本技術(shù)涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種探針卡自動(dòng)換型裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域中，在芯片生產(chǎn)過(guò)程中需要通過(guò)測(cè)試手段保證芯片的各項(xiàng)功能符合設(shè)計(jì)要求。探針卡是一種對(duì)芯片進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試接口儀器，現(xiàn)有技術(shù)中探針卡的換型方式基本都是一種簡(jiǎn)單的“直線移栽-放置-對(duì)接”形式，在位置精度的把握和控制上有很大的劣勢(shì)和困難度，很難做到直接性的對(duì)接方式，需要多次位置確認(rèn)和移動(dòng)調(diào)試，此過(guò)程中浪費(fèi)了大量的時(shí)間和信息傳遞。目前沒(méi)有很好的具有高精度的直接換型裝置。實(shí)際應(yīng)用的探針卡換型的技術(shù)非常少，目前處于很狹隘的發(fā)展空間，沒(méi)有出現(xiàn)好的對(duì)接處理方式。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)人針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中缺乏高效、高精度的探針卡換型裝置等缺點(diǎn)，提供了一種結(jié)構(gòu)合理的探針卡自動(dòng)換型裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)不同型號(hào)探針卡模組快速切換形式，達(dá)到快速對(duì)應(yīng)不同產(chǎn)品的相匹配定位功能，大大提高了產(chǎn)品整體工作效率和生產(chǎn)穩(wěn)定性。

2、本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下：

3、一種探針卡自動(dòng)換型裝置，包括探針卡模組、基座本體、旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)，探針卡對(duì)應(yīng)放置在探針卡模組上，旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)設(shè)置在基座本體上，且旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)可以在基座本體上繞中心位置旋轉(zhuǎn)，探針卡模組的數(shù)量為多個(gè)，采用陣列分布設(shè)置在旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)圓周上，探針卡模組通過(guò)旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)的旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)不同探針卡模組之間的切換，探針卡轉(zhuǎn)動(dòng)到目標(biāo)工位時(shí)對(duì)晶圓載臺(tái)上的晶圓工作。

4、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：

5、探針卡模組包括水平調(diào)位模組、升降模組、放置板，水平調(diào)位模組安裝在旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)上，升降模組安裝在水平調(diào)位模組上，放置板設(shè)置在升降模組上，水平調(diào)位模組在水平方向上實(shí)現(xiàn)二維角度調(diào)節(jié)，放置板由升降模組驅(qū)動(dòng)在豎直方向進(jìn)行升降調(diào)節(jié)。

6、探針卡的本體上設(shè)有探針識(shí)別條，探針識(shí)別條是探針卡型號(hào)碼和定位信息的載體，在基座本體的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置有定位檢測(cè)模組，?定位檢測(cè)模組對(duì)探針識(shí)別條包含的探針卡型號(hào)碼進(jìn)行檢測(cè)和識(shí)別，獲取探針卡的型號(hào)信息，定位檢測(cè)模組對(duì)探針識(shí)別條包含的定位信息進(jìn)行檢測(cè)和識(shí)別，獲取探針卡的準(zhǔn)確位置。

7、在基座本體的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置有定位檢測(cè)模組，定位檢測(cè)模組包括驅(qū)動(dòng)裝置和定位檢測(cè)器，在驅(qū)動(dòng)裝置上安裝定位檢測(cè)器，定位檢測(cè)器在驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下移動(dòng)，定位檢測(cè)器對(duì)準(zhǔn)正上方的探針卡模組和探針卡。

8、定位檢測(cè)器采用光線、圖像、聲波或電磁波檢測(cè)器，對(duì)正上方探針卡模組上的探針卡進(jìn)行檢測(cè)和識(shí)別。

9、定位檢測(cè)器采用視覺(jué)定位相機(jī)，探針識(shí)別條包含探針卡型號(hào)碼和位置標(biāo)記點(diǎn)的信息，其中位置標(biāo)記點(diǎn)為定位信息的識(shí)別對(duì)象。

10、在探針卡模組上設(shè)有與定位檢測(cè)器對(duì)應(yīng)的槽口，探針卡放置在探針卡模組上時(shí)，探針識(shí)別條位于探針卡模組的槽口位置中，定位檢測(cè)器對(duì)準(zhǔn)槽口處的探針卡進(jìn)行檢測(cè)。

11、探針卡模組具有一個(gè)放置板，放置板的外側(cè)開(kāi)設(shè)有所述槽口。

12、還設(shè)有控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)與旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)、定位檢測(cè)模組的驅(qū)動(dòng)裝置相互電信號(hào)連接，控制系統(tǒng)與定位檢測(cè)模組的定位檢測(cè)器相互電信號(hào)連接。

13、驅(qū)動(dòng)裝置包括水平線性機(jī)構(gòu)和豎直線性機(jī)構(gòu)，均是由直線導(dǎo)軌和位于直線導(dǎo)軌上的移動(dòng)模組構(gòu)成；水平線性機(jī)構(gòu)的直線導(dǎo)軌安裝在基座本體的側(cè)壁上，豎直線性機(jī)構(gòu)的直線導(dǎo)軌安裝在水平線性機(jī)構(gòu)的移動(dòng)模組上，定位檢測(cè)器安裝在豎直線性機(jī)構(gòu)的移動(dòng)模組上。

14、本實(shí)用新型的有益效果如下：

15、本實(shí)用新型將六個(gè)不同型號(hào)的探針卡都設(shè)計(jì)成有相同通信連接方式的獨(dú)立探針模組，然后通過(guò)高精度旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)的旋轉(zhuǎn)定位，以及雙向聯(lián)動(dòng)的高精度定位檢測(cè)器的移動(dòng)定位方式，實(shí)現(xiàn)不同型號(hào)探針卡模組的快速切換形式，達(dá)到快速對(duì)應(yīng)不同產(chǎn)品的相匹配定位功能，大大提高了產(chǎn)品整體工作效率和生產(chǎn)穩(wěn)定性。

16、本實(shí)用新型具有高精度控制定位的效果，六個(gè)探針卡模組安裝在同一個(gè)旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)上，旋轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)軸數(shù)較少，可以減少切換型號(hào)之間的精度誤差問(wèn)題，?對(duì)探針卡模組快速穩(wěn)定的自動(dòng)換切換型號(hào)。同時(shí)相匹配的光學(xué)定位保證切換的精準(zhǔn)度，通過(guò)相機(jī)和探針卡位置轉(zhuǎn)動(dòng)的巧妙組合，快速獲取相對(duì)應(yīng)探針卡型號(hào)和精準(zhǔn)位置的信息。

17、本實(shí)用新型設(shè)置包含六種不同型號(hào)的探針卡模組，可以實(shí)現(xiàn)不同形式的六種產(chǎn)品的對(duì)應(yīng)需求，實(shí)現(xiàn)六種產(chǎn)品需求的更換探針卡的快速匹配高效性能，從而滿足客戶的多種產(chǎn)品對(duì)接生產(chǎn)需求。

技術(shù)特征：

1.一種探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：包括探針卡模組(1)、基座本體(2)、旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)(3)，探針卡(4)對(duì)應(yīng)放置在探針卡模組(1)上，旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)(3)設(shè)置在基座本體(2)上，且旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)(3)可以在基座本體(2)上繞中心位置旋轉(zhuǎn)，探針卡模組(1)的數(shù)量為多個(gè)，采用陣列分布設(shè)置在旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)(3)圓周上，探針卡模組(1)通過(guò)旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)(3)的旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)不同探針卡模組(1)之間的切換，探針卡(4)轉(zhuǎn)動(dòng)到目標(biāo)工位時(shí)對(duì)晶圓載臺(tái)上的晶圓工作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：探針卡模組(1)包括水平調(diào)位模組(5)、升降模組(6)、放置板(7),水平調(diào)位模組(5)安裝在旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)(3)上，升降模組(6)安裝在水平調(diào)位模組(5)上，放置板(7)設(shè)置在升降模組(6)上，水平調(diào)位模組(5)在水平方向上實(shí)現(xiàn)二維角度調(diào)節(jié)，放置板(7)由升降模組(6)驅(qū)動(dòng)在豎直方向進(jìn)行升降調(diào)節(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：探針卡(4)的本體上設(shè)有探針識(shí)別條(11),探針識(shí)別條(11)是探針卡型號(hào)碼和定位信息的載體，在基座本體(2)的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置有定位檢測(cè)模組(8),?定位檢測(cè)模組(8)對(duì)探針識(shí)別條(11)包含的探針卡型號(hào)碼進(jìn)行檢測(cè)和識(shí)別，獲取探針卡(4)的型號(hào)信息，定位檢測(cè)模組(8)對(duì)探針識(shí)別條(11)包含的定位信息進(jìn)行檢測(cè)和識(shí)別，獲取探針卡(4)的準(zhǔn)確位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：在基座本體(2)的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置有定位檢測(cè)模組(8),定位檢測(cè)模組(8)包括驅(qū)動(dòng)裝置(9)和定位檢測(cè)器(10),在驅(qū)動(dòng)裝置(9)上安裝定位檢測(cè)器(10),定位檢測(cè)器(10)在驅(qū)動(dòng)裝置(9)的驅(qū)動(dòng)下移動(dòng)，定位檢測(cè)器(10)對(duì)準(zhǔn)正上方的探針卡模組(1)和探針卡(4)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：定位檢測(cè)器(10)采用光線、圖像、聲波或電磁波檢測(cè)器，對(duì)正上方探針卡模組(1)上的探針卡(4)進(jìn)行檢測(cè)和識(shí)別。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：定位檢測(cè)器(10)采用視覺(jué)定位相機(jī)，探針識(shí)別條(11)包含探針卡型號(hào)碼和位置標(biāo)記點(diǎn)的信息，其中位置標(biāo)記點(diǎn)為定位信息的識(shí)別對(duì)象。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：在探針卡模組(1)上設(shè)有與定位檢測(cè)器(10)對(duì)應(yīng)的槽口，探針卡(4)放置在探針卡模組(1)上時(shí)，探針識(shí)別條(11)位于探針卡模組(1)的槽口位置中，定位檢測(cè)器(10)對(duì)準(zhǔn)槽口處的探針卡(4)進(jìn)行檢測(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：探針卡模組(1)具有一個(gè)放置板(7)，放置板(7)的外側(cè)開(kāi)設(shè)有所述槽口。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：還設(shè)有控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)與旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)(3)、定位檢測(cè)模組(8)的驅(qū)動(dòng)裝置(9)相互電信號(hào)連接，控制系統(tǒng)與定位檢測(cè)模組(8)的定位檢測(cè)器(10)相互電信號(hào)連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡自動(dòng)換型裝置，其特征在于：驅(qū)動(dòng)裝置(9)包括水平線性機(jī)構(gòu)和豎直線性機(jī)構(gòu)，均是由直線導(dǎo)軌和位于直線導(dǎo)軌上的移動(dòng)模組構(gòu)成；水平線性機(jī)構(gòu)的直線導(dǎo)軌安裝在基座本體(2)的側(cè)壁上，豎直線性機(jī)構(gòu)的直線導(dǎo)軌安裝在水平線性機(jī)構(gòu)的移動(dòng)模組上，定位檢測(cè)器(10)安裝在豎直線性機(jī)構(gòu)的移動(dòng)模組上。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種探針卡自動(dòng)換型裝置，包括探針卡模組、基座本體、旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)，探針卡對(duì)應(yīng)放置在探針卡模組上，旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)設(shè)置在基座本體上，且旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)可以在基座本體上繞中心位置旋轉(zhuǎn)，探針卡模組的數(shù)量為多個(gè)，采用陣列分布設(shè)置在旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)圓周上，探針卡模組通過(guò)旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)的旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)不同探針卡模組之間的切換，探針卡轉(zhuǎn)動(dòng)到目標(biāo)工位時(shí)對(duì)晶圓載臺(tái)上的晶圓工作。本技術(shù)采用由多組不同型號(hào)的探針卡同時(shí)組合一起，通過(guò)高精度旋轉(zhuǎn)塔臺(tái)的旋轉(zhuǎn)定位，以及雙向聯(lián)動(dòng)的高精度定位檢測(cè)器的移動(dòng)定位方式，實(shí)現(xiàn)不同型號(hào)探針卡模組的快速切換形式，達(dá)到快速對(duì)應(yīng)不同產(chǎn)品的相匹配定位功能，提高產(chǎn)品整體工作效率和生產(chǎn)穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：唐德夫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：瑟米萊伯技術(shù)（無(wú)錫）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240531
技術(shù)公布日：2025/5/15