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電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置的制作方法

文檔序號(hào):11064336閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,包括:

一底電極;

一電阻轉(zhuǎn)態(tài)層,設(shè)置于該底電極上;

一可氧化層,設(shè)置于該電阻轉(zhuǎn)態(tài)層上;

一第一氧擴(kuò)散阻障層,位于該可氧化層與該電阻轉(zhuǎn)態(tài)層之間;以及

一第二氧擴(kuò)散阻障層,位于該可氧化層上。

2.如權(quán)利要求1所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該底電極包括鎢、鉑、鋁、鈦、氮化鈦、或上述的組合,且該底電極的厚度介于10nm至100nm之間。

3.如權(quán)利要求1所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該電阻轉(zhuǎn)態(tài)層包括氧化鉿、氧化鈦、氧化鎢、氧化鉭、氧化鋯、或上述的組合,且該電阻轉(zhuǎn)態(tài)層的厚度介于5nm至10nm之間。

4.如權(quán)利要求1所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該可氧化層包括鈦,且該可氧化層的厚度介于10nm至50nm之間。

5.如權(quán)利要求1所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該第一氧擴(kuò)散阻障層包括氧化鋁,且該第一氧擴(kuò)散阻障層的厚度介于0.3nm至0.6nm之間。

6.如權(quán)利要求1所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該第二氧擴(kuò)散阻障層包括氮氧化鈦層位于氮化鈦層下,且氮化鈦層作為頂電極。

7.如權(quán)利要求6所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該第二氧擴(kuò)散阻障層更包括另一氮化鈦層位于該氮氧化鈦層下。

8.如權(quán)利要求6所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該氮氧化鈦層的厚度介于5nm至15nm之間,且該氮化鈦層的厚度介于10nm至20nm之間。

9.如權(quán)利要求6所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該氮氧化鈦層的鈦、氧、與氮的摩爾比介于4:0.04:1至4:1:3之間。

10.如權(quán)利要求1所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該第二氧擴(kuò)散阻障層包括氧化鋁層位于氮化鈦層下,且氮化鈦層作為頂電極。

11.如權(quán)利要求10所述的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,其特征在于,該氧化鋁層的厚度介于0.3nm至0.6nm之間,而該些氮化鈦層的厚度介于10nm至20nm之間。

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