技術(shù)總結(jié)
一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，包括：待降溫組件；冷卻液管道，利用所述冷卻液管道中的冷卻液將待降溫組件降溫；冷卻液供應(yīng)單元，所述冷卻液供應(yīng)單元通過(guò)導(dǎo)管和導(dǎo)管接口與冷卻液管道相連接，利用所述冷卻液供應(yīng)單元將冷卻液循環(huán)通入到冷卻液管道；漏液感應(yīng)單元，所述漏液感應(yīng)單元與導(dǎo)管、導(dǎo)管接口相接觸，用于檢測(cè)導(dǎo)管、導(dǎo)管接口處是否發(fā)生漏液；漏液檢測(cè)單元，所述漏液檢測(cè)單元與所述漏液感應(yīng)單元、冷卻液供應(yīng)單元分別連接，當(dāng)漏液感應(yīng)單元檢測(cè)到出現(xiàn)漏液現(xiàn)象，通過(guò)漏液檢測(cè)單元使得冷卻液供應(yīng)單元停止供液。漏液檢測(cè)單元可以實(shí)時(shí)的檢測(cè)導(dǎo)管、導(dǎo)管接口的位置是否發(fā)生漏液，因此不會(huì)因?yàn)槁┮寒a(chǎn)生重大安全事故。

技術(shù)研發(fā)人員：巴文林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
文檔號(hào)碼：201310207781
技術(shù)研發(fā)日：2013.05.29
技術(shù)公布日：2017.10.10