專利名稱：真空管道清潔裝置及系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及液晶顯示技術，尤其涉及一種真空管道清潔裝置及系統(tǒng)。
背景技術：
在半導體及平板顯示產(chǎn)業(yè)中，高真空的工藝技術應用廣泛，特別是在等離子體增 強化學氣相沉積及干法刻蝕等工藝中，反應腔室通過真空管道連接到泵上，以保持設備較 高的真空度。這樣，在反應過程中會有大量副產(chǎn)物產(chǎn)生在管道內，遇冷后以粉末的形式附著 在真空管道內壁上，設備在運行時間較長后真空管道壁上會粘結有大量的附著物，從而導 致真空管道內氣體流量低下，易造成反應腔室真空度下降、設備停機等問題?，F(xiàn)有技術中通常采用物理清洗法或化學清洗法對真空管道進行濕法清洗。其中物 理清洗法主要是向真空管道內壓入樹脂子彈，然后沖壓入大量水以進行清洗，該方法對真 空管道及樹脂子彈強度、材料等都有較高的要求，如真空管道的耐受壓力要較高，真空管道 內彎曲連接處不能太多等。化學清洗法主要是向真空管道內注入化學藥劑，以對真空管道 內附著物進行中和反應，該方法需要大量的化學藥劑和水，并且也會對環(huán)境造成一定的破 壞。另外，采用上述物理清洗法或化學清洗法對真空管道進行清洗后，真空管道內都 會附著有大量的水分，后續(xù)需要對真空管道進行干燥的過程，使短期內設備不能恢復工作。

實用新型內容本實用新型提供一種真空管道清潔裝置及系統(tǒng)，用以清潔彎曲連接處較多的真空 管道，且不需要對真空管道進行干燥的過程，清潔完即可投入使用。本實用新型提供一種真空管道清潔裝置，包括至少二個清潔桿、至少一個毛刷頭 以及牽引裝置；所述清潔桿之間以配合結構活動連接并構成清潔桿組；所述毛刷頭設置在至少一個清潔桿上；所述牽引裝置設置在所述清潔桿組的兩端。進一步的，所述清潔桿的一端為凹面結構，所述清潔桿的另一端為凸面結構，所述 清潔桿之間的凹面結構與凸面結構構成配合結構；所述清潔桿之間通過鋼絲繩連接。優(yōu)選地，所述毛刷頭設置在所述清潔桿上。所述毛刷頭包括刷毛、刷毛底座；所述刷毛固定在所述刷毛底座上。該真空管道清潔裝置的清潔桿組首端和/或尾端的清潔桿與所述牽引裝置之間 還可設置有活塞頭。所述毛刷頭可為一個。優(yōu)選地，間隔一個或多個清潔桿設置所述毛刷頭。本實用新型提供一種真空管道清潔系統(tǒng)，包括上述提供的一種真空管道清潔裝 置，還包括尾部接收設備和真空吸收設備；[0017]所述牽引裝置的一端與所述尾部接收設備連接，所述真空吸收設備與所述尾部接 收設備連接，所述尾部接收設備用于接收真空管道清潔裝置清理出的粉末，所述真空吸收 設備用于吸收尾部接收設備中的粉末。采用本實用新型提供的真空管道清潔裝置及系統(tǒng)清潔真空管道，不需要對真空管 道進行后續(xù)干燥的過程，清潔完即可投入使用；真空管道清潔裝置的各清潔桿之間都是以 配合結構活動連接，使得真空管道清潔裝置可在各方向旋轉活動，適用于清潔彎曲連接處 較多的真空管道。

圖1為本實用新型真空管道清潔裝置實施例一的結構示意圖；圖2為本實用新型真空管道清潔裝置實施例二的結構示意圖；圖3為本實用新型真空管道清潔裝置實施例三的結構示意圖。
具體實施方式
下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。圖1為本實用新型真空管道清潔裝置實施例一的結構示意圖。如圖1所示，本實 施例包括至少二個清潔桿11、至少一個毛刷頭12以及牽引裝置13。其中，清潔桿11之間以配合結構活動連接并構成清潔桿組10 ；毛刷頭12設置在 至少一個清潔桿上；牽引裝置13設置在清潔桿組10的兩端。進一步的，清潔桿11的一端為凹面結構，清潔桿11的另一端為凸面結構，清潔桿 11之間的凹面結構與凸面結構構成配合結構；清潔桿11之間通過鋼絲繩14連接。通過這 種配合結構的活動連接，可以使真空管道清潔裝置在各方向旋轉活動。本實施例中，毛刷頭12固接在清潔桿上。在圖1中，間隔一個清潔桿設置毛刷頭。 本實用新型也可以間隔多個清潔桿設置毛刷頭。具體地，毛刷頭12可以包括刷毛、刷毛底座及螺絲。其中，刷毛可采用硬質且具有 一定韌性的較長的塑料細絲制成，刷毛固定在刷毛底座上，例如以植入壓塑的方式使刷毛 與刷毛底座緊固，刷毛不易脫落；采用螺絲將刷毛底座固定在清潔桿上，每個毛刷頭固定位 置可以環(huán)繞固定數(shù)個刷毛底座，有利于對狀態(tài)不好的刷毛進行調整更換。本實施例中，牽引裝置13包括兩條牽引繩，這兩條牽引繩分別連接在清潔桿組的 兩端。圖2為本實用新型真空管道清潔裝置實施例二的結構示意圖。如圖2所示，與圖 1所示的真空管道清潔裝置的不同之處在于，設置有毛刷頭的清潔桿包括第一清潔子桿21 和第二清潔子桿22，第一清潔子桿21和第二清潔子桿22螺接。其中，第一清潔子桿21的一端為螺絲結構，第二清潔子桿22對應的一端為螺母結 構。 進一步的，本實施例中，毛刷頭可以包括刷毛、刷毛底座，其中，刷毛底座的內表面 構成螺母結構，能夠與第一清潔子桿螺接。具體使用中，可依次將毛刷頭、第二清潔子桿22 與第一清潔子桿21螺接。 或者，第一清潔子桿21的一端為螺母結構，第二清潔子桿22對應的一端為螺絲結構。進一步的，本實施例中，所有的清潔桿都可以采用上述螺接的結構。上述實施例一和二提供的真空管道清潔裝置可用于干法清潔真空管道。具體地 說，將待清洗的真空管道兩端分別與所連接的設備分離；將上述真空管道清潔裝置通入真 空管道內部，直至真空管道下部露出一端的牽引繩，真空管道清潔裝置的長度可以根據(jù)真 空管道的長度而定，可調整清潔桿的個數(shù)用于調整真空管道清潔裝置的長度；使用外力分 別牽引兩條牽引繩，拉動毛刷頭與真空管道內壁摩擦，這樣緊貼內壁的粉末被刮動脫落；經(jīng) 過數(shù)次摩擦，真空管道內的粉末大顆粒被基本去除，真空管道清理完畢。采用實施例一和二提供的真空管道清潔裝置清潔真空管道，不需要對真空管道進 行后續(xù)干燥的過程，清潔完即可投入使用；真空管道清潔裝置的各清潔桿之間都是以配合 結構活動連接，使得真空管道清潔裝置可在各方向旋轉活動，適用于清潔彎曲連接處較多 的真空管道；相比于現(xiàn)有技術，真空管道清潔裝置的毛刷頭對真空管道內壁壓力很小，不會 對真空管道內壁造成損害。本實用新型真空管道清潔裝置實施例三在上述實施例一或二的基礎上，清潔桿組 首端和/或尾端的清潔桿與所述牽引裝置之間還設置有活塞頭，具體地，可將活塞頭設置 在清潔桿組首端和/或尾端的清潔桿上。為了便于操作人員使用，帶活塞頭的真空管道清潔裝置可以包括一個毛刷頭，參 見圖3所示的實施例。圖3為本實用新型真空管道清潔裝置實施例三的結構示意圖。如圖3所示，本實 施例包括至少二個清潔桿(圖3示出了包括二個清潔桿31和32的情況)、一個毛刷頭33 以及牽引裝置34。其中，二個清潔桿31和32之間以配合結構活動連接并構成清潔桿組30 ；毛刷頭 33設置在清潔桿31上；牽引裝置34設置在清潔桿組30的兩端。進一步的，清潔桿31的一端為凹面結構，清潔桿32的一端為凸面結構，清潔桿31 和32之間的凹面結構和凸面結構構成配合結構；清潔桿31和32之間通過鋼絲繩35連接。 通過這種配合結構的活動連接，可以使真空管道清潔裝置在各方向旋轉活動。本實施例中，毛刷頭33設置在清潔桿31上。牽引裝置34包括兩條牽引繩，這兩條牽引繩分別連接在清潔桿組30的兩端。本實施例還包括活塞頭36，活塞頭36固接在清潔桿32上。上述實施例三提供的真空管道清潔裝置可用于干法清潔真空管道。具體地，可以 在使用實施例一或二提供的真空管道清潔裝置清潔真空管道后，繼續(xù)使用實施例三提供的 真空管道清潔裝置進行更為精細的清潔。將實施例三提供的真空管道清潔裝置通入真空管 道內部，直至真空管道下部露出一端的牽引繩；使用外力分別牽引兩條牽引繩，拉動毛刷頭 和活塞頭與真空管道內壁摩擦，由于活塞頭與真空管道內壁的接觸更近，其清潔效果比毛 刷更好；經(jīng)過數(shù)次摩擦，真空管道內的粉末小顆粒也被基本去除，真空管道清理完畢。采用實施例三提供的真空管道清潔裝置，不需要對真空管道進行后續(xù)干燥的過 程，清潔完即可投入使用；真空管道清潔裝置的各清潔桿之間都是以配合結構活動連接，使 得真空管道清潔裝置可在各方向旋轉活動，適用于清潔彎曲連接處較多的真空管道；相比 于現(xiàn)有技術，真空管道清潔裝置的毛刷頭和活塞頭對真空管道內壁壓力很小，不會對真空管道內壁造成損害。本實用新型還提供了一種真空管道清潔系統(tǒng)，該真空管道清潔系統(tǒng)可以包括實施 例一或二或三提供的真空管道清潔裝置、尾部接收設備和真空吸收設備，所述牽引裝置的 一端與所述尾部接收設備連接，所述真空吸收設備與所述尾部接收設備連接，所述尾部接 收設備用于接收真空管道清潔裝置清理出的粉末，所述真空吸收設備用于吸收尾部接收設 備中的粉末。具體地，尾部接收設備與待清洗的真空管道連接，當將真空管道清潔裝置通入真 空管道內部時，牽引裝置的一段置于真空管道之外，該牽引裝置可通過尾部接收設備引出。 進一步的，尾部接收設備的側面有開口，開口處安裝有一滑輪，牽引裝置可通過該滑輪從尾 部接收設備中引出。真空吸收設備與尾部接收設備連接，用于吸收真空管道清潔裝置清理出的粉末。采用本實用新型提供的真空管道清潔系統(tǒng)清潔真空管道，不需要對真空管道進行 后續(xù)干燥的過程，清潔完即可投入使用；真空管道清潔裝置的各清潔桿之間都是以配合結 構活動連接，使得真空管道清潔裝置可在各方向旋轉活動，適用于清潔彎曲連接處較多的 真空管道；相比于現(xiàn)有技術，真空管道清潔裝置的毛刷頭對真空管道內壁壓力很小，不會對 真空管道內壁造成損害。最后所應說明的是，以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案而非限制，盡 管參照較佳實施例對本實用新型進行了詳細說明，本領域的普通技術人員應當理解，可以 對本實用新型的技術方案進行修改或者等同替換，而不脫離本實用新型技術方案的精神和 范圍。
權利要求一種真空管道清潔裝置，其特征在于，包括至少二個清潔桿、至少一個毛刷頭以及牽引裝置；所述清潔桿之間以配合結構活動連接并構成清潔桿組；所述毛刷頭設置在至少一個清潔桿上；所述牽引裝置設置在所述清潔桿組的兩端。
2.根據(jù)權利要求1所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，所述清潔桿的一端為凹面 結構，所述清潔桿的另一端為凸面結構，所述清潔桿之間的凹面結構與凸面結構構成配合 結構；所述清潔桿之間通過鋼絲繩連接。
3.根據(jù)權利要求1所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，所述毛刷頭設置在所述清 潔桿上。
4.根據(jù)權利要求3所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，所述毛刷頭包括刷毛、刷毛 底座；所述刷毛固定在所述刷毛底座上。
5.根據(jù)權利要求1-4任一所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，所述毛刷頭為一個。
6.根據(jù)權利要求1-4任一所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，清潔桿組首端和/或 尾端的清潔桿與所述牽引裝置之間設置有活塞頭。
7.根據(jù)權利要求1所述的真空管道清潔裝置，其特征在于，間隔一個或多個清潔桿設 置所述毛刷頭。
8.一種包括權利要求1-7任一所述的真空管道清潔裝置的真空管道清潔系統(tǒng)，其特征 在于，還包括尾部接收設備和真空吸收設備；所述牽引裝置的一端與所述尾部接收設備連接，所述真空吸收設備與所述尾部接收設 備連接，所述尾部接收設備用于接收真空管道清潔裝置清理出的粉末，所述真空吸收設備 用于吸收尾部接收設備中的粉末。
專利摘要本實用新型涉及一種真空管道清潔裝置及系統(tǒng)，其中真空管道清潔裝置包括至少二個清潔桿、至少一個毛刷頭以及牽引裝置；所述清潔桿之間以配合結構活動連接并構成清潔桿組；所述毛刷頭設置在至少一個清潔桿上；所述牽引裝置設置在所述清潔桿組的兩端。本實用新型適用于清潔彎曲連接處較多的真空管道。
文檔編號B08B9/043GK201676859SQ20102021079
公開日2010年12月22日 申請日期2010年5月21日 優(yōu)先權日2010年5月21日
發(fā)明者常有軍 申請人:北京京東方光電科技有限公司