技術(shù)編號：41955153
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于壓力檢測與微納傳感器，涉及一種壓力檢測集成微納傳感器及其制作方法與檢測方法。背景技術(shù)、壓力傳感器在工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，高靈敏度、高線性度、大量程和小尺寸的壓力傳感器一直各工業(yè)領(lǐng)域極致追求的目標(biāo)。、為了提高壓力傳感器的性能，一種常見的策略是減小薄膜厚度以提高靈敏度。研究人員提出了一種替代傳統(tǒng)背面蝕刻法的方法，即利用犧牲層進(jìn)行表面微加工來制造壓敏薄膜[asimulation?program?for?the?sensitivity?and?linearity?of?piezoresi...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。