一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)，用于對(duì)晶圓切割過程中清洗藥劑添加的自動(dòng)化控制，屬于1C (集成電路)測(cè)試領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]一般半導(dǎo)體元件，如晶粒(Die)是以半導(dǎo)體材料制作而成未經(jīng)封裝的一小塊集成電路本體，通常情況下，集成電路是以大批方式經(jīng)光刻等多項(xiàng)步驟，制作在大片的半導(dǎo)體晶圓上，然后再分割成方型小片，這一方型小片就稱為晶粒，每個(gè)晶粒就是一個(gè)集成電路的復(fù)制品。
[0003]而晶圓在切割時(shí)，需要加入清洗藥劑，作業(yè)員通過手動(dòng)打開閥門向切割機(jī)臺(tái)中注入清洗藥劑。然而，由于人工操作的不可控因素，作業(yè)員在作業(yè)時(shí)可能會(huì)出現(xiàn)忘記向切割機(jī)中注入清洗藥劑或是在加入清洗藥劑之后忘記關(guān)閉閥門，如此，會(huì)因清洗藥劑的未添加或過量加入而導(dǎo)致產(chǎn)品異常，此外，過量的添加清洗藥劑，還會(huì)造成了資源浪費(fèi)。
[0004]因此，為了避免以上弊端，一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)亟待出現(xiàn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)，避免人員手動(dòng)加藥而造成的產(chǎn)品異?；蛩巹├速M(fèi)。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]—種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)，包括加藥閥門，該自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)還包括切割控制器、電磁閥、繼電器以及氣簾模組，所述切割控制器、電磁閥和繼電器依次串接，所述加藥閥門和氣簾模組再分別與所述繼電器連接；
[0008]所述切割控制器與所述電磁閥形成可以閉合或斷開的控制電路一，所述繼電器、加藥閥門和氣簾模組形成可以閉合或斷開的控制電路二，所述控制電路一閉合時(shí)，所述控制電路二亦閉合，所述加藥閥門和氣簾模組同時(shí)打開；所述控制電路一斷開時(shí)，所述控制電路二亦斷開，所述加藥閥門和氣簾模組同時(shí)關(guān)閉。
[0009]優(yōu)選的，所述切割控制器連接有一觸控屏，所述觸控屏上設(shè)置有用于控制氣簾參數(shù)和加藥閥門開啟及關(guān)閉參數(shù)的按鈕。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)至少具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0011]本實(shí)用新型針對(duì)手動(dòng)開啟加藥閥門方式進(jìn)行改善，將加藥閥門和氣簾模組經(jīng)由繼電器與電磁閥相連接，通過電磁閥同時(shí)控制加藥閥門與氣簾模組的開啟，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)添加藥劑的目的，從而避免人員手動(dòng)加藥而造成的產(chǎn)品異?；蛩巹├速M(fèi)。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)特征和技術(shù)要點(diǎn)，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0013]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)的連接示意圖。
[0015]附圖標(biāo)記說明:11_切割控制器，12-電磁閥，13-繼電器，14-加藥閥門，15-氣簾模組，A-控制電路一，B-控制電路二。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面將結(jié)合本實(shí)施例中的附圖，對(duì)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行具體、清楚、完整地描述。
[0017]參見圖1所示，本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例公開了一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)，包括加藥閥門14，自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)還包括切割控制器11、電磁閥12、繼電器13以及氣簾模組15，切割控制器11、電磁閥12和繼電器13依次串接，加藥閥門14和氣簾模組15再分別與繼電器13連接；
[0018]切割控制器11與電磁閥12形成可以閉合或斷開的控制電路一 A，繼電器13、加藥閥門14和氣簾模組15形成可以閉合或斷開的控制電路二 B，控制電路一 A閉合時(shí)，控制電路二 B亦閉合，加藥閥門14和氣簾模組15同時(shí)打開，藉此可以同時(shí)進(jìn)行加藥和氣簾吹氣的作業(yè)；控制電路一 A斷開時(shí)，控制電路二 B亦斷開，加藥閥門14和氣簾模組15同時(shí)關(guān)閉，藉此可以停止加藥和氣簾吹氣的作業(yè)。
[0019]參見圖2所示，具體的，繼電器13具有四個(gè)接口，分別標(biāo)記為1、2、3和4，接口 1和2與電磁閥12相連接，切割控制器11與電磁閥12相連接，從而形成上述控制電路一 A，接口 3與加藥閥門14和氣簾模組15相連接，接口 4與220V電源正極/負(fù)極連接，加藥閥門14與220V電源負(fù)極/正極連接，從而形成上述控制電路二 B。
[0020]優(yōu)選的，切割控制器11連接一觸控屏，觸控屏上設(shè)置有用于同時(shí)控制設(shè)置氣簾參數(shù)與加藥閥門開啟及關(guān)閉的按鈕。通過觸控屏，可以設(shè)置加藥參數(shù)及氣簾參數(shù)及氣簾開啟、關(guān)閉的時(shí)間等參數(shù)。
[0021]本實(shí)用新型工作原理如下:
[0022]電磁閥12若由切割控制器11控制打開后，即切割控制器11控制電磁閥12得電吸合，切割控制器11與電磁鐵形成的控制電路一 A導(dǎo)通，此時(shí)繼電器13得電吸合，在繼電器13的接口 1和2的兩端具有20V電壓，接口 3和4短接，因而接通加藥閥門14及氣簾模組15，形成閉合的控制電路二 B，此時(shí)加藥閥門14和氣簾模組15同時(shí)打開，可以向切割機(jī)自動(dòng)注入藥劑及壓縮氣體；
[0023]電磁閥12若由切割控制器11控制關(guān)閉，則控制電路一 A斷開，由此，繼電器13的接口 1和2無電壓，接口 3和4斷開，則控制電路二 B斷開，此時(shí)加壓閥門和氣簾模組15同時(shí)關(guān)閉不工作。
[0024]通過以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型針對(duì)手動(dòng)開啟加藥閥門方式進(jìn)行改善，將加藥閥門和氣簾模組15經(jīng)由繼電器與電磁閥相連接，通過電磁閥同時(shí)控制加藥閥門與氣簾模組15的開啟，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)添加藥劑的目的，從而避免人員手動(dòng)加藥而造成的產(chǎn)品異?；蛩巹├速M(fèi)。
[0025]上述【具體實(shí)施方式】，僅為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思和結(jié)構(gòu)特征，目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的相關(guān)人士能夠據(jù)以實(shí)施，但以上所述內(nèi)容并不限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)所作的任何等效變化或修飾，均應(yīng)落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)，包括加藥閥門，其特征在于，該自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)還包括切割控制器、電磁閥、繼電器以及氣簾模組，所述切割控制器、電磁閥和繼電器依次串接，所述加藥閥門和氣簾模組再分別與所述繼電器連接； 所述切割控制器與所述電磁閥形成可以閉合或斷開的控制電路一，所述繼電器、加藥閥門和氣簾模組形成可以閉合或斷開的控制電路二，所述控制電路一閉合時(shí)，所述控制電路二亦閉合，所述加藥閥門和氣簾模組同時(shí)打開；所述控制電路一斷開時(shí)，所述控制電路二亦斷開，所述加藥閥門和氣簾模組同時(shí)關(guān)閉。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)，其特征在于，所述切割控制器連接有一觸控屏，所述觸控屏上設(shè)置有用于控制氣簾參數(shù)和加藥閥門開啟及關(guān)閉參數(shù)的按鈕。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種晶圓切割機(jī)之自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)，包括加藥閥門，該自動(dòng)添加藥劑系統(tǒng)還包括切割控制器、電磁閥、繼電器以及氣簾模組，所述切割控制器、電磁閥和繼電器依次串接，所述加藥閥門和氣簾模組再分別與所述繼電器連接；所述切割控制器與所述電磁閥形成可以閉合或斷開的控制電路一，所述繼電器、加藥閥門和氣簾模組形成可以閉合或斷開的控制電路二，所述控制電路一閉合時(shí)，所述控制電路二亦閉合，所述加藥閥門和氣簾模組同時(shí)打開；所述控制電路一斷開時(shí)，所述控制電路二亦斷開，所述加藥閥門和氣簾模組同時(shí)關(guān)閉。本實(shí)用新型避免人員手動(dòng)加藥而造成的產(chǎn)品異?；蛩巹├速M(fèi)。
【IPC分類】H01L21/67, H01L21/66, H01L21/78
【公開號(hào)】CN205039133
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520531220
【發(fā)明人】蔡俊杰
【申請(qǐng)人】京隆科技(蘇州)有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請(qǐng)日】2015年7月21日