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三維薄膜電池的制作方法

文檔序號:11161690閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種薄膜電池,包含:

基板,包含基板表面;

第一集電器(FCC)層,形成在所述基板表面上,所述FCC層具有第一FCC表面和第二FCC表面,并且其中所述第一FCC表面與所述基板接觸,而且所述第二FCC表面為第一三維表面;

第一電極層,沉積在所述第一集電器上;以及

電解質(zhì)層,沉積在所述第一電極層上;

其中所述第一電極層與所述電解質(zhì)層之間的界面為第二三維表面,所述第二三維表面大致與所述第一三維表面一致。

2.如權(quán)利要求1所述的薄膜電池,其中所述第一三維表面包含圖案化形狀的陣列。

3.如權(quán)利要求1所述的薄膜電池,其中所述基板表面為第三三維表面,而且所述第一三維表面大致與所述第三三維表面一致。

4.如權(quán)利要求1所述的薄膜電池,進(jìn)一步包含:

第二電極層,沉積在所述電解質(zhì)層上;以及

第二集電器(SCC)層,沉積在所述第二電極層上;

其中所述電解質(zhì)層沉積在所述第一電極層上,并且其中所述第二電極層與所述電解質(zhì)層之間的界面為第四三維表面,所述第四三維表面大致與所述第一三維表面一致。

5.如權(quán)利要求4所述的薄膜電池,其中所述第二電極層與所述SCC層之間的界面為第五三維表面,所述第五三維表面大致與所述第四三維表面一致。

6.如權(quán)利要求1所述的薄膜電池,其中所述FCC層為陰極集電器層,并且所述第一電極層為陰極層。

7.如權(quán)利要求1所述的薄膜電池,其中所述FCC層為陽極集電器層,并且所述第一電極層為陽極層。

8.如權(quán)利要求4所述的薄膜電池,其中所述FCC層為陰極集電器層,并且所述第一電極層為陰極層,而且其中所述第二電極層為陽極,并且所述SCC層為陽極集電器層。

9.如權(quán)利要求4所述的薄膜電池,其中所述FCC層為陽極集電器層并且所述第一電極層為陽極層,而且其中所述第二電極層為陰極并且所述SCC層為陰極集電器層。

10.一種制造薄膜電池的方法,包含:

提供基板;

三維重建所述基板的表面以形成重建基板表面;

在所述重建基板表面上沉積第一集電器(FCC)層;

在所述FCC層上沉積電極層;以及

在所述電極層上沉積電解質(zhì)層;

其中所述電極層與所述電解質(zhì)層之間的界面為第一三維表面,所述第一三維表面大致與所述重建基板表面一致。

11.如權(quán)利要求10所述的方法,進(jìn)一步包含:

在所述電解質(zhì)層上沉積第二電極層;

其中所述電解質(zhì)層與所述第二電極層之間的界面為第二三維表面,所述第二三維表面大致與所述重建基板表面一致。

12.一種制造薄膜電池的方法,包含以下步驟:

提供基板;

在所述基板的表面上沉積第一集電器(FCC)層;

三維重建所述FCC層的表面以形成重建FCC表面;

在所述重建FCC表面上沉積第一電極層;以及

在所述第一電極層上沉積電解質(zhì)層;

其中所述第一電極層與所述電解質(zhì)層之間的界面為第一三維表面,所述第一三維表面大致與所述重建FCC表面一致。

13.如權(quán)利要求10或12所述的方法,其中所述三維重建包含激光剝蝕圖案化工藝。

14.如權(quán)利要求12所述的方法,其中所述三維重建包含機(jī)械粗糙化工藝。

15.如權(quán)利要求12所述的方法,進(jìn)一步包含:

在所述電解質(zhì)層上沉積第二電極層;

其中所述電解質(zhì)層與所述第二電極層之間的界面為第二三維表面,所述第二三維表面大致與所述重建第一集電器表面一致。

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