一種防止電極芯柱污染的電極法蘭的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于電真空領(lǐng)域，涉及一種在真空環(huán)境中使用的防止電極芯柱污染的電極法蘭。
【背景技術(shù)】
[0002]真空環(huán)境中測(cè)量電信號(hào)或者施加電信號(hào)的途徑都是通過(guò)電極芯柱法蘭作為過(guò)渡連接的方式實(shí)現(xiàn)，將真空內(nèi)部與外部的電路連接形成回路。連接用的導(dǎo)線與導(dǎo)線之間、導(dǎo)線與真空室(管道)壁之間應(yīng)當(dāng)滿(mǎn)足電絕緣、真空密封和承受電流負(fù)載的要求。超高真空、極高真空環(huán)境通常用無(wú)氧銅圈刀口密封的電極法蘭將真空內(nèi)部的電器元件與外部連接。電極法蘭的芯柱電極與不銹鋼法蘭通常采用陶瓷金屬封接，也有采用玻璃-金屬封接的方式。電極法蘭根據(jù)電極形狀、尺寸、電極芯柱數(shù)量、耐電壓或電流大小可分為多種型號(hào)。電極法蘭已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電真空領(lǐng)域，涉及真空測(cè)量、溫度測(cè)量、微弱信號(hào)檢測(cè)、真空鍍膜、材料生長(zhǎng)、半導(dǎo)體制作等方面。在真空環(huán)境下微弱信號(hào)檢測(cè)用到的電極法蘭對(duì)絕緣性能要求嚴(yán)格。例如測(cè)量nA量級(jí)的電信號(hào)，測(cè)量電壓為100V的情況下，電極法蘭要求絕緣電阻大于10ηΩ才不會(huì)對(duì)測(cè)量信號(hào)產(chǎn)生干擾，造成漏電本底。真空環(huán)境用的電極法蘭通常會(huì)因?yàn)楦邷睾婵?、金屬蒸散等工藝操作，造成絕緣陶瓷吸附金屬顆粒等污染物，使絕緣性能下降，從而影響微弱電信號(hào)檢測(cè)的靈敏度和準(zhǔn)確性。
[0003]現(xiàn)有的電極法蘭因?yàn)槠浣Y(jié)構(gòu)制約，隨著使用時(shí)間的延長(zhǎng)，因?yàn)榻^緣陶瓷表面受到污染會(huì)降低陶瓷的絕緣性能，從而使電極芯柱與真空室(管道)壁之間有一定電阻，影響微弱電信號(hào)的測(cè)量。當(dāng)陶瓷絕緣性能下降到一定程度時(shí)，就需要進(jìn)行更換或者進(jìn)行清洗工作，這種情況對(duì)超高真空、極高真空環(huán)境會(huì)帶來(lái)嚴(yán)重影響。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種防止電極芯柱污染的電極法蘭，能夠減少電極法蘭芯柱與陶瓷間的污染，延長(zhǎng)其在超高真空、極高真空的使用壽命。
[0005]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:包括電極芯柱法蘭和中空陶瓷柱套筒，所述中空陶瓷柱套筒同軸嵌套在電極芯柱外側(cè)，一端與電極芯柱法蘭固定連接。
[0006]所述的中空陶瓷柱套筒內(nèi)表面與電極芯柱間隙配合。
[0007]所述的中空陶瓷柱套筒由一段金屬中空?qǐng)A柱和一段陶瓷中空?qǐng)A柱同軸封接而成，金屬中空?qǐng)A柱與電極芯柱法蘭螺紋連接。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:可以避免真空環(huán)境因封接陶瓷污染造成絕緣性能下降，影響微弱電信號(hào)測(cè)量的問(wèn)題。延長(zhǎng)電極法蘭使用壽命，可以減少因電極法蘭芯柱污染需要對(duì)超高真空、極高真空系統(tǒng)的維護(hù)次數(shù)，節(jié)約設(shè)備維護(hù)成本。通過(guò)可拆卸的中空陶瓷柱套筒結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)嚴(yán)重污染時(shí)只更換陶瓷柱套筒的方式重新使用該法蘭，節(jié)約真空部件更換成本。本實(shí)用新型提供的防止電極芯柱污染的電極法蘭其結(jié)構(gòu)也適用于真空環(huán)境供電的高壓電極法蘭或者大電流的電極法蘭方面。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是防止電極芯柱污染的電極法蘭整體剖面示意圖；
[0010]圖2是電極法蘭剖面示意圖；
[0011 ]圖3是中空陶瓷柱套筒剖面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明，本實(shí)用新型包括但不僅限于下述實(shí)施例。
[0013]本實(shí)用新型提供一種防止電極芯柱陶瓷污染的電極法蘭，其電極芯柱外側(cè)用一個(gè)圓柱形中空的陶瓷柱套筒包裹，一端與電極芯柱法蘭的電極通道孔內(nèi)壁固定。
[0014]進(jìn)一步地，中空陶瓷柱套筒內(nèi)表面與電極芯柱有一定間隙，非緊貼結(jié)構(gòu)。
[0015]進(jìn)一步地，電極芯柱法蘭的電極通道孔真空側(cè)不銹鋼內(nèi)壁部分為內(nèi)螺紋結(jié)構(gòu)。
[0016]進(jìn)一步地，中空陶瓷柱套筒為金屬陶瓷封接，金屬套筒部分為外螺紋結(jié)構(gòu)，因?yàn)椴豢紤]封接的氣密性，所以對(duì)金屬的材質(zhì)無(wú)特殊要求。
[0017]進(jìn)一步地，中空陶瓷柱套筒與電極芯柱法蘭的電極通道孔真空側(cè)內(nèi)壁通過(guò)金屬螺紋結(jié)構(gòu)連接固定，為可拆卸結(jié)構(gòu)。
[0018]本實(shí)用新型的實(shí)施例包括電極芯柱法蘭(如圖2所示)和中空陶瓷柱套筒(如圖3所示)，兩者通過(guò)金屬螺紋結(jié)構(gòu)連接固定，構(gòu)成完整的防止電極芯柱污染的電極法蘭，如圖1所不O
[0019]如圖2所示，電極芯柱法蘭的電極通道孔真空側(cè)不銹鋼內(nèi)壁8為內(nèi)螺紋結(jié)構(gòu)，與中空陶瓷柱套筒金屬封接端2的外螺紋部分4通過(guò)螺紋相互固定，中空陶瓷柱套筒的陶瓷端I起絕緣和防污染作用。中空陶瓷柱套筒內(nèi)壁與電極法蘭的芯柱6之間有一定間隙，增大絕緣效果的同時(shí)，可以利用遮擋的原理將污染物與芯柱6分隔開(kāi)。在真空環(huán)境下，由高溫烘烤、金屬蒸散等工藝釋放出的污染物會(huì)首先吸附在中空陶瓷柱套筒陶瓷端I外壁，極少一部分會(huì)由陶瓷柱套筒與芯柱之間的縫隙進(jìn)入，吸附在芯柱和陶瓷柱套筒I內(nèi)壁上。該結(jié)構(gòu)很好的保護(hù)了電極法蘭芯柱的陶瓷封接部位的潔凈度，確保電極法蘭的芯柱與法蘭之間的絕緣性能良好。
[0020]本實(shí)用新型不僅可以防止電極芯柱污染，同時(shí)也因?yàn)槠涮赜械慕Y(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，便于對(duì)中空陶瓷柱套筒的拆卸和安裝，使電極法蘭的清洗和維護(hù)更加便捷。中空陶瓷柱套筒由陶瓷柱套筒I和金屬套筒2利用焊料3焊接在一起。其中金屬套筒的下半部是外螺紋部分4，用于和電極芯柱法蘭的電極通道孔真空側(cè)不銹鋼內(nèi)壁8的內(nèi)螺紋部分配合安裝。
[0021]本實(shí)用新型在真空系統(tǒng)安裝使用過(guò)程中，與普通電極法蘭方法相同，都是通過(guò)無(wú)氧銅圈密封，由螺釘穿過(guò)螺孔5固定法蘭與真空系統(tǒng)，利用不銹鋼刀口 7與無(wú)氧銅圈的光滑表面接觸密封，達(dá)到真空氣密性。
[0022]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造技術(shù)低，造價(jià)低廉，適合所有真空部件廠商加工制作；本實(shí)用新型在防止電極芯柱污染問(wèn)題上效果明顯，可以有效杜絕因?yàn)殡姌O芯柱污染造成電絕緣性能下降帶來(lái)的測(cè)量不準(zhǔn)、抗干擾能力下降、電氣性能減弱等一切故障;本實(shí)用新型的兩個(gè)部件由螺紋結(jié)構(gòu)連接固定，便于拆卸，可以?xún)H更換中空陶瓷柱套筒進(jìn)行法蘭的清洗和維護(hù)，降低因?yàn)槲廴驹蚋鼡Q整套電極法蘭的維修費(fèi)用和難度。
[0023]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并不用于限制本實(shí)用新型，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種防止電極芯柱污染的電極法蘭，包括電極芯柱法蘭和中空陶瓷柱套筒，其特征在于:所述中空陶瓷柱套筒同軸嵌套在電極芯柱外側(cè)，一端與電極芯柱法蘭固定連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止電極芯柱污染的電極法蘭，其特征在于:所述的中空陶瓷柱套筒內(nèi)表面與電極芯柱間隙配合。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止電極芯柱污染的電極法蘭，其特征在于:所述的中空陶瓷柱套筒由一段金屬中空?qǐng)A柱和一段陶瓷中空?qǐng)A柱同軸封接而成，金屬中空?qǐng)A柱與電極芯柱法蘭螺紋連接。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供了一種防止電極芯柱污染的電極法蘭，包括電極芯柱法蘭和中空陶瓷柱套筒，所述中空陶瓷柱套筒同軸嵌套在電極芯柱外側(cè)，一端與電極芯柱法蘭固定連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造技術(shù)低，造價(jià)低廉，適合所有真空部件廠商加工制作，可以有效杜絕因?yàn)殡姌O芯柱污染造成電絕緣性能下降帶來(lái)的測(cè)量不準(zhǔn)、抗干擾能力下降、電氣性能減弱等一切故障；本實(shí)用新型的兩個(gè)部件由螺紋結(jié)構(gòu)連接固定，便于拆卸，可以?xún)H更換中空陶瓷柱套筒進(jìn)行法蘭的清洗和維護(hù)，降低因?yàn)槲廴驹蚋鼡Q整套電極法蘭的維修費(fèi)用和難度。
【IPC分類(lèi)】F16L5/02
【公開(kāi)號(hào)】CN205298840
【申請(qǐng)?zhí)枴?br>【發(fā)明人】劉暉, 石峰, 程宏昌, 馮劉, 張連東, 陳高善, 史鵬飛, 牛森, 邊立
【申請(qǐng)人】中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)第二一一研究所
【公開(kāi)日】2016年6月8日
【申請(qǐng)日】2015年11月30日