本技術(shù)涉及光伏及半導(dǎo)體加工的，特別涉及一種上下料自動(dòng)化設(shè)備及加工系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在光伏及半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)的過(guò)程中，需要對(duì)片狀材料進(jìn)行吸雜處理，以降低片狀材料中金屬雜質(zhì)的比例。在進(jìn)行吸雜處理之前，多個(gè)片狀材料收容于花籃中，上下料自動(dòng)化設(shè)備可將片狀材料從花籃中取出并放置在舟(例如石英舟或石墨舟)上，然后再將舟移動(dòng)至預(yù)設(shè)的吸雜工位，使吸雜設(shè)備對(duì)片狀材料進(jìn)行吸雜處理。吸雜處理完成后，上下料自動(dòng)化設(shè)備可以將片狀材料從舟上取出并放置于花籃上，并將花籃移動(dòng)至預(yù)設(shè)的收集位置。

2、當(dāng)對(duì)片狀材料進(jìn)行分割處理以得到多個(gè)局部片，同一片狀材料的局部片分別放置在不同的花籃中。目前的上下料自動(dòng)化設(shè)備難以同步對(duì)多個(gè)花籃中的片狀材料進(jìn)行同步傳輸，導(dǎo)致片狀材料傳輸效率不佳。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種上下料自動(dòng)化設(shè)備及加工系統(tǒng)，以解決上述缺陷。

2、第一方面，本技術(shù)的實(shí)施例提供一種上下料自動(dòng)化設(shè)備，上下料自動(dòng)化設(shè)備設(shè)置有上花籃區(qū)、第一交換區(qū)、第二交換區(qū)和下花籃區(qū)，且上下料自動(dòng)化設(shè)備包括：至少一搬運(yùn)裝置，搬運(yùn)裝置用于從上花籃區(qū)獲取花籃，并將花籃移動(dòng)至第一交換區(qū)；搬運(yùn)裝置還用于從第一交換區(qū)獲取花籃，并將花籃移動(dòng)至下花籃區(qū)；其中，花籃用于收容n排局部片，每一個(gè)局部片為一個(gè)片狀材料n等分后的其中一部分，n為大于0的偶數(shù)；至少一分合片裝置，分合片裝置中設(shè)有n個(gè)吸附件，每一個(gè)吸附件用于吸取局部片，分合片裝置用于從位于第一交換區(qū)的花籃中獲取n排局部片，使n排局部片兩兩合并為n/2排，并驅(qū)動(dòng)n/2排局部片移動(dòng)至第二交換區(qū)，然后將n/2排局部片放置于舟內(nèi)；分合片裝置還用于從位于第二交換區(qū)的舟中獲取n/2排局部片，驅(qū)動(dòng)局部片移動(dòng)至第一交換區(qū)，并將n/2排局部片拆分為n排，然后將n排局部片放置于花籃中；其中，第二交換區(qū)用于收容舟，每一個(gè)舟用于收容n/2排局部片；至少一轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，轉(zhuǎn)運(yùn)裝置用于將舟從第二交換區(qū)移出上下料自動(dòng)化設(shè)備，以及用于將舟從上下料自動(dòng)化設(shè)備外傳輸至第二交換區(qū)；至少一收集裝置，收集裝置中設(shè)有多個(gè)承接部，承接部用于承接料盒，收集裝置用于從位于下花籃區(qū)的花籃中獲取局部片，并將多個(gè)局部片傳輸至對(duì)應(yīng)的料盒中，承接部的數(shù)量大于n。

3、可選地，收集裝置包括：導(dǎo)片機(jī)構(gòu)，導(dǎo)片機(jī)構(gòu)在第一水平方向上位于搬運(yùn)裝置的第一側(cè)，且在第二水平方向上位于搬運(yùn)裝置的第一側(cè)，導(dǎo)片機(jī)構(gòu)用于從花籃中獲取n排局部片，其中，第一水平方向和第二水平方向垂直；承接機(jī)構(gòu)，承接機(jī)構(gòu)在第一水平方向上位于搬運(yùn)裝置的第一側(cè)，且在第二水平方向上位于導(dǎo)片機(jī)構(gòu)的第二側(cè)，n個(gè)承接部設(shè)置于承接機(jī)構(gòu)中；其中，導(dǎo)片機(jī)構(gòu)用于向承接機(jī)構(gòu)傳輸局部片，承接機(jī)構(gòu)上的料盒用于承接從導(dǎo)片機(jī)構(gòu)向承接機(jī)構(gòu)傳輸?shù)木植科?/p>

4、可選地，料盒用于朝向?qū)瑱C(jī)構(gòu)的一側(cè)開(kāi)設(shè)缺口，承接機(jī)構(gòu)包括：n個(gè)連接架，每一個(gè)連接架包括一個(gè)連接部和多個(gè)承接部，多個(gè)承接部在豎直方向上間隔設(shè)置，每一個(gè)承接部用于承接一個(gè)料盒，多個(gè)承接部與對(duì)應(yīng)的連接部連接，其中，豎直方向與第一水平方向及第二水平方向垂直；n個(gè)升降驅(qū)動(dòng)件，每一個(gè)升降驅(qū)動(dòng)件與對(duì)應(yīng)的連接部連接，升降驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的連接架在豎直方向上移動(dòng)，使料盒進(jìn)入或移出收集位置，其中，收集位置與導(dǎo)片機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)，料盒用于進(jìn)入收集位置，以接收導(dǎo)片機(jī)構(gòu)傳輸?shù)木植科恢辽賜個(gè)第一承接檢測(cè)件，每一個(gè)第一承接檢測(cè)件設(shè)置于對(duì)應(yīng)的承接部上，第一承接檢測(cè)件用于檢測(cè)料盒放置到位；至少n個(gè)第二承接檢測(cè)件，每一個(gè)第二承接檢測(cè)件設(shè)置于對(duì)應(yīng)的承接部上，且與對(duì)應(yīng)的第一承接檢測(cè)件間隔設(shè)置，每一個(gè)第二承接檢測(cè)件用于收容于對(duì)應(yīng)的缺口中，并用于檢測(cè)料盒承接的局部片。

5、可選地，導(dǎo)片機(jī)構(gòu)包括：n個(gè)傳送組件，每一個(gè)傳送組件用于承接沿朝向承接機(jī)構(gòu)的方向排列的一排局部片，傳送組件上的一排局部片與花籃上的一排局部片對(duì)應(yīng)；傳送驅(qū)動(dòng)件，傳送驅(qū)動(dòng)件與n個(gè)傳送組件連接，傳送驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)n個(gè)傳送組件運(yùn)動(dòng)，使位于n個(gè)傳送組件上的局部片向靠近承接機(jī)構(gòu)的方向移動(dòng)；至少n個(gè)第一傳送檢測(cè)件，每一個(gè)第一傳送檢測(cè)件與一傳送組件對(duì)應(yīng)設(shè)置，第一傳送檢測(cè)件用于檢測(cè)對(duì)應(yīng)的傳送組件上移動(dòng)的局部片；至少n個(gè)第二傳送檢測(cè)件，每一個(gè)第二傳送檢測(cè)件與一傳送組件對(duì)應(yīng)設(shè)置，第二傳送檢測(cè)件與對(duì)應(yīng)的第一傳送檢測(cè)件間隔設(shè)置，第二傳送檢測(cè)件用于檢測(cè)對(duì)應(yīng)的從對(duì)應(yīng)的傳送組件上傳送至料盒的局部片。

6、可選地，收集裝置還包括：第一下料機(jī)構(gòu)，第一下料機(jī)構(gòu)在第一水平方向上位于搬運(yùn)裝置的第一側(cè)，且在第二水平方向上位于承接機(jī)構(gòu)和導(dǎo)片機(jī)構(gòu)的第二側(cè)，下花籃區(qū)位于第一下料機(jī)構(gòu)上，第一下料機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)下花籃區(qū)的花籃移動(dòng)，使花籃遠(yuǎn)離下花籃區(qū)；第二下料機(jī)構(gòu)，第二下料機(jī)構(gòu)在第一水平方向上位于第一下料機(jī)構(gòu)的第一側(cè)，且在第二水平方向上位于導(dǎo)片機(jī)構(gòu)的第一側(cè)，第二下料機(jī)構(gòu)用于承接花籃，第二下料機(jī)構(gòu)與導(dǎo)片機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)設(shè)置，導(dǎo)片機(jī)構(gòu)用于從第二下料機(jī)構(gòu)中的花籃逐片獲取局部片；下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)在第二水平方向上位于導(dǎo)片機(jī)構(gòu)的第一側(cè)，下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)用于從第一下料機(jī)構(gòu)上除下花籃區(qū)以外的位置獲取花籃，并驅(qū)動(dòng)花籃在第一水平方向上移動(dòng)，使花籃移動(dòng)至第二下料機(jī)構(gòu)上。

7、可選地，第一交換區(qū)和第二交換區(qū)在第一水平方向上間隔設(shè)置，分合片裝置在第二水平方向上位于搬運(yùn)裝置的第二側(cè)，分合片裝置包括：n個(gè)吸附件；n個(gè)第一驅(qū)動(dòng)件，每一個(gè)第一驅(qū)動(dòng)件與對(duì)應(yīng)的吸附件連接，第一驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的吸附件在第二水平方向上移動(dòng)，使吸附件吸附的每一個(gè)局部片與花籃分離或貼合，其中，第二水平方向與第一水平方向垂直，當(dāng)吸附件吸附局部片時(shí)，局部片的厚度方向與第二水平方向重合；n個(gè)第二驅(qū)動(dòng)件，每一個(gè)第二驅(qū)動(dòng)件與對(duì)應(yīng)的第一驅(qū)動(dòng)件連接，第二驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的吸附件在豎直方向上移動(dòng)，使吸附件吸附的局部片進(jìn)入對(duì)應(yīng)的花籃和與對(duì)應(yīng)的花籃分離，或者使吸附件吸附的局部片進(jìn)入對(duì)應(yīng)的舟和與對(duì)應(yīng)的舟分離，其中，豎直方向與第一水平方向及第二水平方向垂直；n個(gè)第三驅(qū)動(dòng)件，每一個(gè)第三驅(qū)動(dòng)件與對(duì)應(yīng)的第二驅(qū)動(dòng)件連接，第三驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的吸附件在第一水平方向上移動(dòng)，使對(duì)應(yīng)的吸附件及吸附的局部片移動(dòng)至與第一交換區(qū)對(duì)應(yīng)的位置，以及移動(dòng)至與第二交換區(qū)對(duì)應(yīng)的位置；其中，至少部分第三驅(qū)動(dòng)件還用于使對(duì)應(yīng)的吸附件靠近相鄰的吸附件，使兩個(gè)相鄰的吸附件所吸附的局部片在第二水平方向上重合；風(fēng)刀，風(fēng)刀的數(shù)量少于或等于吸附件的數(shù)量，風(fēng)刀與對(duì)應(yīng)的吸附件連接，風(fēng)刀用于向?qū)?yīng)的吸附件吹出氣體，以減少吸附件吸附的局部片上的靜電。

8、可選地，第一交換區(qū)在第一水平方向上排列有m個(gè)，第二交換區(qū)在第一水平方向上排列有兩組，兩個(gè)第一交換區(qū)位于兩組第二交換區(qū)之間，每一組第二交換區(qū)中第二交換區(qū)的數(shù)量為m個(gè)；轉(zhuǎn)運(yùn)裝置用于驅(qū)動(dòng)舟從一組第二交換區(qū)移出上下料自動(dòng)化設(shè)備，以及用于驅(qū)動(dòng)舟從上下料自動(dòng)化設(shè)備外移動(dòng)至另一組第二交換區(qū)；分合片裝置的數(shù)量為m個(gè)，m個(gè)分合片裝置與m個(gè)第一交換區(qū)一一對(duì)應(yīng)，且與每一組第二交換區(qū)中的m個(gè)第二交換區(qū)一一對(duì)應(yīng)，m個(gè)分合片裝置用于同步驅(qū)動(dòng)獲取的局部片在對(duì)應(yīng)的第一交換區(qū)和對(duì)應(yīng)的第二交換區(qū)之間移動(dòng)；其中，m為大于1的整數(shù)。

9、可選地，分合片裝置在第二水平方向上位于搬運(yùn)裝置的第二側(cè)，上下料自動(dòng)化設(shè)備還包括：至少一個(gè)花籃傳輸裝置，花籃傳輸裝置在第二水平方向上位于搬運(yùn)裝置的第二側(cè)，且與分合片裝置在豎直方向上間隔設(shè)置，第一交換區(qū)位于花籃傳輸裝置上，花籃傳輸裝置用于承接花籃，并驅(qū)動(dòng)花籃在第二水平方向上靠近或遠(yuǎn)離搬運(yùn)裝置，其中，豎直方向與第二水平方向垂直。

10、可選地，轉(zhuǎn)運(yùn)裝置在第二水平方向上位于搬運(yùn)裝置的第二側(cè)，轉(zhuǎn)運(yùn)裝置包括：舟傳輸機(jī)構(gòu)，舟傳輸機(jī)構(gòu)位于第二交換區(qū)，舟傳輸機(jī)構(gòu)用于承接舟，并驅(qū)動(dòng)舟在第二水平方向上靠近或遠(yuǎn)離搬運(yùn)裝置；舟搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，舟搬運(yùn)機(jī)構(gòu)在豎直方向上與舟傳輸機(jī)構(gòu)間隔設(shè)置，舟搬運(yùn)機(jī)構(gòu)用于從第二交換區(qū)上遠(yuǎn)離搬運(yùn)裝置的一端獲取舟，并驅(qū)動(dòng)舟沿第一水平方向移動(dòng)至上下料自動(dòng)化設(shè)備外；舟搬運(yùn)機(jī)構(gòu)還用于從上下料自動(dòng)化設(shè)備以外獲取舟，并驅(qū)動(dòng)舟沿第一水平方向移動(dòng)至第二交換區(qū)；其中，第一水平方向、第二水平方向和豎直方向相互垂直。

11、第二方面，本技術(shù)的實(shí)施例提供一種加工系統(tǒng)，包括：加工設(shè)備，加工設(shè)備用于加工局部片；如上述任一項(xiàng)的上下料自動(dòng)化設(shè)備，上下料自動(dòng)化設(shè)備用于將多個(gè)局部片傳輸至加工設(shè)備進(jìn)行加工，以及用于收集加工設(shè)備完成加工的局部片。

12、通過(guò)本技術(shù)提供的上下料自動(dòng)化設(shè)備及加工系統(tǒng)，分合片裝置可以對(duì)花籃中的n排局部片同步移動(dòng)，使n排局部片可以同步進(jìn)入舟，以及同步進(jìn)入加工設(shè)備進(jìn)行加工。收集裝置可以對(duì)花籃中的n排局部片進(jìn)行同步傳輸和收集。如此，可以通過(guò)對(duì)多排局部片同步的傳輸和收集，提高上下料自動(dòng)化設(shè)備的傳輸效率。