技術特征：

技術總結
本發(fā)明提供了一種設備的異常評估方法，包括下列步驟。根據一配方信息與一傳感信號，取得對應于一生命周期的一特征序列，特征序列包括多個特征子集序列，生命周期關聯(lián)于多個工藝操作。對生命周期重復執(zhí)行一生命區(qū)段分析程序，以取得生命周期中的多個生命區(qū)段，以及每一生命區(qū)段所對應的特征子集序列。根據每一生命區(qū)段所對應的特征子集序列，來建構每一生命區(qū)段的一趨勢分布。根據多個趨勢分布來決定是否發(fā)出一警示信息。

技術研發(fā)人員：許耀中;張森嘉;謝宗融
受保護的技術使用者：財團法人工業(yè)技術研究院
技術研發(fā)日：2016.05.06
技術公布日：2017.10.03