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穿戴式超聲波感測裝置的制作方法

文檔序號:11087822閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種穿戴式超聲波感測裝置,其包括依次層疊設置的一第一保護層、一超聲波接收單元、一電路基板、一超聲波發(fā)射單元及一第二保護層,所述超聲波發(fā)射單元包括依次層疊設置的一第一電極層、一第一壓電材料層及一第二電極層,其特征在于:所述第一電極層包括多個間隔排布的電極單元,所述第一壓電材料層包括多個壓電單元,所述每一電極單元與所述第二電極層之間夾設有多個壓電單元,每一電極單元、所述第二電極層及夾設于所述電極單元與所述第二電極層之間的多個壓電單元構成一個壓電感測單元。

2.如權利要求1所述的穿戴式超聲波感測裝置,其特征在于:所述多個電極單元分別進行電連接。

3.如權利要求1所述的穿戴式超聲波感測裝置,其特征在于:每一壓電感測單元內的多個壓電單元為間隔排布或鄰接排布。

4.如權利要求1所述的穿戴式超聲波感測裝置,其特征在于:所述電極單元沿平行于所述第二電極層表面方向的橫截面形狀為方形或圓形。

5.如權利要求1所述的穿戴式超聲波感測裝置,其特征在于:所述壓電單元沿平行于所述第二電極層表面方向的橫截面形狀為方形或圓形。

6.如權利要求1所述的穿戴式超聲波感測裝置,其特征在于:所述超聲波接收單元包括層疊設置的一第三電極層與一第二壓電材料層,所述第二壓電材料層在靠近所述基板一側。

7.如權利要求1所述的穿戴式超聲波感測裝置,其特征在于:所述超聲波接收單元通過一粘膠層與所述基板貼合,所述粘膠層的方塊電阻小于150Ω/sq,介電常數(shù)小于5F/m,厚度小于30μm。

8.如權利要求1所述的穿戴式超聲波感測裝置,其特征在于:所述基板上設有電極和控制電路,所述電極用于感應所述超聲波接收單元的電荷并將其輸入控制電路。

9.如權利要求1所述的穿戴式超聲波感測裝置,其特征在于:所述基板為薄膜晶體管陣列基板或柔性電路板。

10.如權利要求1~9任一項所述的穿戴式超聲波感測裝置,其特征在于:所述穿戴式超聲波感測裝置具有柔性。

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