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超聲波生物識(shí)別傳感器的制作方法

文檔序號(hào):11210494閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
一種超聲波生物識(shí)別傳感器包含一感測(cè)芯片,其包含一基板、一超聲波傳感陣列以及一控制電路。超聲波傳感陣列設(shè)置于基板上,且包含多個(gè)陣列排列的壓電組件,其中每一壓電組件設(shè)置于一浮板,且浮板以橫向延伸的至少一支持臂懸浮于一空腔的一開口端??刂齐娐芬嘣O(shè)置于基板上,并經(jīng)由支持臂與每一壓電組件電性連接,以控制超聲波傳感陣列產(chǎn)生一超聲波并讀取超聲波傳感陣列所接收的一超聲波反射信號(hào)。上述超聲波生物識(shí)別傳感器易于生產(chǎn)且良率高。

技術(shù)研發(fā)人員:王建勛;黃文琦
受保護(hù)的技術(shù)使用者:眾智光電科技股份有限公司
文檔號(hào)碼:201720105824
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.25
技術(shù)公布日:2017.10.10

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