專利名稱：壓電驅(qū)動式微夾持器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種微操作作業(yè)工具，尤其涉及ー種用于夾持微小物體的微夾持器。
技術(shù)背景微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是指可批量制作、集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理和控制電路以及接ロ、通信和電源等于一體的微系統(tǒng)。MEMS不僅可以降低系統(tǒng)成本，而且還可以完成許多傳統(tǒng)的大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所無法完成的任務(wù)，如微觀對象靈活操作。微夾持器是MEMS的關(guān)鍵組成部分，是溝通宏觀與微觀世界的基本工具，在微機(jī)電系統(tǒng)的研究及微型產(chǎn)品的研制開發(fā)中發(fā)揮著重要的作用。微夾持器應(yīng)用于微裝配等領(lǐng)域，并且，微夾持器在精密儀器、生物醫(yī)學(xué)、航空航天及軍事領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用前景。微裝配機(jī)器人在微零件裝配、微機(jī)電系統(tǒng)、精密光學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。而微夾持器作為微裝配機(jī)器人的末端執(zhí)行器，直接決定機(jī)器人的工作效果。研究具有微感知功能的微夾持器是微裝配機(jī)器人研究中的ー個重點(diǎn)和難點(diǎn)。微夾持器按照驅(qū)動方式劃分可分為壓電驅(qū)動、熱驅(qū)動、靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動等類型。其中，壓電驅(qū)動通常與放大結(jié)構(gòu)配合使用，驅(qū)動カ大，位移小。其中，壓電驅(qū)動微夾持器由壓電驅(qū)動器(PZT)、內(nèi)外懸臂梁組成的柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)和夾持臂組成。當(dāng)壓電驅(qū)動器施加電壓伸長時推動外懸臂梁運(yùn)動，使得外懸臂梁運(yùn)動方向改變，帶動微夾持臂動作，根據(jù)杠桿原理，微夾持臂的位移量大大增加(一般是放大前的十幾倍到幾百倍)，每ー夾持臂的最大位移可達(dá)240um。如圖I所示，圖I為常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件示意圖。所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I的極化方向(P)及施加電場方向(E)，兩者均為所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I的長度方向(平行設(shè)置)，通過所述極化方向(P)及施加電場方向(E)所產(chǎn)生的應(yīng)力，使所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I產(chǎn)生縱向的變形(如虛線所示)，以形成縱向驅(qū)動力。如圖2所示，圖2為常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件示意圖。所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2的極化方向(P)及施加電場方向(E)，兩者均為所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2的寬度方向(平行設(shè)置)，通過所述極化方向(P)及施加電場方向(E)所產(chǎn)生的應(yīng)力，使所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2產(chǎn)生橫向的變形(如虛線所示)，以形成橫向驅(qū)動力。上述所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I及所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2所分別產(chǎn)生的縱效應(yīng)及橫效應(yīng)，其為當(dāng)外加電場(E)與極化方向(P)為平行設(shè)置時所產(chǎn)生的特性。然而，上述兩種驅(qū)動配置方式卻無法在縱效應(yīng)與橫效應(yīng)發(fā)生的同時激發(fā)出剪切效應(yīng)。因此，利用単一壓電元件雖然有較高的驅(qū)動精度或微驅(qū)動效果，但其能驅(qū)動行程卻僅僅有幾十微米(um)等級。甚至有些壓電元件僅有亞微米(sub-um)等級的驅(qū)動功效,所以,對于要夾持較大尺寸(例如=IOOum以上)的精微元件則有些困難。另外，如果要增加上述所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I及所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2的驅(qū)動行程，需以多個壓電元件堆疊才能増加驅(qū)動行程的功效。[0009]如圖3及圖4所示，圖3及圖4是ー種常規(guī)堆疊式壓電驅(qū)動裝置3，其包括所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I及所述的常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2，所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2設(shè)置于所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I上。如圖5及圖6所示，圖5是顯示輸入所述常規(guī)效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I的第一驅(qū)動信號，圖6是顯示輸入所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2的第二驅(qū)動信號。其中，所述第一驅(qū)動信號與所述第二驅(qū)動信號具有相位差。結(jié)合圖3至圖6所示，所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I接收所述第一驅(qū)動信號后，即產(chǎn)生縱效應(yīng)以進(jìn)行縱向運(yùn)動，而所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2接收所述第二驅(qū)動信號后，即產(chǎn)生橫效應(yīng)以進(jìn)行橫向運(yùn)動。通過控制具有相位差的所述第一驅(qū)動信號及所述第二驅(qū)動信號，分別驅(qū)動所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件I及所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2，使所述常規(guī)堆疊式壓電驅(qū)動裝置3產(chǎn)生類似長方形或橢圓形的運(yùn)動軌跡，以達(dá)到推動或驅(qū)動效果。上述所述常規(guī)堆疊式壓電驅(qū)動裝置3的驅(qū)動方式，是精密壓電驅(qū)動器中最普遍且最方便實(shí)施的ー種方式，但是，此種實(shí)施方式，相対的需要用到兩種壓電材料，且需準(zhǔn)確搭配好兩相的電信號(所述第一驅(qū)動信號及所述第二驅(qū)動信號)，才能產(chǎn)生較佳的運(yùn)動軌跡，其硬件實(shí)現(xiàn)上較為復(fù)雜。因此，針對上述技術(shù)問題，有必要提供ー種新的壓電驅(qū)動式微夾持器，以克服上述缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供ー種張合量大、驅(qū)動カ大、并且具有精密夾持カ反饋功能的壓電驅(qū)動式微夾持器。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案ー種壓電驅(qū)動式微夾持器，其包括壓電驅(qū)動部分與檢測夾持部分，所述壓電驅(qū)動部分包括驅(qū)動元件、橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)、杠桿放大機(jī)構(gòu)以及連接橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)與杠桿放大機(jī)構(gòu)的鉸鏈連接機(jī)構(gòu)，所述橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)包括分別位于驅(qū)動元件兩側(cè)且對稱設(shè)置的第一弧形梁及第ニ弧形梁，所述杠桿放大機(jī)構(gòu)包括分別位于第一弧形梁及第ニ弧形梁外側(cè)的第一懸臂梁及第ニ懸臂梁，所述檢測夾持部分包括分別與第一懸臂梁及第ニ懸臂梁一端連接的兩個相對設(shè)置的夾持臂，每一所述夾持臂上集成有兩個壓阻傳感器，所述的四個壓阻傳感器組成一全橋檢測結(jié)構(gòu)，所述驅(qū)動元件運(yùn)動帶動橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)變形，所述橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)變形帶動杠桿放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動，所述杠桿放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動帶動夾持臂松開或夾緊夾持對象。優(yōu)選的，在上述壓電驅(qū)動式微夾持器中，所述的橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)、杠桿放大機(jī)構(gòu)以及鉸鏈連接機(jī)構(gòu)一體成型。優(yōu)選的，在上述壓電驅(qū)動式微夾持器中，所述的夾持臂與杠桿放大機(jī)構(gòu)通過粘接方式連接。
、[0019]優(yōu)選的，在上述壓電驅(qū)動式微夾持器中，所述壓電驅(qū)動式微夾持器還包括位于第一弧形梁與第二弧形梁之間的第一定位端與第二定位端以及與所述第一定位端一體連接的基部，所述驅(qū)動元件安裝于所述第一定位端與第二定位端之間。[0020]優(yōu)選的，在上述壓電驅(qū)動式微夾持器中，所述第一弧形梁與第二弧形梁的一端與基部連接，另一端與第二定位端連接。優(yōu)選的，在上述壓電驅(qū)動式微夾持器中，所述第一懸臂梁及第ニ懸臂梁的固定端連接所述基部，自由端連接所述夾持臂。優(yōu)選的，在上述壓電驅(qū)動式微夾持器中，所述驅(qū)動元件為壓電陶瓷塊。從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例的壓電驅(qū)動式微夾持器通過橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)和杠桿放大機(jī)構(gòu)的二次放大，實(shí)現(xiàn)足夠大的夾持器張合量；同時，借助四個壓阻傳感器組成ー全橋檢測結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了夾持カ的精確反饋。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關(guān)本實(shí)用新型的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I是ー種常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件示意圖；圖2是ー種常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件示意圖；圖3是ー種常規(guī)堆疊式壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動示意圖；圖4是圖3另一種表達(dá)不意圖；圖5是圖3中輸入常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件的第一驅(qū)動信號示意圖；圖6是圖3中輸入常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件的第二驅(qū)動信號示意圖；圖7是本實(shí)用新型壓電驅(qū)動式微夾持器的立體示意圖；圖8是圖7另ー角度的示意圖；圖9是圖7中一組夾持臂與壓阻傳感器的示意圖；圖10是圖7中另ー組夾持臂與壓阻傳感器的示意圖。其中1、驅(qū)動元件；2、橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)；21、第一弧形梁；22、第二弧形梁；3、杠桿放大機(jī)構(gòu)；31、第一懸臂梁；32、第二懸臂梁；4、鉸鏈連接機(jī)構(gòu)；5、夾持臂；6、壓阻傳感器；7、第一定位端；8、第二定位端；9、基部；91固定孔。
具體實(shí)施方式
微夾持器應(yīng)用于微裝配等領(lǐng)域，并且，微夾持器在精密儀器、生物醫(yī)學(xué)、航空航天及軍事領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用前景。微夾持器按照驅(qū)動方式劃分可分為壓電驅(qū)動、熱驅(qū)動、靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動等類型。其中，壓電驅(qū)動技術(shù)的基本原理是基于壓電陶瓷材料的逆壓電效應(yīng)，通過控制其機(jī)械變形產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)或直線運(yùn)動，它具有結(jié)構(gòu)簡單，低速、大力矩的優(yōu)點(diǎn)。在實(shí)際使用中，壓電驅(qū)動通常與放大結(jié)構(gòu)配合使用，具有驅(qū)動カ大、位移小的優(yōu)點(diǎn)。一般的壓電驅(qū)動微夾持器由壓電驅(qū)動器(PZT)、內(nèi)外懸臂梁組成的柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)和夾持臂組成。當(dāng)壓電驅(qū)動器施加電壓伸長時推動外懸臂梁運(yùn)動，使得外懸臂梁運(yùn)動方向改變，帶動微夾持臂動作，根據(jù)杠桿原理，微夾持臂的位移量大大增加?；趬弘婒?qū)動的優(yōu)點(diǎn)，本實(shí)用新型公開了ー種壓電驅(qū)動式微夾持器，該壓電驅(qū)動式微夾持器可用于空氣中微小對象的夾持操作，也可用于對水溶液中的細(xì)胞、胚胎等對象操作。微夾持器整體主要包括兩部分，分別為驅(qū)動部分和檢測夾持部分。其中，驅(qū)動部分通過橢圓形梁結(jié)合杠桿原理實(shí)現(xiàn)運(yùn)動放大，可實(shí)現(xiàn)30倍以上的放大作用。驅(qū)動元件采用的驅(qū)動元件為壓電陶瓷驅(qū)動塊。檢測夾持部分通過MEMS硅基エ藝將壓阻傳感器集成在夾持臂上，實(shí)現(xiàn)夾持力的閉環(huán)檢測。本實(shí)用新型的的工作原理是驅(qū)動元件運(yùn)動帶動橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)變形，橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)變形帶動杠桿放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動，杠桿放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動帶動夾持臂松開或夾緊夾持對象。本實(shí)用新型的特點(diǎn)是可實(shí)現(xiàn)0-1_范圍的微小對象夾持操作，驅(qū)動力大并且能夠?qū)崿F(xiàn)精確的カ反饋，可實(shí)現(xiàn)空氣、水溶液等環(huán)境的夾持操作，所以該夾持器可以廣泛應(yīng)用于對有精密夾持カ要求的對象進(jìn)行操作以及對多環(huán)境下對象的操作與搬運(yùn)。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。如圖7所示，本實(shí)用新型實(shí)施例的壓電驅(qū)動式微夾持器包括壓電驅(qū)動部分與檢測 夾持部分。壓電驅(qū)動部分包括驅(qū)動元件I、橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)2、杠桿放大機(jī)構(gòu)3以及連接橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)2與杠桿放大機(jī)構(gòu)3的鉸鏈連接機(jī)構(gòu)4。橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)2、杠桿放大機(jī)構(gòu)3以及鉸鏈連接機(jī)構(gòu)4 一體成型。如此設(shè)置，通過橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)2結(jié)合杠桿放大機(jī)構(gòu)3的杠桿原理，能夠?qū)崿F(xiàn)運(yùn)動二次放大，可實(shí)現(xiàn)30倍以上的放大作用，實(shí)現(xiàn)足夠大的夾持器張合量。如圖7及圖8所示，橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)2包括分別位于驅(qū)動元件I兩側(cè)且對稱設(shè)置的第一弧形梁21及第ニ弧形梁22。杠桿放大機(jī)構(gòu)3包括分別位于第一弧形梁21及第ニ弧形梁22外側(cè)的第一懸臂梁31及第ニ懸臂梁32。該橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)2是根據(jù)三角形放大原理結(jié)合柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)而成。檢測夾持部分包括分別與第一懸臂梁31及第ニ懸臂梁32 —端連接的兩個相對設(shè)置的夾持臂5，夾持臂5與杠桿放大機(jī)構(gòu)3通過粘接方式連接。每ー夾持臂5上集成有兩個壓阻傳感器6，該四個壓阻傳感器6通過MEMS硅基エ藝集成在夾持臂5上，該四個壓阻傳感器6組成ー全橋檢測結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)夾持カ的閉環(huán)檢測，并能夠?qū)崿F(xiàn)了夾持カ的精確反饋。如圖7所示，壓電驅(qū)動式微夾持器還包括位于第一弧形梁21與第二弧形梁22之間的第一定位端7與第二定位端8以及與所述第一定位端7 —體連接的基部9，驅(qū)動元件I安裝于所述第一定位端7與第二定位端8之間。第一弧形梁21與第二弧形梁22的一端與基部9連接，另一端與第二定位端8連接。第一懸臂梁31及第ニ懸臂梁32的固定端連接所述基部9，自由端連接所述夾持臂5?；?上設(shè)有固定孔91。本實(shí)用新型實(shí)施例的壓電驅(qū)動式微夾持器的驅(qū)動元件I采用壓電陶瓷塊。壓電陶瓷是一種能夠?qū)C(jī)械能和電能互相轉(zhuǎn)換的功能陶瓷材料，屬于無機(jī)非金屬材料，是ー種具有壓電效應(yīng)的材料。壓電陶瓷在電場作用下產(chǎn)生的形變量很小，最多不超過本身尺寸的千萬分之一，壓電驅(qū)動器就是基于壓電陶瓷本身微小變化的原理制作出來的，并被廣泛應(yīng)用在對精密儀器和機(jī)械的控制、微電子技術(shù)、生物工程等領(lǐng)域。本實(shí)用新型實(shí)施例的壓電驅(qū)動式微夾持器的張合量大、驅(qū)動力和驅(qū)動位移控制精確，可實(shí)現(xiàn)O-Imm范圍的微小對象夾持操作，驅(qū)動カ大并實(shí)現(xiàn)精確的カ反饋；并且，可實(shí)現(xiàn)多種環(huán)境下的微小對象操作，如空氣、水溶液等環(huán)境的夾持操作，所以該壓電驅(qū)動式夾持器可以廣泛應(yīng)用于有精密夾持カ要求的對象操作以及多環(huán)境下對象的操作與搬運(yùn)，由于微夾持器的夾持臂5具有足夠的剛度，對于水溶液中的對象操作也可忽略液體張カ的影響，所以此種結(jié)構(gòu)的微夾持器的應(yīng)用會越來越廣泛。綜上所述，本實(shí)用新型壓電驅(qū)動式微夾持器的有益效果是通過橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)和杠桿放大機(jī)構(gòu)的二次放大，實(shí)現(xiàn)足夠大的夾持器張合量；同時，借助四個壓阻傳感器組成一全橋檢測結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了夾持カ的精確反饋。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此g在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個實(shí)施方式僅包 含ー個獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為ー個整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
權(quán)利要求1.一種壓電驅(qū)動式微夾持器，其包括壓電驅(qū)動部分與檢測夾持部分，其特征在于所述壓電驅(qū)動部分包括驅(qū)動元件、橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)、杠桿放大機(jī)構(gòu)以及連接橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)與杠桿放大機(jī)構(gòu)的鉸鏈連接機(jī)構(gòu)，所述橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)包括分別位于驅(qū)動元件兩側(cè)且對稱設(shè)置的第一弧形梁及第二弧形梁，所述杠桿放大機(jī)構(gòu)包括分別位于第一弧形梁及第二弧形梁外側(cè)的第一懸臂梁及第二懸臂梁，所述檢測夾持部分包括分別與第一懸臂梁及第二懸臂梁一端連接的兩個相對設(shè)置的夾持臂，每一所述夾持臂上集成有兩個壓阻傳感器，所述的四個壓阻傳感器組成一全橋檢測結(jié)構(gòu)，所述驅(qū)動元件運(yùn)動帶動橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)變形，所述橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)變形帶動杠桿放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動，所述杠桿放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動帶動夾持臂松開或夾緊夾持對象。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的壓電驅(qū)動式微夾持器，其特征在于所述的橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)、杠桿放大機(jī)構(gòu)以及鉸鏈連接機(jī)構(gòu)一體成型。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的壓電驅(qū)動式微夾持器，其特征在于所述的夾持臂與杠桿放大機(jī)構(gòu)通過粘接方式連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的壓電驅(qū)動式微夾持器，其特征在于還包括位于第一弧形梁與第二弧形梁之間的第一定位端與第二定位端以及與所述第一定位端一體連接的基部，所述驅(qū)動元件安裝于所述第一定位端與第二定位端之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電驅(qū)動式微夾持器，其特征在于所述第一弧形梁與第二弧形梁的一端與基部連接，另一端與第二定位端連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電驅(qū)動式微夾持器，其特征在于所述第一懸臂梁及第二懸臂梁的固定端連接所述基部，自由端連接所述夾持臂。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的壓電驅(qū)動式微夾持器，其特征在于所述驅(qū)動元件為壓電陶瓷塊。
專利摘要一種壓電驅(qū)動式微夾持器，其包括壓電驅(qū)動部分與檢測夾持部分，所述壓電驅(qū)動部分包括驅(qū)動元件、橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)、杠桿放大機(jī)構(gòu)以及鉸鏈連接機(jī)構(gòu)，所述橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)包括對稱設(shè)置的第一弧形梁及第二弧形梁，所述杠桿放大機(jī)構(gòu)包括第一懸臂梁及第二懸臂梁，所述驅(qū)動元件運(yùn)動帶動橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)變形，所述橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)變形帶動杠桿放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動，所述檢測夾持部分包括兩個相對設(shè)置的夾持臂，每一所述夾持臂上集成有兩個壓阻傳感器，所述的四個壓阻傳感器組成一全橋檢測結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型通過橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)和杠桿放大機(jī)構(gòu)的二次放大，實(shí)現(xiàn)足夠大的夾持器張合量；同時，借助四個壓阻傳感器組成一全橋檢測結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了夾持力的精確反饋。
文檔編號B25J7/00GK202438997SQ20122005476
公開日2012年9月19日 申請日期2012年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月20日
發(fā)明者劉吉柱, 孫立寧, 楊薇薇, 汝長海, 潘明強(qiáng), 王蓬勃, 袁飛, 陳濤, 陳立國, 黃海波 申請人:蘇州大學(xué)