本實用新型涉及一種MEMS麥克風(fēng)，更準(zhǔn)確地說，涉及MEMS麥克風(fēng)中的背極結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng))麥克風(fēng)是基于MEMS技術(shù)制造的麥克風(fēng)，其中的振膜、背極板是MEMS麥克風(fēng)中的重要部件，振膜、背極板構(gòu)成了電容器并集成在硅晶片上，實現(xiàn)聲電的轉(zhuǎn)換。

傳統(tǒng)的振膜的制作工藝是在硅基底上做一層氧化層，然后在氧化層上利用沉積的方式制作一層振膜，經(jīng)過摻雜、回火后，蝕刻出所所需的圖形，振膜通過其邊緣的鉚釘點固定在基底上。當(dāng)然，還需要從振膜上引出電極，通過振膜的振動，改變振膜與背極板之間的距離，從而將聲音信號轉(zhuǎn)換為電信號。

MEMS麥克風(fēng)有相關(guān)的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度要求，比如機(jī)械沖擊、吹氣、跌落等性能要求，在這些結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的相關(guān)性能測試時，往往會在背極的脆弱點發(fā)生撕裂問題，造成整個麥克風(fēng)的報廢。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的一個目的是提供了一種MEMS麥克風(fēng)。

根據(jù)本實用新型的一個方面，提供一種MEMS麥克風(fēng)，包括具有背腔的襯底，在所述襯底上設(shè)置有由振膜和背極構(gòu)成的平板電容器結(jié)構(gòu)；所述背極包括懸空在背腔上方的背極主體，以及位于背極主體邊緣并與所述背極主體一體成型的連接部；在所述連接部的下方設(shè)置有第一補(bǔ)強(qiáng)部，所述連接部沉積在第一補(bǔ)強(qiáng)部的上方，且所述背極主體的上端面與所述第一補(bǔ)強(qiáng)部的上端面齊平，所述背極主體的下端面與所述第一補(bǔ)強(qiáng)部的下端面齊平。

可選的是，所述平板電容器結(jié)構(gòu)為背極在上、振膜在下的電容器結(jié)構(gòu)。

可選的是，所述平板電容器結(jié)構(gòu)為背極在下、振膜在上的電容器結(jié)構(gòu)。

可選的是，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部與背極的材料相同。

可選的是，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部與背極的材料不同，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部采用氮化硅材料。

可選的是，所述背極的厚度為0.1um至3um，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部的厚度為0.1um至20um。

可選的是，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部從背極的連接部延伸至背極主體上。

可選的是，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部從背極的連接部延伸至背極主體上；在所述背極的整個上端面還沉積有第二補(bǔ)強(qiáng)部。

本實用新型的MEMS麥克風(fēng)，在所述背極的連接部位置形成了對連接部進(jìn)行結(jié)構(gòu)補(bǔ)強(qiáng)的第一補(bǔ)強(qiáng)部，從而提高了背極連接部的機(jī)械強(qiáng)度，避免了撕裂問題的發(fā)生，提高了麥克風(fēng)機(jī)械跌落時的可靠性。而且所述連接部位于第一補(bǔ)強(qiáng)部的上方，與連接部一體成型的背極主體與補(bǔ)強(qiáng)部的兩個端面齊平，由此可提高背極與第一補(bǔ)強(qiáng)部結(jié)合的穩(wěn)定性。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細(xì)描述，本實用新型的其它特征及其優(yōu)點將會變得清楚。

附圖說明

構(gòu)成說明書的一部分的附圖描述了本實用新型的實施例，并且連同說明書一起用于解釋本實用新型的原理。

圖1是本實用新型MEMS麥克風(fēng)第一實施結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖2是本實用新型MEMS麥克風(fēng)第二實施結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖3是本實用新型MEMS麥克風(fēng)第三實施結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖4是本實用新型MEMS麥克風(fēng)第四實施結(jié)構(gòu)的示意圖。

具體實施方式

現(xiàn)在將參照附圖來詳細(xì)描述本實用新型的各種示例性實施例。應(yīng)注意到：除非另外具體說明，否則在這些實施例中闡述的部件和步驟的相對布置、數(shù)字表達(dá)式和數(shù)值不限制本實用新型的范圍。

以下對至少一個示例性實施例的描述實際上僅僅是說明性的，決不作為對本實用新型及其應(yīng)用或使用的任何限制。

對于相關(guān)領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的技術(shù)和設(shè)備可能不作詳細(xì)討論，但在適當(dāng)情況下，所述技術(shù)和設(shè)備應(yīng)當(dāng)被視為說明書的一部分。

在這里示出和討論的所有例子中，任何具體值應(yīng)被解釋為僅僅是示例性的，而不是作為限制。因此，示例性實施例的其它例子可以具有不同的值。

應(yīng)注意到：相似的標(biāo)號和字母在下面的附圖中表示類似項，因此，一旦某一項在一個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進(jìn)行進(jìn)一步討論。

本實用新型提供了一種MEMS麥克風(fēng)，包括具有背腔的襯底7，在所述襯底7上設(shè)置有由振膜和背極構(gòu)成的平板電容器結(jié)構(gòu)。所述背極包括懸空在背腔上方的背極主體3，以及位于背極主體3邊緣并與所述背極主體3一體成型的連接部4。所述連接部4和背極主體3是一體的結(jié)構(gòu)，通過沉積的方式同時形成。所述背極通過該連接部4與襯底7直接或間接地連接在一起。

在所述連接部4的下方設(shè)置有第一補(bǔ)強(qiáng)部5，該第一補(bǔ)強(qiáng)部5可以選用與背極相同的材料，所述背極的厚度可以為0.1um至3um，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5的厚度可以為0.1um至10um。第一補(bǔ)強(qiáng)部5也可以選用與背極不同的材料，例如其可以采用氮化硅材料，此時，所述背極的厚度可以為0.1um至3um，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5的厚度可以為0.1um至20um。在制造的時候，可以首先沉積膜層，然后通過刻蝕的方式在預(yù)定的位置形成第一補(bǔ)強(qiáng)部5，之后繼續(xù)沉積膜層，并對該膜層進(jìn)行刻蝕以形成本實用新型所述的背極主體3以及連接部4。所述背極主體3的上端面與所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5的上端面齊平，所述背極主體3的下端面與所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5的下端面齊平。

在本實用新型一個具體的實施方式中，所述平板電容器結(jié)構(gòu)可以是一振膜1在上、背極在下的電容器，例如參考圖1，所述連接部4下方的第一補(bǔ)強(qiáng)部5連接在襯底7上，其中，為了保證背極與襯底7之間的絕緣，在所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5與襯底7之間可以設(shè)置第一絕緣層6，該第一絕緣層6例如可以采用氧化硅等本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的絕緣材料。振膜1則通過第二絕緣層2支撐在背極連接部4的上方，使得振膜1與背極之間具有一定的間隙，保證背極主體3與振膜1之間可以構(gòu)成平板式的電容器結(jié)構(gòu)。

在本實用新型另一具體的實施方式中，所述平板電容器結(jié)構(gòu)為背極在上、振膜1在下的電容器結(jié)構(gòu)。參考圖2，此時，所述振膜1的邊緣通過第一絕緣層連接在襯底7上，而所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5則通過第二絕緣層支撐在振膜的上方，從而使得所述背極主體3與振膜1構(gòu)成了平板式的電容器結(jié)構(gòu)。

本實用新型的MEMS麥克風(fēng)，在所述背極的連接部位置形成了對連接部進(jìn)行結(jié)構(gòu)補(bǔ)強(qiáng)的第一補(bǔ)強(qiáng)部，從而提高了背極連接部的機(jī)械強(qiáng)度，避免了撕裂問題的發(fā)生，提高了麥克風(fēng)機(jī)械跌落時的可靠性。而且所述連接部位于第一補(bǔ)強(qiáng)部的上方，與連接部一體成型的背極主體與補(bǔ)強(qiáng)部的兩個端面齊平，由此可提高背極與第一補(bǔ)強(qiáng)部結(jié)合的穩(wěn)定性。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施方式中，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5從背極的連接部4延伸至背極主體3上，參考圖3，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5與背極下端面的形狀相匹配，使得所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5與背極的整個下端面結(jié)合在一起，由此可提高整個背極的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。

在本實用新型另一優(yōu)選的實施方式中，所述第一補(bǔ)強(qiáng)部5從背極的連接部4延伸至背極主體3上；且在所述背極的整個上端面還沉積有第二補(bǔ)強(qiáng)部8，參考圖4。在制作的時候，首先沉積第一補(bǔ)強(qiáng)部5，之后在第一補(bǔ)強(qiáng)部5的上端面沉積背極，在背極的上端面沉積第二補(bǔ)強(qiáng)部8，該第一補(bǔ)強(qiáng)部5、背極、第二補(bǔ)強(qiáng)部8構(gòu)成了層疊的三明治結(jié)構(gòu)，可大幅度提高整個背極的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。

雖然已經(jīng)通過示例對本實用新型的一些特定實施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，以上示例僅是為了進(jìn)行說明，而不是為了限制本實用新型的范圍。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，可在不脫離本實用新型的范圍和精神的情況下，對以上實施例進(jìn)行修改。本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求來限定。