技術(shù)編號：41960724
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及流量計，特別涉及一種質(zhì)量流量計及質(zhì)量流量控制器。背景技術(shù)、質(zhì)量流量控制器(mass?flow?controller，簡稱mfc)作為一種測量和控制流體流量的儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、生物制藥、環(huán)保監(jiān)測及其他需要精確控制流體流量的領(lǐng)域。其工作原理基于流體通過傳感器時所引起的熱量變化，流體流量的大小直接影響傳感器溫度，通過監(jiān)測這種溫度變化，可以計算出流體的實時流量。、流量傳感器是質(zhì)量流量控制器的關(guān)鍵組成部分，其一般由上游熱敏電阻、下游熱敏電阻、毛細(xì)管以及控制電路等組成。其原理是通過加...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。