技術(shù)編號：41956381
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本文的描述涉及帶電粒子檢測，并且更具體而言，涉及可應(yīng)用于帶電粒子束檢測的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)、檢測器可以被用于感測物理上可觀察到的現(xiàn)象。例如，諸如電子顯微鏡的帶電粒子束工具可以包括接收從樣品投射的帶電粒子并且輸出檢測信號的檢測器。檢測信號可以被用于重建受檢查的樣品結(jié)構(gòu)的圖像，并且可以被用于例如揭示樣品中的缺陷。在半導體設(shè)備的制造中，檢測樣品中的缺陷變得越來越重要，半導體設(shè)備可以包括大量密集封裝的小型化集成電路(ic)組件。為此，可以提供專用的檢查工具。、在檢查領(lǐng)域的一些應(yīng)用中，例如使用掃描電...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。