專利名稱：一種輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種監(jiān)控系統(tǒng)，尤其適用于硅太陽能電池制造過程中，對(duì)等離子體 刻蝕和等離子體鍍膜等具有等離子輝光特性的設(shè)備的工作狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控與相關(guān)數(shù) 據(jù)的實(shí)時(shí)采集。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的硅太陽能電池制造工藝中， 一般的國產(chǎn)刻蝕機(jī)和平板式PECVD設(shè)備 (等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備)不具有對(duì)等離子刻蝕和PECVD沉積鍍膜過程予 以監(jiān)控與數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)釆集的功能，而在實(shí)際的生產(chǎn)過程中，由于上述刻蝕機(jī)和平板 式PECVD等輝光設(shè)備的本身故障、工作人員的操作失誤及動(dòng)力供應(yīng)故障等因素， 往往會(huì)導(dǎo)致輝光設(shè)備腔體內(nèi)的輝光強(qiáng)度發(fā)生波動(dòng)，造成產(chǎn)品異常，以致生產(chǎn)出不 符合質(zhì)量要求的產(chǎn)品，以刻蝕機(jī)為例，由于各種不穩(wěn)定因素，比如工藝氣體流量 的變化、反應(yīng)倉內(nèi)真空壓力的變化、石英件的粉塵的堆積及老化及微波電源的功 率變化等等，都會(huì)造成對(duì)硅片質(zhì)量的影響，而上述因素的變化也都可以從輝光的 變化上表現(xiàn)出來，這些不穩(wěn)定因素造成硅片刻蝕不凈等缺陷，這些缺陷會(huì)對(duì)太陽 能電池片的質(zhì)量產(chǎn)生很大的影響，直接導(dǎo)致太陽能電池產(chǎn)品質(zhì)量不合格。
長期以來，對(duì)等離子體輝光反應(yīng)過程實(shí)施監(jiān)控和對(duì)輝光功率進(jìn)行控制是太陽能 電池制造行業(yè)一直夢(mèng)寐攻克卻難以解決的技術(shù)難題，目前， 一般的輝光監(jiān)控方式 是對(duì)輝光功率進(jìn)行監(jiān)控，都是取樣電流或電壓通過反饋比較達(dá)到監(jiān)控目的，但是 該種監(jiān)控方式存在以下缺陷(l)因?yàn)槲⒉娫炊际窃趥€(gè)高頻(達(dá)到上千赫茲)高 壓(達(dá)到一千多伏)，所以微波電源會(huì)干擾監(jiān)控系統(tǒng)信號(hào)，引起監(jiān)控系統(tǒng)的錯(cuò)誤動(dòng) 作，因此該種監(jiān)控方式并不十分可靠；(2)因?yàn)橹粚?duì)微波電源的功率變化起到監(jiān)控， 而對(duì)其它變化無法進(jìn)行有效監(jiān)控，因此不能直接的實(shí)現(xiàn)輝光反應(yīng)的狀態(tài)監(jiān)控，也 就無法實(shí)現(xiàn)更為穩(wěn)定的反應(yīng)條件，輝光強(qiáng)度仍容易出現(xiàn)波動(dòng)現(xiàn)象；(3)由于前述原 因，現(xiàn)有的監(jiān)控系統(tǒng)并不能得知其它參數(shù)是否穩(wěn)定的狀況。
綜上所述，現(xiàn)有只對(duì)輝光功率進(jìn)行監(jiān)控的輝光監(jiān)控方式并不能對(duì)等離子體輝光 反應(yīng)過程和對(duì)輝光功率實(shí)施有效的監(jiān)控。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可靠性強(qiáng)、監(jiān)控方式簡單、可實(shí)現(xiàn)輝光穩(wěn)定且能 夠大幅度提高太陽能電池質(zhì)量的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)。
本發(fā)明的目的通過以下的技術(shù)措施來實(shí)現(xiàn) 一種輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系 統(tǒng)，其特征在于包括用于監(jiān)測輝光強(qiáng)度的光敏傳感器、連接電纜及控制器，所述 光敏傳感器通過連接電纜連接所述控制器，所述光敏傳感器用于設(shè)在輝光設(shè)備中 輝光發(fā)生腔體的外圍，光敏傳感器監(jiān)測輝光發(fā)生腔體的等離子體輝光強(qiáng)度獲取監(jiān) 測信號(hào)，該監(jiān)測信號(hào)通過連接電纜傳送至控制器，所述控制器接收所述監(jiān)測信號(hào) 后采取相應(yīng)的操控動(dòng)作。
本發(fā)明的工作原理是當(dāng)輝光設(shè)備正常生產(chǎn)輝光時(shí)，輝光設(shè)備的輝光發(fā)生腔 體內(nèi)會(huì)產(chǎn)生可見光，隨著氣體流量、腔內(nèi)壓力、輝光電源等參數(shù)的變化，可見光 強(qiáng)度也會(huì)發(fā)生改變，光敏傳感器監(jiān)測到上述變化過程中的輝光強(qiáng)度變化，并將監(jiān) 測數(shù)據(jù)發(fā)送給控制器，由控制器通過內(nèi)部程序邏輯運(yùn)算實(shí)現(xiàn)相關(guān)的操控動(dòng)作。
本發(fā)明采用光敏傳感器對(duì)輝光強(qiáng)度進(jìn)行直接監(jiān)測，與現(xiàn)有對(duì)輝光功率進(jìn)行監(jiān) 控的方式相比，微波電源對(duì)監(jiān)控系統(tǒng)的信號(hào)干擾小，不易產(chǎn)生誤動(dòng)作，使得本發(fā) 明監(jiān)控可靠性大大增強(qiáng)；本發(fā)明直接實(shí)現(xiàn)了對(duì)輝光反應(yīng)的監(jiān)控，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定 的反應(yīng)條件，使得硅片能夠在一個(gè)具有非常穩(wěn)定反應(yīng)條件的環(huán)境中進(jìn)行反應(yīng)，由 控制器接收監(jiān)測信號(hào)后采取相應(yīng)的操控動(dòng)作，因此可避免輝光設(shè)備產(chǎn)生故障、人 為操作失誤或者動(dòng)力供應(yīng)故障而導(dǎo)致的輝光波動(dòng)，確保了太陽能電池產(chǎn)品的質(zhì)量。
作為本發(fā)明的種實(shí)施方式，所述光敏傳感器為開關(guān)量光敏傳感器，所述控 制器上設(shè)有與其電力連接的警示裝置，所述丌關(guān)量光敏傳感器具有用于設(shè)定輝光 強(qiáng)度的控制電路，當(dāng)開關(guān)量光敏傳感器監(jiān)測的輝光強(qiáng)度達(dá)到輝光強(qiáng)度的設(shè)定值時(shí)， 開關(guān)量光敏傳感器向控制器發(fā)送一開關(guān)量信號(hào)，由控制器接收該信號(hào)并丌啟警示 裝置。
作為本發(fā)明的另一種實(shí)施方式，所述光敏傳感器為模擬量光敏傳感器，所述 模擬量光敏傳感器對(duì)輝光強(qiáng)度進(jìn)行模擬量轉(zhuǎn)化并將轉(zhuǎn)化信號(hào)傳送至控制器，由控 制器進(jìn)行輝光電源功率的數(shù)據(jù)記錄及控制輝光電源功率的輸出，以實(shí)現(xiàn)對(duì)輝光強(qiáng) 度的調(diào)節(jié)。
作為本發(fā)明的實(shí)施方式，所述光敏傳感器包括開關(guān)量光敏傳感器和模擬量光 敏傳感器，所述控制器上設(shè)有與其電力連接的警示裝置，所述開關(guān)量光敏傳感器 具有用于設(shè)定輝光強(qiáng)度的控制電路，所述開關(guān)量光敏傳感器和模擬量光敏傳感器分別通過連接電纜連接至控制器；當(dāng)開關(guān)量光敏傳感器監(jiān)測的輝光強(qiáng)度達(dá)到輝光 強(qiáng)度的設(shè)定值時(shí)，開關(guān)量光敏傳感器向控制器發(fā)送開關(guān)量信號(hào)，由控制器接收該 信號(hào)并開啟警示裝置；而所述模擬量光敏傳感器則對(duì)輝光強(qiáng)度進(jìn)行模擬量轉(zhuǎn)化并 將轉(zhuǎn)化信號(hào)傳送至控制器，由控制器進(jìn)行輝光電源功率的數(shù)據(jù)記錄及控制輝光電 源功率的輸出，以實(shí)現(xiàn)對(duì)輝光強(qiáng)度的調(diào)節(jié)。
本發(fā)明的開關(guān)量光敏傳感器及其控制電路實(shí)現(xiàn)對(duì)輝光強(qiáng)度的定量反饋，即當(dāng) 反應(yīng)輝光強(qiáng)度降低或者升高到設(shè)定強(qiáng)度時(shí)，輸出開關(guān)量信號(hào)；模擬量光敏傳感器 將現(xiàn)場輝光強(qiáng)度進(jìn)行模擬量轉(zhuǎn)化后，將轉(zhuǎn)化信號(hào)傳送至控制器，而控制器通過預(yù) 先得到的轉(zhuǎn)化信號(hào)和輝光功率的對(duì)應(yīng)關(guān)系，將轉(zhuǎn)化信號(hào)轉(zhuǎn)化為實(shí)際輝光電源功率 處理，即對(duì)輝光電源功率進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄和反饋控制輝光電源功率輸出。因此本發(fā) 明通過模擬信號(hào)和數(shù)字信號(hào)直接對(duì)輝光強(qiáng)度進(jìn)行監(jiān)控，微波電源對(duì)數(shù)字信號(hào)和模 擬信號(hào)的干擾小，使得本發(fā)明的可靠性較強(qiáng)。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述輝光設(shè)備中設(shè)有內(nèi)護(hù)罩，所述內(nèi)護(hù)罩將所述輝 光發(fā)生腔體圍括于其中，所述光敏傳感器設(shè)于內(nèi)護(hù)罩的內(nèi)側(cè)壁上，光敏傳感器與 輝光發(fā)生腔體側(cè)壁之間的距離是5 20cm。
本發(fā)明還具有以下實(shí)施方式
所述控制器設(shè)于電器柜中，控制器上還設(shè)有可實(shí)現(xiàn)人工操控的操作界面，該操 作界面可采用觸摸式顯示屏，而控制器具有多種實(shí)施方式，例如采用可編程控制 器(PLC)或者工控機(jī)等；警示裝置可采用嗡鳴器和/或以不同色彩燈管顯示不同 報(bào)警級(jí)別的指示燈等以實(shí)現(xiàn)報(bào)警功能。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具是有如下顯著的效果
a)本發(fā)明是采用光敏傳感器對(duì)輝光強(qiáng)度進(jìn)行直接監(jiān)測，監(jiān)控信號(hào)所受到微波
電源的干擾較小，監(jiān)測結(jié)果更為可靠；
(2) 本發(fā)明采用光敏傳感器與控制器之間的信號(hào)傳送，由控制器接收監(jiān)控信號(hào) 并進(jìn)行處理以實(shí)現(xiàn)對(duì)輝光強(qiáng)度的監(jiān)控，監(jiān)控方式比較簡單；
(3) 本發(fā)明是對(duì)綜合性能表現(xiàn)的監(jiān)控，直接實(shí)現(xiàn)了對(duì)輝光反應(yīng)狀態(tài)的監(jiān)控，使 得輝光更為穩(wěn)定，可大幅度提高太陽能電池質(zhì)量；
(4) 本發(fā)明輝光監(jiān)控系統(tǒng)可普遍適用于輝光設(shè)備的輝光強(qiáng)度監(jiān)控，適用范圍比 較廣泛。


下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。 圖1是本發(fā)明實(shí)施例1工作狀態(tài)示意圖； 圖2是本發(fā)明實(shí)施例1電路控制示意圖。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例1
如圖1所示，本發(fā)明一種輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，包括用于監(jiān)測輝光
強(qiáng)度的光敏傳感器、連接電纜及控制器3，控制器3采用可編程控制器(PLC)， 光敏傳感器包括開關(guān)量光敏傳感器11和模擬量光敏傳感器12，可編程控制器上設(shè) 有與其電力連接的警示裝置，警示裝置采用嗡鳴器6和以不同色彩燈管顯示不同 報(bào)警級(jí)別的指示燈7，開關(guān)量光敏傳感器11具有用于設(shè)定輝光強(qiáng)度的控制電路， 設(shè)定強(qiáng)度由控制電路中的調(diào)節(jié)器實(shí)施調(diào)節(jié)，開關(guān)量光敏傳感器11和模擬量光敏傳 感器12分別通過連接電纜2、 21連接至可編程控制器；關(guān)量光敏傳感器11和模 擬量光敏傳感器12設(shè)于輝光設(shè)備中輝光發(fā)生腔體5的外圍，輝光設(shè)備中設(shè)有內(nèi)護(hù) 罩6，內(nèi)護(hù)罩6將輝光發(fā)生腔體5圍括于其中，關(guān)量光敏傳感器11和模擬量光敏 傳感器12設(shè)于內(nèi)護(hù)罩的內(nèi)側(cè)壁上，此時(shí)，上述兩個(gè)光敏傳感器與輝光發(fā)生腔體5 側(cè)壁之間的距離是10cm，安裝時(shí)，在內(nèi)護(hù)罩6上開洞并調(diào)整好上述光敏傳感器與 輝光發(fā)生腔體5的距離，并調(diào)節(jié)好角度后，用膠固定；為了使開關(guān)量光敏傳感器 11和模擬量光敏傳感器12不受其它光源的干擾，將輝光發(fā)生腔體5密封。 本發(fā)明的工作過程如下
當(dāng)開關(guān)量光敏傳感器11監(jiān)測的輝光強(qiáng)度達(dá)到輝光強(qiáng)度的設(shè)定值時(shí)，開關(guān)量光 敏傳感器11向可編程控制器發(fā)送開關(guān)量信號(hào)，由可編程控制器接收該信號(hào)后，通 過運(yùn)算預(yù)編程程序?qū)崿F(xiàn)丌啟嗡鳴器6和指示燈7;另一方面，模擬量光敏傳感器 12則對(duì)輝光強(qiáng)度進(jìn)行模擬量轉(zhuǎn)化并將轉(zhuǎn)化信號(hào)傳送至可編程控制器，可編程控制 器通過預(yù)先得到的轉(zhuǎn)化信號(hào)與輝光電源功率的對(duì)應(yīng)關(guān)系，將轉(zhuǎn)化信號(hào)轉(zhuǎn)化為實(shí)際 輝光電源功率處理，即進(jìn)行輝光電源功率的數(shù)據(jù)記錄及控制輝光電源功率的輸出， 以實(shí)現(xiàn)對(duì)輝光強(qiáng)度的調(diào)節(jié)。
可編程控制器設(shè)于電器柜9中，可編程控制器具有可實(shí)現(xiàn)人工操控的操作界 面，在本實(shí)施例中，操作界面采用觸摸式顯示屏8。
如圖2所示，是本發(fā)明的電路控制示意圖，開關(guān)量光敏傳感器SD采用JGK-2
7數(shù)字量輸出，開關(guān)量光敏傳感器SD的數(shù)字信號(hào)輸出端與可編程控制器PLC的數(shù) 字信號(hào)輸入端連接，可編程控制器PLC的各指示信號(hào)輸出端與表示不同報(bào)警級(jí)別 指示燈HL的指示信號(hào)輸入端連接，可編程控制器PLC的報(bào)警信號(hào)輸出端與嗡鳴 器speaker的報(bào)警信號(hào)輸入端連接；模擬量光敏傳感器SA(模擬量控制，-10VDC +10￥00的模擬信號(hào)輸出端與數(shù)/模轉(zhuǎn)換模塊？乂2^4八/0的模擬信號(hào)輸入端連接， 模擬量光敏傳感器SA通過數(shù)/模轉(zhuǎn)換模塊FX2N-4A/D對(duì)現(xiàn)場輝光強(qiáng)度進(jìn)行模擬量 轉(zhuǎn)化后，將轉(zhuǎn)化信號(hào)(-10VDC—10VDC)傳送至可編程控制器。
本發(fā)明通過數(shù)字信號(hào)和模擬信號(hào)直接對(duì)輝光強(qiáng)度實(shí)施監(jiān)測，微波電源對(duì)該監(jiān) 測信號(hào)干擾小，因此本發(fā)明的抗干擾性強(qiáng)，實(shí)踐證明無誤動(dòng)作，可靠性高，能夠 直接實(shí)現(xiàn)輝光反應(yīng)的監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)更加穩(wěn)定的反應(yīng)條件。本實(shí)施例為本發(fā)明的最佳 實(shí)施方式。
實(shí)施例2
本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處在于光敏傳感器只采用開關(guān)量光敏傳感器， 開關(guān)量光敏傳感器與輝光發(fā)生腔體側(cè)壁之間的距離是5cm，控制器采用工控機(jī)， 當(dāng)丌關(guān)量光敏傳感器監(jiān)測的輝光強(qiáng)度升高或者降低到輝光強(qiáng)度的設(shè)定值時(shí)，開關(guān) 量光敏傳感器向工控機(jī)發(fā)送一開關(guān)量信號(hào)，由工控機(jī)接收該信號(hào)，通過運(yùn)算預(yù)編 程程序?qū)崿F(xiàn)開啟嗡鳴器和指示燈。
實(shí)施例3
本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處在于光敏傳感器只采用模擬量光敏傳感器， 模擬量光敏傳感器與輝光發(fā)生腔體側(cè)壁之間的距離是20cm，模擬量光敏傳感器對(duì) 輝光強(qiáng)度進(jìn)行模擬量轉(zhuǎn)化并將轉(zhuǎn)化信號(hào)傳送至可編程控制器，可編程控制器通過 預(yù)先得到的轉(zhuǎn)化信號(hào)與輝光電源功率的對(duì)應(yīng)關(guān)系，將轉(zhuǎn)化信號(hào)轉(zhuǎn)化為實(shí)際輝光電 源功率處理，即進(jìn)行輝光電源功率的數(shù)據(jù)記錄及控制輝光電源功率的輸出，以實(shí) 現(xiàn)對(duì)輝光強(qiáng)度的調(diào)節(jié)。
本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此，根據(jù)本發(fā)明的上述內(nèi)容，按照本領(lǐng)域的普通技 術(shù)知識(shí)和慣用手段，在不脫離本發(fā)明上述基本技術(shù)思想前提下，本發(fā)明還可以做 出其它多種形式的修改、替換或變更，均落在本發(fā)明權(quán)利保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于包括用于監(jiān)測輝光強(qiáng)度的光敏傳感器、連接電纜及控制器，所述光敏傳感器通過連接電纜連接所述控制器，所述光敏傳感器用于設(shè)在輝光設(shè)備中輝光發(fā)生腔體的外圍，光敏傳感器監(jiān)測輝光發(fā)生腔體的等離子體輝光強(qiáng)度獲取監(jiān)測信號(hào)，該監(jiān)測信號(hào)通過連接電纜傳送至控制器，所述控制器接收所述監(jiān)測信號(hào)后采取相應(yīng)的操控動(dòng)作。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述 光敏傳感器為開關(guān)量光敏傳感器，所述控制器上設(shè)有與其電力連接的警示裝置， 所述開關(guān)量光敏傳感器具有用于設(shè)定輝光強(qiáng)度的控制電路，當(dāng)開關(guān)量光敏傳感器 監(jiān)測的輝光強(qiáng)度達(dá)到輝光強(qiáng)度的設(shè)定值時(shí)，開關(guān)量光敏傳感器向控制器發(fā)送一開 關(guān)量信號(hào)，由控制器接收該信號(hào)并開啟警示裝置。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述 光敏傳感器為模擬量光敏傳感器，所述模擬量光敏傳感器對(duì)輝光強(qiáng)度進(jìn)行模擬量 轉(zhuǎn)化并將轉(zhuǎn)化信號(hào)傳送至控制器，由控制器進(jìn)行輝光電源功率的數(shù)據(jù)記錄及控制 輝光電源功率的輸出，以實(shí)現(xiàn)對(duì)輝光強(qiáng)度的調(diào)節(jié)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述 光敏傳感器包括開關(guān)量光敏傳感器和模擬量光敏傳感器，所述控制器上設(shè)有與其 電力連接的警示裝置，所述開關(guān)量光敏傳感器具有用于設(shè)定輝光強(qiáng)度的控制電路，所述丌關(guān)量光敏傳感器和模擬量光敏傳感器分別通過連接電纜連接至控制器；當(dāng) 開關(guān)量光敏傳感器監(jiān)測的輝光強(qiáng)度達(dá)到輝光強(qiáng)度的設(shè)定值時(shí)，開關(guān)量光敏傳感器 向控制器發(fā)送開關(guān)量信號(hào)，由控制器接收該信號(hào)并開啟警示裝置；而所述模擬量 光敏傳感器則對(duì)輝光強(qiáng)度進(jìn)行模擬量轉(zhuǎn)化并將轉(zhuǎn)化信號(hào)傳送至控制器，由控制器 進(jìn)行輝光電源功率的數(shù)據(jù)記錄及控制輝光電源功率的輸出，以實(shí)現(xiàn)對(duì)輝光強(qiáng)度的 調(diào)節(jié)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述 輝光設(shè)備中設(shè)有內(nèi)護(hù)罩，所述內(nèi)護(hù)罩將所述輝光發(fā)生腔體圍括于其中，所述光敏 傳感器設(shè)于內(nèi)護(hù)罩的內(nèi)側(cè)壁上。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述 光敏傳感器與輝光發(fā)生腔體側(cè)壁之間的距離是5 20cm。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1 4任一所述的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在 于所述控制器是可編程控制器或工控機(jī)。
8、 根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于 所述警示裝置為嗡鳴器和/或以不同色彩燈管顯示不同報(bào)警級(jí)別的指示燈。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1 4任一所述的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于 所述控制器設(shè)于電器柜中，所述控制器上還設(shè)有可實(shí)現(xiàn)人工操控的操作界面。
10、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述操作界面為觸摸式顯示屏。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種輝光設(shè)備可調(diào)節(jié)輝光監(jiān)控系統(tǒng)，包括用于監(jiān)測輝光強(qiáng)度的光敏傳感器、連接電纜及控制器，所述光敏傳感器通過連接電纜連接所述控制器，所述光敏傳感器用于設(shè)在輝光設(shè)備中輝光發(fā)生腔體的外圍，光敏傳感器監(jiān)測輝光發(fā)生腔體的等離子體輝光強(qiáng)度獲取監(jiān)測信號(hào)，該監(jiān)測信號(hào)通過連接電纜傳送至控制器，所述控制器接收所述監(jiān)測信號(hào)后采取相應(yīng)的操控動(dòng)作。本發(fā)明采用光敏傳感器對(duì)輝光強(qiáng)度進(jìn)行直接監(jiān)測，干擾小，不易產(chǎn)生誤動(dòng)作，可靠性強(qiáng)；本發(fā)明直接實(shí)現(xiàn)了對(duì)輝光反應(yīng)的監(jiān)控，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的反應(yīng)條件，可避免輝光設(shè)備產(chǎn)生故障、人為操作失誤等導(dǎo)致的輝光波動(dòng)，確保了太陽能電池產(chǎn)品的質(zhì)量。
文檔編號(hào)G05D25/00GK101598951SQ200910040490
公開日2009年12月9日 申請(qǐng)日期2009年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月23日
發(fā)明者戴德鵬 申請(qǐng)人:揚(yáng)州晶澳太陽能研發(fā)有限公司