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一種半導(dǎo)體管芯基板的制作方法

文檔序號:11211027閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體管芯基板,其特征在于:包括基板本體(1),所述基板本體(1)上等間距開設(shè)有縱橫交錯的劃片槽(2),所述基板本體(1)上通過劃片槽(2)分隔形成大小間距相同的矩形狀的芯管基片(3),所述芯管基片(3)上下兩側(cè)的劃片槽(2)內(nèi)均開設(shè)有第一對位標(biāo)記(4),所述芯管基片(3)左右兩側(cè)的劃片槽(2)內(nèi)均開設(shè)有第二對位標(biāo)記(5);所述第一對位標(biāo)記(4)包括以3行7列形式設(shè)置的第一對位因子(41),相鄰2列的所述第一對位因子(41)之間的距離均相同;所述第二對位標(biāo)記(5)包括以3列8行形式設(shè)置的第二對位因子(51),相鄰2行所述第二對位因子(51)之間的距離也均相同;所述第一對位標(biāo)記(4)中中間一列的第一對位因子(41)上均設(shè)置有第一識別因子(42),所述第二對位標(biāo)記(5)中第一行第二對位因子(51)和最后一行第二對位因子(51)上均設(shè)置有第二識別因子(52)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體管芯基板,其特征在于:所述第一對位因子(41)和第二對位因子(51)均為圓柱狀的對位因子,所述第一識別因子(42)為三棱柱狀、三棱錐狀或者四棱柱狀的第一識別因子,所述第二識別因子(52)也為三棱柱狀、三棱錐狀或者四棱柱狀的第二識別因子。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體管芯基板,其特征在于:所述第一對位標(biāo)記(4)中第一行第一對位因子(41)和第二行第一對位因子(41)之間的距離小于第二行第一對位因子(41)和第三行第一對位因子(41)之間的距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體管芯基板,其特征在于:所述第二對位標(biāo)記(5)中第一列第二對位因子(51)和第二列第二對位因子(51)之間的距離大于第二列第二對位因子(51)和第三列第二對位因子(51)之間的距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體管芯基板,其特征在于:所述橫向的劃片槽(2)和縱向的劃片槽(2)的交錯處開設(shè)有十字形的切割定位孔(21)。

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