技術(shù)編號：41948473
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體空間光激光器鏡片的調(diào)試，具體涉及一種半導(dǎo)體空間光激光器鏡片的調(diào)試工裝及方法。背景技術(shù)、現(xiàn)有的半導(dǎo)體空間光激光器在直寫曝光設(shè)備中因其高功率和小體積的需求，半導(dǎo)體激光二極管發(fā)出的光需要經(jīng)多次處理，最后耦合到光纖內(nèi)。如圖的一種高功率半導(dǎo)體空間光激光器的光路圖所示，此光學(xué)系統(tǒng)中使用了顆激光二極管(顆×排)，適用于nm至nmm之間的任何波段。半導(dǎo)體激光管發(fā)出的光束經(jīng)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后，在空間中以很小的發(fā)散角向前傳播；在光束到達第一級反射鏡后，光束發(fā)生°偏...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。