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一種基于有機薄膜晶體管反相器的傳感器的制作方法

文檔序號:11858478閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
一種基于有機薄膜晶體管反相器的傳感器,包括電接觸端子以及設(shè)置于襯底之上的第一有機薄膜晶體管和第二有機薄膜晶體管,所述第一有機薄膜晶體管作為負載元件,采用有機半導體層埋在柵絕緣層下面的頂柵底接觸型結(jié)構(gòu),所述第二有機薄膜晶體管作為傳感元件實現(xiàn)各類傳感功能,采用有機半導體層暴露在外面的底柵底接觸型結(jié)構(gòu),該第一有機薄膜晶體管和第二有機薄膜晶體管公用同一柵絕緣層,組成互補反相器,所述電接觸端子與所述第一有機薄膜晶體管連接。較之于單一有機薄膜晶體管傳感器而言,本發(fā)明極大地提升了傳感器的穩(wěn)定性和降低了傳感器的功耗,具有穩(wěn)定性好、功耗低、結(jié)構(gòu)簡單、加工工序簡化和制造成本低的優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員:郭小軍;唐偉;李喬峰;黃鈺坤;丁立;趙家慶
受保護的技術(shù)使用者:上海交通大學
文檔號碼:201610417269
技術(shù)研發(fā)日:2016.06.15
技術(shù)公布日:2016.11.16

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