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傳感器單元及具備該傳感器單元的壓力檢測裝置的制作方法

文檔序號:11160342閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種傳感器單元,其特征在于,具備:

檢測壓力的傳感器芯片;

殼體,其對密封玻璃和該傳感器芯片一同進(jìn)行收納,上述密封玻璃包圍與上述傳感器芯片的電路電連接的至少一個端子;

膜片,其對上述傳感器芯片及上述端子與要檢測壓力的壓力室進(jìn)行隔離;以及

壓力傳遞介質(zhì),其填充于上述膜片與上述傳感器芯片之間,

由根據(jù)上述壓力傳遞介質(zhì)的成分而選擇的粘結(jié)劑構(gòu)成的靜電保護(hù)層形成為覆蓋由上述端子突出的密封玻璃的一方的端面、上述殼體的一方的端面、以及上述端子的從該密封玻璃的一方的端面突出的部分劃分形成的表面中的任一個。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器單元,其特征在于,

在上述壓力傳遞介質(zhì)為硅油的情況下,選擇有機硅系粘結(jié)劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器單元,其特征在于,

在上述壓力傳遞介質(zhì)為氟系液體的情況下,選擇有機硅系粘結(jié)劑或氟系粘結(jié)劑。

4.一種傳感器單元,其特征在于,具備:

檢測壓力的傳感器芯片;

殼體,其對密封玻璃和該傳感器芯片一同進(jìn)行收納,上述密封玻璃包圍與上述傳感器芯片的電路電連接的至少一個端子;

膜片,其對上述傳感器芯片及上述端子與要檢測壓力的壓力室進(jìn)行隔離;以及

壓力傳遞介質(zhì),其填充于上述膜片與上述傳感器芯片之間,

由根據(jù)上述壓力傳遞介質(zhì)的成分而選擇的填充材料構(gòu)成的靜電保護(hù)層形成為覆蓋由上述端子突出的密封玻璃的一方的端面、上述殼體的一方的端面、以及上述端子的從該密封玻璃的一方的端面突出的部分劃分形成的表面中的任一個。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器單元,其特征在于,

在上述壓力傳遞介質(zhì)為氟系液體的情況下,選擇彈性體或氟潤滑脂作為上述填充材料。

6.一種壓力檢測裝置,其特征在于,

具備傳感器單元收納部,其收納權(quán)利要求1~3中任一項所述的傳感器單元及使該傳感器單元的端子排列的端子臺,

使上述端子排列的端子臺的端部通過有機硅系粘結(jié)劑或氟系粘結(jié)劑而粘結(jié)于上述殼體的一方的端面,上述膜片的周緣接合于上述殼體的另一方的端面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力檢測裝置,其特征在于,

在對上述端子臺及上述殼體進(jìn)行密封的密封材料的上表面形成由環(huán)氧系樹脂形成的包覆層。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力檢測裝置,其特征在于,

在對上述端子臺及上述殼體進(jìn)行密封的密封材料的上表面形成由有機硅系樹脂形成的包覆層。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力檢測裝置,其特征在于,

上述靜電保護(hù)層僅形成于由上述端子臺的端部、上述殼體的內(nèi)周面、以及上述密封玻璃的一方的端面包圍的部分。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力檢測裝置,其特征在于,

上述靜電保護(hù)層僅形成于上述端子的從密封玻璃的一方的端面直到上述端子臺的部分。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力檢測裝置,其特征在于,

上述靜電保護(hù)層僅形成于從上述端子臺的與上述端子鄰接而形成的環(huán)狀的突起部到與該突起部相向的上述密封玻璃的一方的端面的部分。

12.一種壓力檢測裝置,其特征在于,

具備傳感器單元收納部,其收納權(quán)利要求4或5所述的傳感器單元及使該傳感器單元的端子排列的端子臺,

上述端子臺的端部通過上述填充材料而接合于上述殼體的一方的端面,上述膜片的周緣接合于上述殼體的另一方的端面。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓力檢測裝置,其特征在于,

在對上述端子臺及上述殼體進(jìn)行密封的密封材料的上表面形成由環(huán)氧系樹脂形成的被膜層。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓力檢測裝置,其特征在于,

在對上述端子臺及上述殼體進(jìn)行密封的密封材料的上表面形成由有機硅系樹脂形成的被膜層。

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