技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了偏振復(fù)用相位調(diào)制型激光自混合二維干涉儀及其測(cè)量方法，二維干涉儀包括：輸出圓偏振光的雙頻激光器，偏振分光棱鏡，放置在o偏振態(tài)光軸上的普通分光棱鏡、電光晶體調(diào)制器、光線密度濾波器、待測(cè)目標(biāo)，放置在e偏振態(tài)光軸向電光晶體調(diào)制器、光線密度濾波器、另一個(gè)待測(cè)目標(biāo)，以及信號(hào)采集和相位計(jì)算系統(tǒng)，信號(hào)采集和相位計(jì)算系統(tǒng)根據(jù)采集的光強(qiáng)信號(hào)進(jìn)行諧波分析和相位解調(diào)得出被測(cè)目標(biāo)相位和位移。因兩個(gè)電光相位調(diào)制的頻率截然不同，它可以有效避免頻譜混疊現(xiàn)象；由于兩個(gè)偏振光均為線偏振光，激光散斑效應(yīng)小，相移技術(shù)使得解調(diào)結(jié)果的分辨率達(dá)納米級(jí)別。

技術(shù)研發(fā)人員：王鳴;陶宇峰;夏巍;郭冬梅;郝輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京師范大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710027793
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.16
技術(shù)公布日：2017.05.10