技術(shù)編號：41961013
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請屬于流量測量，具體涉及一種流量測量裝置及質(zhì)量流量控制器。背景技術(shù)、質(zhì)量流量控制器(mass?flow?controller,mfc)是一種用于精確控制和測量氣體流量的裝置，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化工、環(huán)保、醫(yī)療等領(lǐng)域。在這些應(yīng)用中，流量的精確控制和測量至關(guān)重要，因為氣體流量的微小變化可能會影響到最終產(chǎn)品的質(zhì)量和系統(tǒng)的穩(wěn)定性。、質(zhì)量流量控制器通常采用固定分流比的方式，質(zhì)量流量控制器的量程固定；在測量系統(tǒng)中，部分氣體直接通過主管道，另一部分氣體經(jīng)過流量傳感器，這兩部分氣體流量的比值即為分流...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。