本申請涉及集成電路制造領(lǐng)域,特別是涉及一種封裝結(jié)構(gòu)及其制作方法。
背景技術(shù):
1、封裝結(jié)構(gòu)的制作過程中需要印刷油墨層,以保護(hù)金屬層免受氧化和腐蝕、避免后續(xù)焊接元件在封裝結(jié)構(gòu)時(shí)產(chǎn)生線間短路等。
2、印刷油墨層的方式通常采用絲網(wǎng)印刷,用刮印刮板對絲網(wǎng)印版上的油墨部位施加帶有方向的壓力,使得油墨被移動中的刮板從絲網(wǎng)印版的網(wǎng)孔中擠壓到封裝結(jié)構(gòu)上,印刷油墨的過程中容易產(chǎn)生油墨不均勻或厚度不一致的現(xiàn)象,影響封裝結(jié)構(gòu)的均勻性與平整性,進(jìn)而影響封裝結(jié)構(gòu)的電氣性能和機(jī)械強(qiáng)度,影響其耐用性。
3、因此,確保封裝結(jié)構(gòu)的油墨層的質(zhì)量,對于封裝結(jié)構(gòu)的最終品質(zhì)至關(guān)重要,影響后續(xù)的生產(chǎn)加工。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請?zhí)峁┮环N封裝結(jié)構(gòu)及其制作方法,能夠保證油墨層的均勻性與平整性,以使封裝結(jié)構(gòu)具有均勻性平整性,滿足生產(chǎn)加工需求。
2、為解決上述技術(shù)問題,本申請采用的技術(shù)方案提供了一種封裝結(jié)構(gòu),其中,封裝結(jié)構(gòu)包括:
3、封裝基板,包括多個(gè)呈陣列排布設(shè)置的子板;封裝邊緣板,圍設(shè)在封裝基板的外邊緣;油墨層,油墨層設(shè)置在封裝邊緣與封裝基板;其中,封裝邊緣板涂覆油墨層的一面設(shè)置有圖案化的導(dǎo)流結(jié)構(gòu),以對涂刷油墨時(shí)對油墨進(jìn)行引流。
4、其中,導(dǎo)流結(jié)構(gòu)為多個(gè)導(dǎo)流槽,導(dǎo)流槽之間的間隔為10~20微米。
5、其中,多個(gè)導(dǎo)流槽呈梳齒狀。
6、其中,導(dǎo)流結(jié)構(gòu)為多孔結(jié)構(gòu)。
7、其中,多孔結(jié)構(gòu)呈網(wǎng)格狀。
8、其中,多孔結(jié)構(gòu)的孔間距離為10~200微米。
9、其中,導(dǎo)流槽的寬度為2毫米~10毫米。
10、其中,封裝邊緣板的表面與封裝基板的表面處于同一平面。
11、為解決上述技術(shù)問題,本申請第二方面提供了一種封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,封裝結(jié)構(gòu)的制作方法用于制備上述任一項(xiàng)的封裝結(jié)構(gòu),制作方法包括:獲取待加工封裝結(jié)構(gòu);對待加工封裝結(jié)構(gòu)的封裝邊緣板進(jìn)行刻蝕,形成有導(dǎo)流結(jié)構(gòu);在待加工封裝結(jié)構(gòu)的至少一面的涂刷油墨,導(dǎo)流結(jié)構(gòu)對涂刷油墨時(shí)對油墨進(jìn)行引流,形成油墨層。
12、其中,待加工封裝基板包括介質(zhì)層,對待加工封裝結(jié)構(gòu)的封裝邊緣板刻蝕,形成有導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的步驟包括:對待加工封裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行電鍍,形成金屬層;對封裝邊緣板刻蝕,暴露介質(zhì)層,形成多個(gè)導(dǎo)流槽。
13、區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況,本申請?zhí)峁┑囊环N封裝結(jié)構(gòu)與制作方法,封裝邊緣板涂覆油墨層的一面設(shè)置有導(dǎo)流結(jié)構(gòu),對涂刷油墨時(shí)對油墨進(jìn)行引流,在能夠保證油墨層的均勻性與平整性,以使封裝結(jié)構(gòu)具有均勻性平整性,提高封裝結(jié)構(gòu)的耐用性,滿足生產(chǎn)加工需求,提高封裝基板的生產(chǎn)質(zhì)量與生產(chǎn)效率。
1.一種封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述封裝結(jié)構(gòu)包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述導(dǎo)流結(jié)構(gòu)為多個(gè)導(dǎo)流槽,所述導(dǎo)流槽之間的間隔為10~20微米。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述多個(gè)導(dǎo)流槽呈梳齒狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述導(dǎo)流結(jié)構(gòu)為多孔結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述多孔結(jié)構(gòu)呈網(wǎng)格狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述多孔結(jié)構(gòu)的孔間距離為10~200微米。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述導(dǎo)流槽的寬度為2毫米~10毫米。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述封裝邊緣板的表面與所述封裝基板的表面處于同一平面。
9.一種封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述封裝結(jié)構(gòu)的制作方法用于制備上述權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所述的封裝結(jié)構(gòu),所述制作方法包括:
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制作方法,其特征在于,所述待加工封裝結(jié)構(gòu)包括介質(zhì)層,所述對所述待加工封裝結(jié)構(gòu)的封裝邊緣板刻蝕,形成有導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的步驟包括: