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電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置的制作方法

文檔序號(hào):11064336閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,包括:底電極;電阻轉(zhuǎn)態(tài)層,設(shè)置于底電極上;可氧化層,設(shè)置于電阻轉(zhuǎn)態(tài)層上;第一氧擴(kuò)散阻障層,位于可氧化層與電阻轉(zhuǎn)態(tài)層之間;以及第二氧擴(kuò)散阻障層,位于可氧化層上。本發(fā)明實(shí)施例的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器裝置,可以克服現(xiàn)有技術(shù)中的在施加寫入電壓至RRAM裝置時(shí),電阻轉(zhuǎn)態(tài)層中的氧原子可能回?cái)U(kuò)散至電阻轉(zhuǎn)態(tài)層,甚至逃逸出頂電極而造成RRAM裝置失效的問題。

技術(shù)研發(fā)人員:陳達(dá);廖紹憬;王炳琨
受保護(hù)的技術(shù)使用者:華邦電子股份有限公司
文檔號(hào)碼:201510988007
技術(shù)研發(fā)日:2015.12.24
技術(shù)公布日:2017.05.03

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