1.一種適用于芯片漏電特性曲線測量的多通道測試電路，其特征在于：它包括mcu模組（1）、數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器（2）、模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器（3）、放大電路（4）、反饋電路（5）、電子開關(guān)（6）、模擬開關(guān)（7）、反向電路（8）、校準(zhǔn)回路（9）、數(shù)字萬用表（10）、量程切換電路（11）、矩陣開關(guān)（12）、差分采樣電路（13）、被測電路（14），所述mcu模組（1）經(jīng)所述數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器（2）與所述放大電路（4）連接，所述放大電路（4）的輸出端分三路，一路經(jīng)所述反向電路（8）接入所述模擬開關(guān)（7），二路與所述量程切換電路（11）連接，三路經(jīng)所述反饋電路（5）與所述電子開關(guān)（6）連接，所述模擬開關(guān)（7）分兩路，一路與所述量程切換電路（11）連接，二路經(jīng)所述校準(zhǔn)回路（9）與所述數(shù)字萬用表（10）連接，所述量程切換電路（11）分兩路，一路經(jīng)所述矩陣開關(guān)（12）與所述被測電路（14）連接，二路經(jīng)所述差分采樣電路（13）與所述模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器（3）連接，所述電子開關(guān)（6）經(jīng)所述模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器（3）與所述mcu模組（1）連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種檢測方法，其特征在于，所述適用于芯片漏電特性曲線測量的多通道測試電路還包括濾波電路（15），所述濾波電路（15）包括第一電阻（r2）和電容（c4），所述數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器（2）的out0端經(jīng)所述第一電阻（r2）與所述放大電路（4）的正向輸入端連接，所述第一電阻（r2）經(jīng)與所述電容（c4）接地。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種適用于芯片漏電特性曲線測量的多通道測試電路，其特征在于，所述數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器（2）使用內(nèi)部基準(zhǔn)電壓的16位的高精度dac作為電壓輸出源，最小分辨率為
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適用于芯片漏電特性曲線測量的多通道測試電路，其特征在于，所述濾波電路（15）用于濾除高頻雜波，根據(jù)實際需求設(shè)計截止低通頻率??，這里選擇r:3kohm/c:560pf?，
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種適用于芯片漏電特性曲線測量的多通道測試電路，其特征在于，所述放大電路（4）包括運(yùn)算放大器（u3），所述反向電路（8）包括反相比例放大器（u1），所述反相比例放大器（u1）的放大倍數(shù)：b=-1，所述運(yùn)算放大器（u3）的輸出端與所述反相比例放大器（u1）的反向輸入端連接，所述反相比例放大器（u1）的正向輸入端連接有所述第二電阻（r1），所述運(yùn)算放大器（u3）放大的倍數(shù)與采樣區(qū)間和采樣精度有關(guān)，最小分辨率為
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種適用于芯片漏電特性曲線測量的多通道測試電路，其特征在于，所述反相比例放大器（u1）的輸出端與所述模擬開關(guān)（7）的sb端連接，所述模擬開關(guān)（7）用于切換正負(fù)電源輸出模式，擴(kuò)展掃描區(qū)間，
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種適用于芯片漏電特性曲線測量的多通道測試電路，其特征在于，所述校準(zhǔn)回路（9）包括繼電器（k1），所述繼電器（k1）將輸出電壓和并聯(lián)在所述數(shù)字萬用表（10）的電壓檔進(jìn)行線性擬合校準(zhǔn)，或者將電流回路串聯(lián)在dmm電流檔上進(jìn)行線性擬合校準(zhǔn)，其中k（增益）b（偏置）是作為線性校準(zhǔn)系數(shù)引入設(shè)置和測量回路，保存在所述mcu模組（1）的內(nèi)存預(yù)設(shè)中，線性擬合通過期望數(shù)據(jù)和原始數(shù)據(jù)兩組數(shù)列里用最小二乘法計算出k&b，
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種適用于芯片漏電特性曲線測量的多通道測試電路，其特征在于，所述量程切換電路（11）包括多通道電子開關(guān)（u6），所述多通道電子開關(guān)（u6）切換不同的采樣電阻和所述差分采樣電路（13）的增益電阻，達(dá)到不同的電流測量量程，以3.3v為例，為了測量負(fù)電流設(shè)置參考電壓1.8v，采樣電阻分為：2r/100r/1k/10k，差分采樣增益倍率分為：20.8/100，
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種適用于芯片漏電特性曲線測量的多通道測試電路，其特征在于，所述矩陣開關(guān)（12）用于切通被測回路，使用所述mcu模組（1）的iic總線通訊并切換各個回路，把任意x引腳切通到任意y引腳上，以應(yīng)對芯片引腳bga/sip等封裝有大量被測pad點開短路和功能測試多種需求，所述矩陣開關(guān)（12）的漏電流極小為1na。