1.一種壓電式壓力傳感器(1),具有傳感器殼體(20),在所述傳感器殼體中設(shè)有膜(21)、壓電式接收器(22)、電極組件(23)和預(yù)緊體(24.2);所述膜(21)檢測壓力變化;所檢測到的壓力變化在所述壓電式接收器(22)上產(chǎn)生極化電荷;所述電極組件(23)接收所述極化電荷;所述電極組件(23)具有電荷拾取部(23.1)和電荷傳導(dǎo)部(23.2),所述電荷拾取部(23.1)與所述電荷傳導(dǎo)部(23.2)電連接和機(jī)械連接;并且所述電荷傳導(dǎo)部(23.2)通過第三間隙與所述預(yù)緊體(24.2)電絕緣;其特征在于,所述電荷傳導(dǎo)部(23.2)在所述預(yù)緊體(24.2)的背向所述膜(21)的一側(cè)通過電絕緣套管組件(27)與所述預(yù)緊體(24.2)機(jī)械地連接,并使所述第三間隙壓力密封地與周圍環(huán)境分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述電荷拾取部(23.1)與所述電荷傳導(dǎo)部(23.2)是一體化的或者材料配合地連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述電荷拾取部(23.1)設(shè)置在所述壓電式接收器(22)的背向所述膜(21)的一側(cè);第一電絕緣體(25)設(shè)置在所述電荷拾取部(23.1)的背向所述膜(21)的一側(cè);所述壓電式接收器(22)、所述電荷拾取部(23.1)和所述第一電絕緣體(25)在所述預(yù)緊體(24.2)和預(yù)緊套筒(24.1)之間被機(jī)械地預(yù)緊;并且所述預(yù)緊套筒(24.1)通過第二間隙與所述壓電式接收器(22)、所述電荷拾取部(23.1)和所述第一電絕緣體(25)間隔開。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述第一電絕緣體(25)在沒有被機(jī)械預(yù)緊的情況下也與所述電荷拾取部(23.1)和所述預(yù)緊體(24.2)平面地機(jī)械接觸,并且通過形狀配合相對于所述第二間隙來密封所述第三間隙。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述電荷傳導(dǎo)部(23.2)中心地延伸穿過所述第一電絕緣體(25)和所述預(yù)緊體(24.2),并且通過所述第三間隙與所述第一電絕緣體(25)和所述預(yù)緊體(24.2)間隔開。
6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任一項所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,在所述預(yù)緊體(24.1)和所述壓電式接收器(22)之間,或者在所述壓電式接收器(22)和所述電荷拾取部(23.1)之間,或者在所述電荷拾取部(23.1)和所述第一電絕緣體(25)之間,或者在所述第一電絕緣體(25)和所述預(yù)緊體(24.2)之間,設(shè)有補(bǔ)償元件(26);并且所述預(yù)緊套筒(24.1)通過第二間隙與所述壓電式接收器(22)、所述電荷拾取部(23.1)、所述第一電絕緣體(25)和所述補(bǔ)償元件(26)間隔開。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述補(bǔ)償元件(26)設(shè)置在所述第一電絕緣體(25)和所述預(yù)緊體(24.2)之間,并且所述第一電絕緣體(25)和所述補(bǔ)償元件(26)在沒有被機(jī)械預(yù)緊的情況下也與所述電荷拾取部(23.1)和所述預(yù)緊體(24.2)平面地機(jī)械接觸,并且通過形狀配合相對于所述第二間隙來密封所述第三間隙。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述傳感器殼體組件(20)具有傳感器殼體(20.1)和加強(qiáng)殼體(20.2);所述傳感器殼體(20.1)和所述加強(qiáng)殼體(20.2)彼此材料配合地連接;并且所述預(yù)緊體(24.2)與所述加強(qiáng)殼體(20.2)材料配合地連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述電絕緣套管組件(27)具有第一適配元件(27.1)、第二電絕緣體(27.2)和第二適配元件(27.3);并且所述電荷傳導(dǎo)部(23.2)與所述第二適配元件(27.3)電連接和機(jī)械連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述電荷傳導(dǎo)部(23.2)和所述預(yù)緊體(24.2)通過設(shè)置于兩者之間的第二電絕緣體(27.2)彼此電絕緣;并且所述第二適配元件(27.3)與所述第二電絕緣體(27.2)材料配合地連接;和/或所述第二適配元件(27.3)和所述第二電絕緣體(27.2)的配對的線性熱膨脹系數(shù)的差值小于5ppm,優(yōu)選小于3ppm。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述第二適配元件(27.3)由材料標(biāo)號為1.3981或1.3982的鋼合金制成;并且所述第二電絕緣體(27.2)由Al2O3陶瓷制成。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述第一適配元件(27.1)與所述第二電絕緣體(27.2)材料配合地連接;和/或所述第一適配元件(27.1)與所述第二電絕緣體(27.2)的配對的線性熱膨脹系數(shù)的差值小于5ppm,優(yōu)選小于3ppm。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述第一適配元件(27.1)由鈦制成;并且所述第二電絕緣體(27.2)由Al2O3陶瓷制成。
14.根據(jù)權(quán)利要求9至13中任一項所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述第一適配元件(27.1)與所述預(yù)緊體(24.2)材料配合地連接;和/或所述第一適配元件(27.1)與所述預(yù)緊體(24.2)的配對的線性熱膨脹系數(shù)的差值小于10ppm,優(yōu)選小于5ppm。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的壓電式壓力傳感器(1),其特征在于,所述第一適配元件(27.1)由鈦制成;并且所述預(yù)緊體(24.2)由材料標(biāo)號為1.4542的鋼合金制成。