實(shí)施方式涉及臺。更具體地，實(shí)施方式涉及臺和使用臺的誤差補(bǔ)償系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、臺是在顯示設(shè)備、半導(dǎo)體等的制造工藝中支承并精確地傳送基板、晶片等的設(shè)備。臺可以包括支承基板、晶片等并且線性地移動(dòng)的移動(dòng)器，以及用于移動(dòng)器的線性運(yùn)動(dòng)的引導(dǎo)件。當(dāng)移動(dòng)器進(jìn)行線性運(yùn)動(dòng)時(shí)，可能會(huì)在x軸方向、y軸方向和z軸方向上發(fā)生平移運(yùn)動(dòng)誤差或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)誤差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、實(shí)施方式提供了具有改善的可靠性的臺。

2、實(shí)施方式提供了使用臺的誤差補(bǔ)償系統(tǒng)。

3、然而，實(shí)施方式不限于在本文中所闡述那些。對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言，通過參考以下給出的對本公開的詳細(xì)描述，上述及其他實(shí)施方式將變得更加顯而易見。

4、根據(jù)實(shí)施方式的臺包括：底板，在第一方向和與第一方向相交的第二方向上延伸；移動(dòng)框架，設(shè)置在底板上并且能夠在第一方向上或在與第一方向相反的方向上移動(dòng)；以及誤差補(bǔ)償部，設(shè)置在底板和移動(dòng)框架之間并且包括在第一方向上延伸的導(dǎo)軌和設(shè)置在導(dǎo)軌上并且覆蓋導(dǎo)軌的至少一部分的電磁體部。

5、在實(shí)施方式中，電磁體部可以包括設(shè)置在導(dǎo)軌的至少一個(gè)表面上的線圈以及覆蓋線圈的軛。

6、在實(shí)施方式中，線圈可以包括第一線圈以及在第一方向上與第一線圈相鄰并且在與第一線圈纏繞的方向相反的方向上纏繞的第二線圈。

7、在實(shí)施方式中，軛可以包括覆蓋線圈的蓋部以及在朝向?qū)к壍姆较蛏贤怀龅蔫F芯部。

8、在實(shí)施方式中，線圈可以圍繞鐵芯部纏繞。

9、在實(shí)施方式中，電磁體部還可以包括穿過軛的冷卻管路。

10、在實(shí)施方式中，導(dǎo)軌和電磁體部可以彼此間隔開。

11、在實(shí)施方式中，臺還可以包括設(shè)置在移動(dòng)框架的至少一個(gè)表面上的空氣軸承。

12、在實(shí)施方式中，臺還可以包括固定到移動(dòng)框架并且在第一方向上或在與第一方向相反的方向上可移動(dòng)的線性電機(jī)。移動(dòng)框架可以通過線性電機(jī)可移動(dòng)。

13、在實(shí)施方式中，導(dǎo)軌可以固定到底板，并且電磁體部可以固定到移動(dòng)框架。

14、在實(shí)施方式中，誤差補(bǔ)償部可以設(shè)置在底板的上表面上。

15、在實(shí)施方式中，誤差補(bǔ)償部可以設(shè)置在底板的側(cè)表面上。

16、根據(jù)實(shí)施方式的誤差補(bǔ)償系統(tǒng)包括臺。臺包括：底板，在第一方向和與第一方向相交的第二方向上延伸；移動(dòng)框架，設(shè)置在底板上并且能夠在第一方向上或在與第一方向相反的方向上移動(dòng)；以及誤差補(bǔ)償部，設(shè)置在底板和移動(dòng)框架之間并且包括在第一方向上延伸的導(dǎo)軌和設(shè)置在導(dǎo)軌上并且覆蓋導(dǎo)軌的至少一部分的電磁體部。

17、在實(shí)施方式中，電磁體部可以包括設(shè)置在導(dǎo)軌的至少一個(gè)表面上并且被施加電流的線圈、覆蓋線圈的軛以及穿過軛的冷卻管路。

18、在實(shí)施方式中，線圈可以包括在一方向上纏繞的第一線圈以及在第一方向上與第一線圈相鄰并且在與第一線圈纏繞的方向相反的方向上纏繞的第二線圈。

19、在實(shí)施方式中，軛可以包括覆蓋線圈的蓋部以及在朝向?qū)к壍姆较蛏贤怀霾⑶揖€圈圍繞其纏繞的鐵芯部。

20、在實(shí)施方式中，移動(dòng)框架的運(yùn)動(dòng)誤差可以通過控制施加到線圈的電流來補(bǔ)償。

21、在實(shí)施方式中，可以通過施加到線圈的電流在導(dǎo)軌和電磁體部之間產(chǎn)生吸引力，并且吸引力的大小可以通過控制施加到線圈的電流的大小來調(diào)節(jié)。

22、在實(shí)施方式中，可以通過將冷卻劑流入冷卻管路來釋放從線圈產(chǎn)生的熱量。

23、在實(shí)施方式中，導(dǎo)軌和電磁體部可以彼此間隔開。

24、在根據(jù)實(shí)施方式的誤差補(bǔ)償系統(tǒng)中，誤差補(bǔ)償系統(tǒng)可以包括臺，該臺包括誤差補(bǔ)償部。誤差補(bǔ)償部可以包括在一方向上延伸的導(dǎo)軌以及產(chǎn)生磁通量的電磁體部。在臺中發(fā)生線性運(yùn)動(dòng)誤差的情況下，可以通過控制施加到電磁體部的線圈的電流來補(bǔ)償誤差。例如，在由于電流而從電磁體部的線圈產(chǎn)生熱量的情況下，可以通過將冷卻劑流入電磁體部的冷卻管路來釋放產(chǎn)生的熱量。因此，由于可以精確地補(bǔ)償相對于多軸的線性運(yùn)動(dòng)誤差，因此可以實(shí)現(xiàn)具有改善的可靠性的超精確臺。

技術(shù)特征：

1.臺，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臺，其中，所述電磁體部包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的臺，其中，所述線圈包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的臺，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的臺，其中，所述電磁體部還包括穿過所述軛的冷卻管路。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臺，其中，所述導(dǎo)軌和所述電磁體部彼此間隔開。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臺，還包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臺，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臺，其中，所述誤差補(bǔ)償部設(shè)置在所述底板的上表面上。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臺，其中，所述誤差補(bǔ)償部設(shè)置在所述底板的側(cè)表面上。

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及臺，其可以包括：底板，在第一方向和與第一方向相交的第二方向上延伸；移動(dòng)框架，設(shè)置在底板上并且在第一方向上或在與第一方向相反的方向上可移動(dòng)；以及誤差補(bǔ)償部，設(shè)置在底板和移動(dòng)框架之間，并且包括在第一方向上延伸的導(dǎo)軌和設(shè)置在導(dǎo)軌上并且覆蓋導(dǎo)軌的至少一部分的電磁體部。

技術(shù)研發(fā)人員：卞炡雄,閔淸玩,崔宰赫,許明洙
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星顯示有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/19