專利名稱：激光調(diào)阻機探針保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對激光調(diào)阻機的改造，具體涉及一種能避免激光調(diào)阻機工作中光刻平
臺撞傷探針事故的保護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
激光調(diào)阻機是片式電阻的關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備，它利用激光修調(diào)電阻膜寬度調(diào)整電阻 值。為了實時測量電阻值，在電阻光刻時，有上百根極細(xì)的探針同時下壓在電阻基板上，并 施加一定的壓力。此時，如果光刻平臺發(fā)生運動，纖細(xì)的探針由于與電阻的強行摩擦，所有 探針會同時彎曲變形而徹底報廢，造成探針撞傷事故。由于探針組非常昂貴，此類事故會導(dǎo) 致重大的經(jīng)濟損失。 造成探針撞傷事故的原因是光刻平臺由運動控制器控制，而往往由于運動控制 器電壓不穩(wěn)、器件損壞等原因造成失控，導(dǎo)致在探針下壓時光刻平臺本應(yīng)該保持靜止，卻發(fā) 生意外運動。因此，目前存在的探針撞傷事故的設(shè)備技術(shù)問題亟待解決。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提出一種激光調(diào)阻機探針保護(hù)裝置，即使在控制器失控的情況 下，也可以保護(hù)探針不被撞傷，以有效解決激光調(diào)阻機探針撞傷的問題。 本發(fā)明激光調(diào)阻機探針保護(hù)裝置，包括在激光調(diào)阻機的探針系統(tǒng)基座上設(shè)置一能 反饋探針架上下行程位置的光電反射式傳感器和與該光電反射式傳感器控制連接的繼電 器，所述的繼電器串聯(lián)在運動控制器與光刻平臺電機驅(qū)動器的控制電路上，當(dāng)探針架處于 下壓位置時，所述的光電反射式傳感器輸出高電平，繼電器斷開；當(dāng)探針架處于上抬位置 時，光電反射式傳感器輸出低電平，繼電器閉合。 本發(fā)明激光調(diào)阻機探針保護(hù)裝置的工作原理是，通過設(shè)置在探針系統(tǒng)基座上的光 電反射式傳感器時時反饋探針架是處于下壓位置狀態(tài)，還是處于上抬(即探針脫離光刻平 臺)狀態(tài)，當(dāng)探針架處于下壓位置時，光電反射式傳感器輸出高電平驅(qū)動與其連接的繼電 器呈斷開狀態(tài)；此時，即或由于運動控制器發(fā)出使光刻平臺運動的錯誤控制信號，而因串連 在該控制電路上的呈斷開狀態(tài)的繼電器使其信號不能執(zhí)行，因此，可起到對探針的保護(hù)作 用。 采用本發(fā)明探針保護(hù)裝置，即使在運動控制器失控的情況下，也能確保昂貴的探 針不被撞傷，從根本上避免了探針撞傷事故，進(jìn)一步提高了激光調(diào)阻機工作的可靠性。


圖1是本發(fā)明激光調(diào)阻機探針保護(hù)裝置的示意圖。
具體實施例方式
參照圖l，一種激光調(diào)阻機探針保護(hù)裝置，包括在激光調(diào)阻機的探針系統(tǒng)基座上2設(shè)置一能反饋探針架2上下行程位置的光電反射式傳感器(KEYENCE PZ-G102N) 3和與該光 電反射式傳感器3控制連接的繼電器(MATSUSHITA DS2Y-S-DC24V)4，所述的繼電器4串聯(lián) 在運動控制器5與光刻平臺電機驅(qū)動器1的控制電路上，當(dāng)探針架2處于下壓位置時，所述 的光電反射式傳感器3輸出高電平，繼電器4斷開；當(dāng)探針架2處于上抬位置時，光電反射 式傳感器3輸出低電平，繼電器4閉合。
權(quán)利要求
一種激光調(diào)阻機探針保護(hù)裝置，其特征在于包括在激光調(diào)阻機的探針系統(tǒng)基座上(2)設(shè)置一能反饋探針架(2)上下行程位置的光電反射式傳感器(3)和與該光電反射式傳感器(3)控制連接的繼電器(4)，所述的繼電器(4)串聯(lián)在運動控制器(5)與光刻平臺電機驅(qū)動器(1)的控制電路上，當(dāng)探針架(2)處于下壓位置時，所述的光電反射式傳感器(3)輸出高電平，繼電器(4)斷開；當(dāng)探針架(2)處于上抬位置時，光電反射式傳感器(3)輸出低電平，繼電器(4)閉合。
全文摘要
本發(fā)明涉及對激光調(diào)阻機的改造，具體涉及一種激光調(diào)阻機探針保護(hù)裝置，包括在激光調(diào)阻機的探針系統(tǒng)基座上設(shè)置一能反饋探針架上下行程位置的光電反射式傳感器和與該光電反射式傳感器控制連接的繼電器，所述的繼電器串聯(lián)在運動控制器與光刻平臺電機驅(qū)動器的控制電路上，當(dāng)探針架處于下壓位置時，所述的光電反射式傳感器輸出高電平，繼電器斷開；當(dāng)探針架處于上抬位置時，光電反射式傳感器輸出低電平，繼電器閉合。即使在運動控制器失控的情況下，也能確探針不被撞傷，從根本上避免了探針撞傷事故，進(jìn)一步提高了激光調(diào)阻機工作的可靠性。
文檔編號H01C17/242GK101710511SQ200910217998
公開日2010年5月19日 申請日期2009年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月15日
發(fā)明者劉立峰, 吳玉斌, 孫繼鳳, 張德龍, 湯建華 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所