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一種異質(zhì)集成無源器件的諧振器和濾波器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:41952234

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本發(fā)明涉及mems器件,具體涉及一種異質(zhì)集成無源器件的諧振器和濾波器。背景技術(shù)、g時代信息的高速精確傳輸需求給通信系統(tǒng)提出了更高的要求。物理層的射頻前端器件和模組在保證高速精確低損耗傳輸信息的過程中起著愈發(fā)重要的作用。濾波器在通信系統(tǒng)的各個環(huán)節(jié)都承擔核心作用,薄膜體聲波諧振更是以高品質(zhì)因數(shù)、低損耗、高機電耦合系數(shù)、高矩形系數(shù)以及g頻段可應(yīng)用性逐漸占據(jù)射頻前端市場。、然而,低階數(shù)的濾波器帶外抑制難以實現(xiàn)大部分場景的需求,高階數(shù)的濾波器又增加了器件制備所需面積,同時會導(dǎo)致帶內(nèi)插損產(chǎn)生惡化。此...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學(xué)習。

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