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力檢測器的制作方法

文檔序號:12286821閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種力檢測器,包括:

力傳感器元件,安裝于基體基板的表面上;

力傳遞部件,對所述力傳感器元件傳遞力;以及

能夠錫焊的多個端子,設置于所述基體基板的背面且向外部露出,

在所述基體基板的所述背面,在規(guī)定區(qū)域內設置有由能夠錫焊的材料形成的錫焊部,該規(guī)定區(qū)域以從所述力傳遞部件對所述力傳感器元件施加的力的假想延長線通過所述基體基板的位置為中心,

所述力檢測器的特征在于:

將在所述力傳遞部件對所述力傳感器元件傳遞力時變形的所述力傳感器元件的變形區(qū)域投影到所述基體基板的投影區(qū)域包含于所述規(guī)定區(qū)域內,

所述多個端子由在所述基體基板的四角分別形成的四個錫焊焊盤電極構成,

所述四個錫焊焊盤電極的形狀被分別決定為在所述投影區(qū)域內存在所述端子電極的一部分而構成所述錫焊部。

2.根據權利要求1所述的力檢測器,其特征在于:所述四個錫焊焊盤電極被分別形成為鄰接的兩個所述端子電極之間的距離為0.1mm以上。

3.根據權利要求2所述的力檢測器,其特征在于:

所述四個錫焊焊盤電極的輪廓形狀是四邊形,

所述四個錫焊焊盤電極各自的一個角部位于所述投影區(qū)域內。

4.根據權利要求1至3中的任意一項所述的力檢測器,其特征在于:

所述力傳感器元件由在變形區(qū)域中形成有多個擴散電阻的半導體力傳感器元件構成,

所述力傳遞部件由球體構成。

5.一種力檢測器,包括:

收納殼體,包括由基體基板構成的底壁部、以及周壁部和上壁部;

力傳感器元件,設置于所述基板的表面上且收納于所述收納殼體內;

力傳遞部件,對所述力傳感器元件傳遞力;以及

能夠錫焊的多個端子,設置于所述基體基板的背面且向外部露出,

在所述基體基板的背面,在規(guī)定區(qū)域內設置有由能夠錫焊的材料形成的錫焊部,該規(guī)定區(qū)域以從所述力傳遞部件對所述力傳感器元件施加的力的假想延長線通過所述基體基板的位置為中心,

所述力檢測器的特征在于:

將在所述力傳遞部件對所述力傳感器元件傳遞力時變形的所述力傳感器元件的變形區(qū)域投影到所述基體基板的投影區(qū)域包含于所述規(guī)定區(qū)域內,

所述多個端子由在所述基體基板的四角分別形成的四個錫焊焊盤電極構成,

所述四個錫焊焊盤電極的形狀分別被決定為在所述投影區(qū)域內存在所述端子電極的一部分而構成所述錫焊部。

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