所述內(nèi)腔體與外腔體構(gòu)成密封腔體，所述內(nèi)腔體和所述外腔體連通的技術(shù)手段，所以，不但有利于對壓力進(jìn)行準(zhǔn)確的測量，而且，還有利于對壓力進(jìn)行精確的測量。
[0048]作為本實(shí)施方式的一種改進(jìn)，如圖2所示，所述內(nèi)腔體3通過氣道5與所述外腔體
4連通。
[0049]本實(shí)施方式由于采用了所述內(nèi)腔體和所述外腔體通過氣道連通的技術(shù)手段，所以，有利于內(nèi)腔體中的空氣和外腔體中的空氣相互流通。
[0050]作為本實(shí)施方式進(jìn)一步的改進(jìn)，如圖2所示，所述氣道5是設(shè)置在所述固定電極2上的透孔，所述內(nèi)腔體3通過透孔與所述外腔體4連通。當(dāng)然，也可以是所述氣道5是連通所述內(nèi)腔體3和所述外腔體4的管道。
[0051]本實(shí)施方式由于采用了所述氣道是設(shè)置在所述固定電極上的透孔，或者，所述氣道是連通所述內(nèi)腔體和所述外腔體的管道的技術(shù)手段，所以，可根據(jù)客戶的需求生產(chǎn)出多種電容式壓力傳感器。
[0052]作為本實(shí)施方式再進(jìn)一步的改進(jìn)，如圖2所示，所述透孔有兩個，當(dāng)然，也可以是所述透孔有一個、三個或多個。所述管道是柔性管道，當(dāng)然，所述管道也可以是剛性管道，所述管道有一個，也可以是所述管道有兩個、三個或多個。
[0053]本實(shí)施方式由于采用了所述透孔至少有一個，所述管道是柔性管道或剛性管道，所述管道至少有一個的技術(shù)手段，所以，可根據(jù)實(shí)際情況生產(chǎn)出多種電容式壓力傳感器。
[0054]作為本實(shí)施方式還進(jìn)一步的改進(jìn)，如圖2所示，所述外腔體處于自由狀態(tài)下的最大容積大于或等于所述內(nèi)腔體的容積。
[0055]本實(shí)施方式由于采用了所述外腔體處于自由狀態(tài)下的最大容積大于或等于所述內(nèi)腔體的容積的技術(shù)手段，所以，可在確保對壓力準(zhǔn)確測量和精確測量的前提下，使電容式壓力傳感器的占用空間最小。
[0056]作為本實(shí)施方式又進(jìn)一步的改進(jìn)，如圖2所示，所述透孔設(shè)置在所述固定電極2的中部，當(dāng)然，也可以是如圖3所示，所述透孔設(shè)置在所述固定電極2的邊部。所述管道穿透所述固定電極2的中部，當(dāng)然，也可以是所述透孔設(shè)置在所述固定電極2的邊部。
[0057]本實(shí)施方式由于采用了所述透孔設(shè)置在所述固定電極的中部或邊部；所述管道穿透所述固定電極的中部或邊部的技術(shù)手段，所以，可根據(jù)實(shí)際需要制作出多種電容式壓力傳感器。
[0058]作為本實(shí)施方式更進(jìn)一步的改進(jìn)，如圖3所示，所述感應(yīng)電極1是彈性金屬片，當(dāng)然，也可以是如圖2所示，所述感應(yīng)電極1包括薄膜11，所述薄膜11的表面鍍有金屬層12，所述固定電極2為剛性金屬板。
[0059]本實(shí)施方式由于采用了所述感應(yīng)電極是彈性金屬片，或者，所述感應(yīng)電極包括薄膜，所述薄膜的表面鍍有金屬層的技術(shù)手段，所以，有利于增大感應(yīng)電極的變形量。當(dāng)采用所述固定電極為剛性金屬板的技術(shù)手段時，則可提高壓力測量的穩(wěn)定性。
[0060]作為本實(shí)施方式再更進(jìn)一步的改進(jìn)，如圖2所示，所述支撐體6是絕緣體。當(dāng)然，所述支撐體6與所述感應(yīng)電極1為一體件，所述支撐體6與所述固定電極2之間絕緣連接。還可以是所述支撐體6與所述固定電極2為一體件，所述支撐體6與所述感應(yīng)電極1之間絕緣連接。
[0061]本實(shí)施方式由于采用了所述支撐體是絕緣體的技術(shù)手段，所以，可大大減小電容器的生產(chǎn)難度。當(dāng)采用所述支撐體與所述感應(yīng)電極為一體件，所述支撐體與所述固定電極之間絕緣連接的技術(shù)手段時，則可增加感應(yīng)電極的強(qiáng)度。當(dāng)采用所述支撐體與所述固定電極為一體件，所述支撐體與所述感應(yīng)電極之間絕緣連接的技術(shù)手段時，則可增加固定電極的強(qiáng)度。
[0062]在一實(shí)施例中，如圖2所示，所述基底的形狀呈殼體，所述殼體的空腔形成所述外腔體?；蛘?，在其他實(shí)施例中，如圖3所示，所述基底的形狀呈實(shí)芯體，所述實(shí)芯體的頂面設(shè)置有盲孔，所述盲孔形成所述外腔體。
[0063]以上所述的僅是本實(shí)用新型的實(shí)施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出改進(jìn)，但這些均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0064]以上所述的僅是本實(shí)用新型的實(shí)施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出改進(jìn)，但這些均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種電容式壓力傳感器，包括基底，覆蓋于基底的固定電極、設(shè)置于固定電極上的支撐體、覆蓋于支撐體上的感應(yīng)電極；固定電極和感應(yīng)電極相對設(shè)置；所述固定電極、感應(yīng)電極以及支撐體共同形成內(nèi)腔體，其特征在于，基底上開設(shè)有外腔體，內(nèi)腔體和外腔體連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于:所述內(nèi)腔體通過氣道與所述外腔體連通。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容式壓力傳感器，其特征在于:所述氣道是設(shè)置在所述固定電極上的透孔，或者，所述氣道是連通所述內(nèi)腔體和所述外腔體的管道。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式壓力傳感器，其特征在于:所述透孔至少有一個；所述管道是柔性管道或剛性管道，所述管道至少有一個。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電容式壓力傳感器，其特征在于:所述透孔設(shè)置在所述固定電極的中部或邊部。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電容式壓力傳感器，其特征在于:所述外腔體處于自由狀態(tài)下的最大容積大于所述內(nèi)腔體的容積。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于:所述感應(yīng)電極是彈性金屬片，或者，所述感應(yīng)電極包括薄膜，所述薄膜的表面鍍有金屬層，所述固定電極為剛性金屬板。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于:所述支撐體是絕緣體；或者，所述支撐體與所述感應(yīng)電極為一體件，所述支撐體與所述固定電極之間絕緣連接；或者，所述支撐體與所述固定電極為一體件，所述支撐體與所述感應(yīng)電極之間絕緣連接。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于:所述基底呈殼體狀，殼體內(nèi)部的空腔形成所述外腔體。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于:所述基底呈實(shí)芯體，所述外腔體為開設(shè)在所述實(shí)芯體中的多個盲孔。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種電容式壓力傳感器，包括基底，覆蓋于基底的固定電極、設(shè)置于固定電極上的支撐體、覆蓋于支撐體上的感應(yīng)電極；固定電極和感應(yīng)電極相對設(shè)置；所述固定電極、感應(yīng)電極以及支撐體共同形成內(nèi)腔體，基底上開設(shè)有外腔體，內(nèi)腔體和外腔體連通。本實(shí)用新型有利于對壓力進(jìn)行準(zhǔn)確的測量。
【IPC分類】G01L9/10, G01L1/14
【公開號】CN205120280
【申請?zhí)枴緾N201520830121
【發(fā)明人】張睿
【申請人】瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2015年10月26日