專利名稱：一種滑輪支架及其利用此滑輪支架的線鋸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種滑輪支架及其利用此滑輪支架的線鋸裝置，屬于
線鋸(wire saw)裝置領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，線鋸裝置廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域。日本生產(chǎn)的NTC442型線鋸 裝置是一種在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域經(jīng)常使用的一種線鋸裝置。在此線鋸裝 置中，是利用很多的導(dǎo)線滑輪完成對線的導(dǎo)向。如圖1所示，圖l是 現(xiàn)有技術(shù)中線鋸裝置的導(dǎo)線滑輪的固定方式示意圖，也就是滑輪支架 的設(shè)置方式示意圖。圖1包括圖la、圖lb和圖lc。圖la是現(xiàn)有技術(shù) 中線鋸裝置的導(dǎo)線滑輪的固定方式的俯視圖。圖lb是現(xiàn)有技術(shù)中線鋸 裝置的導(dǎo)線滑輪的固定方式的主視圖。圖lc是現(xiàn)有技術(shù)中線鋸裝置的 導(dǎo)線滑輪的固定方式的立體示意圖。在固定板1上固定連接著支撐架2, 支撐架2上活動連接有導(dǎo)線滑輪3。支撐架2和導(dǎo)線滑輪3的連接方式 如圖2所示，圖2是圖la中A-A向的視圖。如圖2所示，在支撐架2 設(shè)置導(dǎo)槽型孔201,螺釘202通過導(dǎo)槽將支撐架2和導(dǎo)線滑輪3連接， 并且導(dǎo)線滑輪3在橫向上是可以根據(jù)實際情況而進行調(diào)整的。如圖3 所示，在線鋸裝置工作過程中，鋼線4通過導(dǎo)4合滑4侖3,導(dǎo)線滑輪3上 的鋼線4的方向由導(dǎo)線滑輪3和外力的方向決定，圖3中的外力的方 向是垂直向下的，這樣是一種比較理想的工作狀態(tài)。在圖3中，鋼線4 的主要受力方向為垂直向下的，鋼線4只受拉伸的力。而在線鋸裝置 工作過程中，由于線鋸裝置的長期使用等原因，也可能出現(xiàn)如圖4所 示的情況，在圖4中，鋼線4不僅收到拉伸的力而且還受到剪切的力， 眾所周知，剪切力和拉伸力復(fù)合應(yīng)力的結(jié)合對鋼線的破壞是很大的， 所以容易出現(xiàn)斷線的情況，斷線情況的出現(xiàn)將使得整鋸?fù)９?，并有?能使得整鋸報廢。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述缺陷，本發(fā)明解決的技術(shù)問題在于，提供一種滑輪支架， 該滑輪支架可以在調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪上鋼線的方向，使得鋼線的受力更加 合理。
為了解決以上的技術(shù)問題，本發(fā)明提供一下的技術(shù)方案 一種滑輪支架，用于線鋸裝置，包括固定裝置、支撐架和導(dǎo)線滑 輪，所述支撐架固定在所述固定裝置上，所述導(dǎo)線滑輪設(shè)置在所述支 撐架上，所述支撐架與所述導(dǎo)線滑輪之間設(shè)置有可變向墊塊。
本發(fā)明所提供的滑輪支架，通過在所述支撐架與所述導(dǎo)線滑輪之 間設(shè)置可變向墊塊，使得滑輪支架上的導(dǎo)線滑輪能夠調(diào)節(jié)方向，從而 可以調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪上的鋼線的方向，使得鋼線的方向與其所受外力的 方向一致，在鋼線的受力更加合理，鋼線也不易斷裂，從而可以提高 鋼線的使用壽命，最重要的是能夠保證生產(chǎn)的持續(xù)進行，甚至可以提 高利用此滑輪支架的線鋸裝置的壽命。
優(yōu)選地，所述支撐架通過焊接方式固定在所述固定裝置上。 優(yōu)選地，所述導(dǎo)線滑輪與所述支撐架通過穿孔螺釘連接。 優(yōu)選地，所述穿孔螺釘?shù)膫€數(shù)為兩個或者兩個以上。 優(yōu)選地，所述支撐架上和所述導(dǎo)線滑輪上有導(dǎo)槽型孔，所述穿孔 螺釘穿過所述導(dǎo)槽型孔。
優(yōu)選地，所述支撐架的長度為200mm (毫米)以上，所述導(dǎo)槽型孔 的長度為185mm以上。
優(yōu)選地，所述固定裝置為板狀固定裝置。 本發(fā)明還提供一種線鋸裝置，包括上述的滑輪支架。 優(yōu)選地，所述滑輪支架固定在線鋸裝置的側(cè)壁上。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的滑輪支架，通過在所述支撐架 與所述導(dǎo)線滑輪之間設(shè)置可變向墊塊，4吏得滑輪支架上的導(dǎo)線滑輪能 夠調(diào)節(jié)方向，從而可以調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪上的鋼線的方向，使得鋼線的方 向與其所受外力的方向一致，在鋼線的受力更加合理，鋼線也不易斷 裂，從而可以提高鋼線的使用壽命，最重要的是能夠保證生產(chǎn)的持續(xù) 進行，甚至可以提高利用此滑輪支架的線鋸裝置的壽命。本發(fā)明提供的可調(diào)滑輪支架，特別適合應(yīng)用于線鋸裝置。


圖la是現(xiàn)有技術(shù)中線鋸裝置的導(dǎo)線滑輪的固定方式的俯視圖。 圖1 b是現(xiàn)有技術(shù)中線鋸裝置的導(dǎo)線滑輪的固定方式的主視圖。 圖lc是現(xiàn)有技術(shù)中線鋸裝置的導(dǎo)線滑輪的固定方式的立體示意圖。
圖2是圖1中A-A向的視圖。
圖3是現(xiàn)有技術(shù)中線鋸裝置工作過程中理想鋼線的工作狀態(tài)圖。 圖4是現(xiàn)有技術(shù)中線鋸裝置工作過程中出現(xiàn)偏差的鋼線的工作狀 態(tài)圖。
圖5是實施例1提供的滑輪支架的俯視圖。
圖6是實施例1提供的滑輪支架的工作原理圖。
圖6a是實施例1中滑輪支架調(diào)整前的工作狀態(tài)圖。
圖6b是實施例1中滑輪支架調(diào)整后的工作狀態(tài)圖。
圖7是實施例1中可變向墊塊的具體設(shè)置方式。
圖中各標(biāo)記為
1一一固定板(固定裝置)，2 — 一支撐架，201 — 一導(dǎo)槽型孔，202 ——螺釘，3——導(dǎo)線滑輪，4——鋼線，5——可變向墊塊，501—— 弧形導(dǎo)槽，502 — 一轉(zhuǎn)軸。
具體實施例方式
為了本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠更好地理解本發(fā)明所提供的技術(shù)方 案，下面結(jié)合具體實施例進行進一步地闡述。 實施例1
本實施例提供一種滑輪支架，用于線鋸裝置。
本發(fā)明所提及的線鋸裝置也可以簡稱為線鋸。
請參見圖5,圖5是本實施例所提供的滑輪支架的俯視圖。本發(fā)明 所提供的滑輪支架均用于線鋸裝置。圖5中的滑輪支架包括固定裝置1 、 支撐架2和導(dǎo)線滑輪3，所述支撐架2固定在所述固定裝置1上，所述導(dǎo)線滑輪3設(shè)置在所述支撐架2上，所述支撐架2與所述導(dǎo)線滑輪3 之間設(shè)置有可變向墊塊5。
本實施例中的固定裝置1與背景技術(shù)中提到的固定板的作用是一 樣的，都是為了給滑輪支架的支撐架提供固定的場所。所以此處的固 定裝置1可以用固定板來代替，或者其他形狀的固定裝置都是可以接 受的。
請參見圖6,圖6是本實施例所提供的滑輪支架的工作原理圖，圖 6包括圖6a和圖6b。從圖6可以看出此滑輪支架的工作原理是在圖 6a中，鋼線4的方向與導(dǎo)線滑輪3上導(dǎo)槽的方向(圖中，導(dǎo)線滑輪上 的導(dǎo)槽方向是豎直向下的，導(dǎo)線滑輪上的導(dǎo)槽是凹槽)已經(jīng)不再平行 也不在一條直線上，鋼線4的受力一方面是受鋼線軸線方向的拉力， 一方面是受導(dǎo)線滑輪3上導(dǎo)槽的剪切力，這樣是非常容易出現(xiàn)斷線情 況。然而由于滑輪支架上有一個可變向墊塊5,如圖6b所示，所以操 作人員可以通過調(diào)整可變向墊塊來調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪3的方向，使得導(dǎo)線 滑輪3的導(dǎo)槽方向與鋼線4的受力方向保持一致或者基本保持一致， 這樣就消除了導(dǎo)線所受的剪切力或者大大降低了導(dǎo)線所受的剪切力。
支撐架2通過焊接固定的方式固定在固定裝置1上，也可以采用 其他的固定方式，例如鉚接、螺釘連接等，需要注意的是，由于線鋸 裝置的精密性，所以支撐架與固定裝置的連接最好采用非常牢固的固 定連接，以保證線鋸裝置工作過程中的精確性。
對于可變向墊塊的設(shè)置方式，可以參見圖7。圖7為本實施例中可 變向墊塊的具體設(shè)置方式。圖7為將導(dǎo)線滑輪去除之后的主視圖。從 圖中可以看出，可變向墊塊5中，包括弧形導(dǎo)槽501，弧形導(dǎo)槽501中 可以設(shè)置調(diào)整部件，使得調(diào)整部件繞著轉(zhuǎn)軸502旋轉(zhuǎn)，從而可以完成 對導(dǎo)線滑輪的調(diào)節(jié)，使得導(dǎo)線滑輪的導(dǎo)槽的方向與鋼線的軸向一致或 者基本一致。
圖7所示的可變向墊塊的設(shè)置方式可以在一個方向上調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑 輪的方向，如果需要在其他方向上調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪的方向，那么則可以 根據(jù)需要做適當(dāng)?shù)淖兏O(shè)計即可。同時根據(jù)上述的原理，也可以使得 可變向墊塊能夠在兩個維度方向上調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪的方向。 一般不需要在三個維度方向上調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪的方向，因為， 一方面實現(xiàn)比較困難， 另一方面，也沒有太大的必要，因為通過導(dǎo)線滑輪導(dǎo)槽上的鋼線是線 性的，只要調(diào)整使得鋼線的方向與導(dǎo)線滑輪導(dǎo)槽的方向一致即可，沒 有必要作太多的無用功。
圖7中的可變向墊塊上的弧形導(dǎo)槽501的調(diào)整角度大約在30°以 內(nèi)，這樣已經(jīng)完全可以滿足鋼線調(diào)整的需要，不需要再進行太大的調(diào) 整幅度，如果設(shè)計調(diào)整角度大于30° , —方面實現(xiàn)難度加大，另外一 方面，也沒有太大的必要。可變向墊塊還包括一個自鎖裝置，自鎖裝 置的作用是當(dāng)角度調(diào)整到合適位置之后，可以使得導(dǎo)線滑輪的位置 固定。自鎖裝置最簡單的實現(xiàn)方式就是通過控制導(dǎo)向軸在導(dǎo)槽501之 中的位置來實現(xiàn)。
另外，從圖7中可以看出，支撐架2上的導(dǎo)槽201的長度是非常 長的，相對與現(xiàn)有技術(shù)中的50mm左右調(diào)整到了 185mm,可以大大提高 導(dǎo)線滑輪的橫向移動距離，對于鋼線的調(diào)整，提供了更大的余地。支 撐架的長度為200腿。
實施例2
本實施例提供一種線鋸裝置。
本實施例所提供的線鋸裝置包括如實施例1所述的滑輪支架，此 滑輪支架可以調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪的方向，從而可以調(diào)節(jié)鋼線與導(dǎo)線滑輪之 間的作用力方式從拉應(yīng)力和剪切應(yīng)力的組合，調(diào)整為只有拉應(yīng)力。 滑輪支架固定在線鋸裝置的側(cè)壁上。
將實施例1所述的滑輪支架的固定裝置焊接到線鋸裝置上，使得 其成為最靠近出線口的那個滑輪支架，以調(diào)整從整鋸出來的鋼線的方 向和受力情況。
實施例3
本實施例提供一種線鋸裝置。
本實施例所提供的線鋸裝置包括如實施例1所述的滑輪支架，此 滑輪支架可以調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪的方向，從而可以調(diào)節(jié)鋼線與導(dǎo)線滑輪之 間的作用力方式從拉應(yīng)力和剪切應(yīng)力的組合，調(diào)整為只有拉應(yīng)力。 滑輪支架固定在線鋸裝置的側(cè)壁上。 '將實施例1所述的滑輪支架的固定裝置焊接到線鋸裝置上，使得 其成為不是最靠近出線口的那個滑輪支架，以調(diào)整滑輪支架出來的鋼 線的方向和受力情況，使得多個滑輪支架所引導(dǎo)的鋼線的分布更為合理。
實施例4
本實施例提供一種線鋸裝置。
本實施例所提供的線鋸裝置包括如實施例1所述的滑輪支架，此 滑輪支架可以調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪的方向，從而可以調(diào)節(jié)鋼線與導(dǎo)線滑輪之 間的作用力方式從拉應(yīng)力和剪切應(yīng)力的組合，調(diào)整為只有拉應(yīng)力。 滑輪支架固定在線鋸裝置的側(cè)壁上。
將實施例1所述的滑輪支架的固定裝置焊接到線鋸裝置上，使得 靠近出線口的那個滑輪支架和其他一些不靠近出線口的那個滑輪支 架，通過局部或者全部調(diào)整，可以使得整個線鋸裝置內(nèi)部的鋼線分布 以及,人線出口處的鋼線分布更為合理。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng) 域的普通l支術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前l(fā)是下，還可以做出 若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。
8
權(quán)利要求
1、一種滑輪支架，用于線鋸裝置，其特征在于，包括固定裝置、支撐架和導(dǎo)線滑輪，所述支撐架固定在所述固定裝置上，所述導(dǎo)線滑輪設(shè)置在所述支撐架上，所述支撐架與所述導(dǎo)線滑輪之間設(shè)置有可變向墊塊。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的滑輪支架，其特征在于，所述支撐架通 過焊接方式固定在所述固定裝置上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑輪支架，其特征在于，所述導(dǎo)線滑輪 與所述支撐架通過穿孔螺釘連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的滑輪支架，其特征在于，所述穿孔螺釘?shù)膫€凄t為兩個或者兩個以上。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的滑輪支架，其特征在于，所述支撐架上和所述導(dǎo)線滑輪上有導(dǎo)槽型孔，所述穿孔螺^r穿過所述導(dǎo)槽型孔。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的滑輪支架，其特征在于，所述支撐架的 長度為200mm以上，所述導(dǎo)槽型孔的長度為185mm以上。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑輪支架，其特征在于，所述固定裝置 為板狀固定裝置。
8、 一種線鋸裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1~6任意一項所 述的滑輪支架。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的線鋸裝置，其特征在于，所述滑輪支架 固定在線鋸裝置的側(cè)壁上。
全文摘要
本發(fā)明公開一種滑輪支架，用于線鋸裝置，包括固定裝置、支撐架和導(dǎo)線滑輪，所述支撐架固定在所述固定裝置上，所述導(dǎo)線滑輪設(shè)置在所述支撐架上，所述支撐架與所述滑輪之間設(shè)置有可變向墊塊。本發(fā)明還公開了利用此滑輪支架的線鋸裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的滑輪支架，通過在所述支撐架與所述導(dǎo)線滑輪之間設(shè)置可變向墊塊，使得滑輪支架上的導(dǎo)線滑輪能夠調(diào)節(jié)方向，從而可以調(diào)節(jié)導(dǎo)線滑輪上的鋼線的方向，使得鋼線的方向與其所受外力的方向一致，在鋼線的受力更加合理，從而可以提高鋼線的使用壽命，最重要的是能夠保證生產(chǎn)的持續(xù)進行。本發(fā)明提供的可調(diào)滑輪支架，特別適合應(yīng)用于線鋸裝置。
文檔編號H01L21/02GK101531036SQ200910131880
公開日2009年9月16日 申請日期2009年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月8日
發(fā)明者尹興海, 張曉方, 亮 楊 申請人:英利能源(中國)有限公司