電焊盤(pán)30可以是O. 7毫米乘O. 3毫米，或任何其它適合的尺寸。這可使用戶容易地使用例如焊膏溶液將壓力感測(cè)組件10直接安裝在印刷電路板(PCB)或其它接口或基板上。在另一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，電焊盤(pán)30可以是相對(duì)小的，在其上附著有隆起焊盤(pán)使得壓力傳感器 10可連接到PCB的特別接口。在某些情況下，電焊盤(pán)30可經(jīng)過(guò)外殼20的安裝側(cè)22向外延伸，但這不是必需的。圖3為組合的圖2的壓力傳感器10的透視圖?？梢钥闯?，壓力感測(cè)管芯12可被定尺寸和定形狀以大致對(duì)應(yīng)于外殼20的壓力感測(cè)管芯空腔34的尺寸和形狀。當(dāng)組裝時(shí)， 在某些實(shí)例中，壓力感測(cè)管芯12的前側(cè)14可接近外殼20的安裝側(cè)22或大致在其附近被放置。不過(guò)，所想到的是，在某些實(shí)施例中，壓力感測(cè)管芯12的前側(cè)14可凹入管芯空腔34 內(nèi)或可超出外殼20的安裝側(cè)22向外延伸?？扇绱朔胖脡毫Ω袦y(cè)管芯12以使得電焊盤(pán)30 被暴露，并在某些情況下，適合于直接焊接在PCB或其它基板上的對(duì)應(yīng)焊盤(pán)上。雖然未在圖 3中描繪性示出，但壓力感測(cè)管芯12可放置在管芯空腔34內(nèi)使得壓力感測(cè)隔膜18與壓力接口 26處于流質(zhì)連通。當(dāng)如此放置時(shí)，壓力感測(cè)隔膜18可自由彎曲使得一個(gè)或多個(gè)壓力感測(cè)元件可感測(cè)撓曲并因此感測(cè)壓力感測(cè)隔膜18的頂和底側(cè)之間的壓力差異。圖4為另一個(gè)說(shuō)明性的壓力傳感器組件110的分解透視頂視圖。該壓力傳感器組件110可包括配置為在壓力感測(cè)管芯112和客戶應(yīng)用之間提供流質(zhì)連通的端口外殼120。 該外殼120可由塑料、聚酰胺、陶瓷、金屬、或任何其它適合材料形成。雖然外殼120圖示為具有大致正方形的外形，所想到的是，外殼120可具有任何期望的外形。外殼120可包括頂側(cè)123和底側(cè)125 (在圖5中更好地示出)。在某些實(shí)例中，外殼120可包括從頂側(cè)123延伸至底側(cè)125的壓力端口 126。該壓力端口 126可配置允許在應(yīng)用和壓力傳感器組件110 的壓力感測(cè)管芯之間的流質(zhì)連通。在某些實(shí)例中，壓力接口 126可是延長(zhǎng)結(jié)構(gòu)136。例如，延長(zhǎng)結(jié)構(gòu)136可以是從外殼120的頂側(cè)123遠(yuǎn)離延伸的大致管狀的構(gòu)件。所想到的是，壓力端口 126可包括各種接口選擇和連接。例如，延長(zhǎng)結(jié)構(gòu)136可包括肘狀物，或可呈現(xiàn)任何其它期望的構(gòu)造或外形。 進(jìn)一步所想到的是，壓力端口 126可包括帶螺紋或帶刺的區(qū)域以方便連接到設(shè)備。進(jìn)一步所想到的是，在某些實(shí)施例中，外殼120可以根本不包括如以上描述的端口 126。在一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，壓力感測(cè)管芯112可以是利用硅片和適合的制造技術(shù)所制造的微機(jī)械傳感器元件。壓力感測(cè)管芯112可包括一個(gè)或多個(gè)壓力感測(cè)元件和/或利用適當(dāng)?shù)闹圃旎蛴∷⒓夹g(shù)形成的其它電路(例如配平電路、信號(hào)調(diào)節(jié)電路等)。在某些情況下， 壓力感測(cè)管芯112可包括壓力感測(cè)隔膜118，該壓力感測(cè)隔膜118包括在其上形成的一個(gè)或多個(gè)感測(cè)元件，例如壓阻感測(cè)部件，用于感測(cè)撓曲并以此感測(cè)壓力感測(cè)隔膜118的頂和底側(cè)之間的壓力差異。壓敏電阻可以這樣的方式配置使得它們的電阻響應(yīng)于壓力感測(cè)隔膜 118的撓曲而變化。在某些實(shí)例中，壓力感測(cè)隔膜118可包括構(gòu)建在微機(jī)械加工的硅隔膜結(jié)構(gòu)中的壓阻式惠斯通電橋。因此，當(dāng)如此布置壓力傳感器組件110以使得壓力端口 126與流質(zhì)介質(zhì)處于流質(zhì)連通時(shí)，壓力傳感器組件110的壓力輸出可對(duì)應(yīng)于壓敏電阻的電阻值的變化。在某些實(shí)施例中，壓力感測(cè)隔膜118可通過(guò)后側(cè)蝕刻硅管芯來(lái)制造，不過(guò)，所想到的是，可如期望地使用任何適合的工序。壓力感測(cè)管芯112可包括后側(cè)116和相對(duì)的前側(cè) 114。感測(cè)管芯112的后側(cè)116可利用粘合劑、墊片、密封、或任何其它適合的接合或密封機(jī)制132 (例如焊接、共熔等)接合到外殼120。在某些實(shí)例中，壓力感測(cè)管芯112可利用應(yīng)力隔離粘合劑附著到外殼120上，應(yīng)力隔離粘合劑例如但不限于室溫硫化(RTV)硅橡膠粘合劑。密封132可配置為將感測(cè)管芯112附著到外殼120，同時(shí)允許壓力感測(cè)隔膜118暴露給由外殼120所限定的壓力端口 126。圖5示出了圖4的說(shuō)明性的壓力傳感器110的分解透視底視圖。外殼120的底側(cè) 125可包括安裝側(cè)表面122和感測(cè)側(cè)表面124。安裝側(cè)122通過(guò)一個(gè)或多個(gè)橫側(cè)壁28與感測(cè)側(cè)22連接并隔開(kāi)一段距離。在某些實(shí)施例中，安裝側(cè)122可限定開(kāi)口使得感測(cè)側(cè)124和側(cè)壁128限定壓力感測(cè)管芯空腔134。在某些實(shí)施例中，壓力感測(cè)管芯112可安裝在管芯空腔134內(nèi)使得管芯112的后側(cè)116面向和/或附著到外殼120的感測(cè)側(cè)124的內(nèi)表面。外殼120的感測(cè)側(cè)124可限定包括壓力端口 126的壁以使得當(dāng)壓力感測(cè)管芯112安裝在管芯空腔134內(nèi)時(shí)，壓力端口 126與壓力感測(cè)隔膜118處于流質(zhì)連通?？稍谕鈿?20的感測(cè)側(cè) 124和壓力感測(cè)管芯112的后側(cè)116之間布置密封132、墊片和/或粘合劑層以在管芯空腔 134內(nèi)固定管芯112。當(dāng)壓力感測(cè)管芯112固定在外殼的管芯空腔134之內(nèi)時(shí)，可接近(在之下或之上)外殼120的安裝側(cè)122放置壓力感測(cè)管芯112的前側(cè)114。壓力感測(cè)管芯112可包括布置在管芯112的前側(cè)114上的一個(gè)或多個(gè)電焊盤(pán)130。 可放置電焊盤(pán)130使得焊盤(pán)130可從外殼120的外側(cè)接入。電焊盤(pán)130可與壓力感測(cè)隔膜 118的一個(gè)或多個(gè)感測(cè)元件電耦合。在某些實(shí)施例中，壓力感測(cè)管芯112可包括四個(gè)電焊盤(pán)130，每個(gè)與包括感測(cè)壓敏電阻的惠斯通電橋的四個(gè)連接點(diǎn)之一相連接。不過(guò)，所想到的是，壓力感測(cè)管芯112可如期望地包括任何數(shù)量的電焊盤(pán)130。在某些實(shí)施例中，電焊盤(pán)130 可以是O. 7毫米乘O. 3毫米，或任何其它適合的尺寸。這可允許用戶使用例如焊膏溶液將壓力感測(cè)組件110直接安裝在印刷電路板(PCB)或其它接口或基板上。在另一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，電焊盤(pán)130可以是相對(duì)小的，在其上附著有隆起焊盤(pán)使得壓力傳感器110可連接到 PCB的特別接口。在某些情況下，電焊盤(pán)130可經(jīng)過(guò)外殼120的安裝側(cè)122向外延伸，但這不是必需的。圖6為組合的圖5的壓力傳感器110的透視圖?？梢钥闯?，壓力感測(cè)管芯112可被定尺寸和定形狀以大致對(duì)應(yīng)于壓力感測(cè)管芯空腔134的尺寸和形狀。當(dāng)組裝時(shí)，在某些實(shí)例中，壓力感測(cè)管芯112的前側(cè)114可接近外殼120的安裝側(cè)122或大致在其附近放置。 不過(guò)，所想到的是，在某些實(shí)施例中，壓力感測(cè)管芯112的前側(cè)114可凹入管芯空腔134內(nèi)或可超出外殼120的安裝側(cè)122向外延伸?？扇绱朔胖脡毫Ω袦y(cè)管芯112使得電焊盤(pán)130 被暴露并適合于直接焊接到PCB或其它基板上的對(duì)應(yīng)焊盤(pán)。雖然未在圖6中明確示出，但壓力感測(cè)管芯112可放置在管芯空腔134內(nèi)使得壓力感測(cè)隔膜118與壓力接口 126處于流質(zhì)連通。當(dāng)如此放置時(shí)，壓力感測(cè)隔膜118可自由彎曲使得一個(gè)或多個(gè)壓力感測(cè)元件可感測(cè)撓曲并因此感測(cè)壓力感測(cè)隔膜118的頂和底側(cè)之間的壓力差異。本領(lǐng)域技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到本公開(kāi)可以通過(guò)除了在此所描述和想到的特定實(shí)施例之外的各種形式來(lái)表明。因此，可在不偏離當(dāng)前公開(kāi)的范圍和精神的情況下，在形式和細(xì)節(jié)上產(chǎn)生偏離。
權(quán)利要求
1.一種壓力傳感器組件(10，110)，包括壓力端口外殼(20，120)，包括感測(cè)側(cè)(24，124)和安裝側(cè)(22，122)，其中所述感測(cè)側(cè) (24，124)包括穿過(guò)所述外殼(20，120)的所述感測(cè)側(cè)(24，124)延伸的壓力端口(26，126)；所述壓力端口外殼(20，120)進(jìn)一步包括壓力感測(cè)管芯空腔(34，134)；壓力感測(cè)管芯(12，112)，具有第一側(cè)(16，116)和相對(duì)的第二側(cè)(14，114)，所述壓力感測(cè)管芯(12，112)位于所述壓力感測(cè)管芯空腔(34，134)中并且其的所述第一側(cè)(16，116)固定到所述壓力端口外殼(20，120)的所述感測(cè)側(cè)(24，124)，所述壓力感測(cè)管芯(12，112)具有暴露給所述壓力端口(26，126)的壓力感測(cè)隔膜(18，118);以及所述壓力感測(cè)管芯(12，112)的所述第二側(cè)(14，114)背對(duì)所述壓力端口外殼(20，120) 的所述感測(cè)側(cè)(24，124)并朝向所述安裝側(cè)(22，122)，并且所述壓力傳感器管芯(12，112) 的兩個(gè)或更多電焊盤(pán)(130)可從所述外殼(20，120)的外側(cè)接入，使得所述兩個(gè)或更多電焊盤(pán)(30，130)能電學(xué)地和物理地連接到另一個(gè)基板上的兩個(gè)或更多對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)。
2.權(quán)利要求I的所述壓力傳感器組件(10，110)，進(jìn)一步包括在所述壓力傳感器管芯 (12，112)的所述第一側(cè)(16，116)和所述外殼(120)之間的密封(32，132)，其中所述密封 (32，132)被配置為將所述壓力傳感器管芯(12，112)的壓力感測(cè)隔膜(18，118)暴露給由所述外殼(120)的所述感測(cè)側(cè)(24，124)限定的所述壓力端口(26，126)。
3.權(quán)利要求I的所述傳感器組件(10，110)，其中所述壓力感測(cè)管芯(12，112)通過(guò)粘合劑(32，132)固定到所述外殼(20，120)。
4.權(quán)利要求3的所述傳感器組件(10，110)，其中所述粘合劑(32，132)為應(yīng)力隔離粘合劑。
5.權(quán)利要求4的所述傳感器組件(10，110)，其中所述粘合劑(32，132)為室溫硫化 (RTV)硅橡膠粘合劑。
6.權(quán)利要求I的所述傳感器組件(10，110)，其中所述壓力端口(26，126)是從接近所述壓力感測(cè)管芯(12，112)的所述第一側(cè)(16，116)延伸并遠(yuǎn)離所述壓力感測(cè)管芯(112)的延長(zhǎng)壓力端口(26，126)。
7.權(quán)利要求6的所述傳感器組件(10，110)，其中至少一部分所述延長(zhǎng)壓力端口 (26，126)的形狀為管狀。
8.權(quán)利要求I的所述傳感器組件(10，110)，其中所述外殼(20，120)的所述安裝側(cè) (22，122)打開(kāi)以允許所述壓力感測(cè)管芯(12，112)被插入并固定到所述外殼(20，120)的內(nèi)表面。
9.權(quán)利要求8的所述傳感器組件(10，110)，其中所述壓力感測(cè)管芯(12，112)被固定到所述外殼(20，120)的所述感測(cè)側(cè)的內(nèi)表面。
10.權(quán)利要求8的所述傳感器組件(10，110)，其中所述外殼(20，120)包括從所述外殼(20，120)的所述感測(cè)側(cè)延伸到所述安裝側(cè)的側(cè)壁 (128)。
全文摘要
公開(kāi)了一種壓力傳感器(10,110)，可包括最小量的流質(zhì)耦合封裝。在一個(gè)說(shuō)明性的實(shí)施例中，壓力傳感器組件(10,110)可包括具有前側(cè)(14,114)和后側(cè)(16,116)的壓力感測(cè)管芯(12,112)，以及壓力感測(cè)隔膜(18,118)。所述壓力傳感器組件(10,110)可進(jìn)一步包括具有安裝側(cè)(22,122)和感測(cè)側(cè)(24,124)的外殼(20,120)。所述感測(cè)側(cè)可限定壓力端口(26,126)。所述壓力感測(cè)管芯(12,112)可固定到所述外殼(20,120)使得所述壓力感測(cè)隔膜(18,118)暴露給所述壓力端口(26,126)，并使得所述壓力感測(cè)管芯(12,112)的前側(cè)(14,114)可從所述外殼(20,120)的外側(cè)接入。
文檔編號(hào)G01L9/06GK102589791SQ201210002830
公開(kāi)日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2012年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月7日
發(fā)明者I.本特利, R.瓦德 申請(qǐng)人:霍尼韋爾國(guó)際公司