技術總結
本發(fā)明提供一種超聲波傳感器，其具備形成有開口部的基板、以封閉開口部的方式設置于基板的振動板及包括層疊于振動板的與開口部相反側(cè)的第一電極、壓電體層及第二電極的超聲波元件，在將第一電極、壓電體層以及第二電極層疊的方向作為Z方向，將在Z方向上第一電極、壓電體層以及第二電極重疊的部分作為有源部，將振動板因該有源部的驅(qū)動而能夠振動的范圍作為可動部時，有源部配置為與可動部對置，在俯視觀察時，有源部的外形比可動部的外形小，在有源部的側(cè)方的、至少與可動部對置的區(qū)域設置有調(diào)整共振頻率的共振頻率調(diào)整部。

技術研發(fā)人員：小島力
受保護的技術使用者：精工愛普生株式會社
文檔號碼：201580035961
技術研發(fā)日：2015.07.06
技術公布日：2017.05.10