本實(shí)用新型涉及一種低成本柔順并聯(lián)微動(dòng)平臺(tái)，屬于先進(jìn)制造中的精密技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，在現(xiàn)階段精密定位技術(shù)的相關(guān)研究中,常用到由柔順機(jī)構(gòu)作為執(zhí)行器的微動(dòng)平臺(tái)。但微動(dòng)平臺(tái)雖擁有非常高的定位精度,但是成本較高。通常情況下，為了實(shí)現(xiàn)微動(dòng)平臺(tái)精密定位的要求，通常需要高性能驅(qū)動(dòng)器及其控制系統(tǒng)。因此，通過設(shè)計(jì)一種低成本柔順并聯(lián)微動(dòng)平臺(tái)，由成本較低的微調(diào)螺紋副對(duì)微動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，既實(shí)現(xiàn)了較小位移的精密輸出，同時(shí)也降低了微動(dòng)平臺(tái)的成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種既能實(shí)現(xiàn)較小位移的精密輸出，同時(shí)也能降低成本的柔順并聯(lián)微動(dòng)平臺(tái)。其技術(shù)方案為：

一種低成本柔順并聯(lián)微動(dòng)平臺(tái)，包括固定平臺(tái)（2）、微動(dòng)平臺(tái)（4）和微調(diào)螺紋副（1）,其特征在于：三個(gè)微調(diào)螺紋副（1）安裝在固定平臺(tái)（2）上，連接固定平臺(tái)（2）與微動(dòng)平臺(tái)（4）的三條支鏈呈120度均勻分布，在每條支鏈中，連桿a（8）通過直圓柔性鉸鏈a（9）與微動(dòng)平臺(tái)（4）相連接，連桿a（8）的另一端與連桿b（6）通過直圓柔性鉸鏈b（7）連接，連桿b（6）的另一端與折疊簧片（5）相聯(lián)接，連桿b（6）的兩側(cè)面通過直線導(dǎo)向機(jī)構(gòu)平行四桿柔鉸（3）與固定平臺(tái)（2）聯(lián)接為一體，微調(diào)螺紋副（1）與固定平臺(tái)（2）通過螺紋聯(lián)接相連接，微調(diào)螺紋副（1）的安裝中心與折疊簧片（5）的受力中心在同一中心軸線上。

在一些實(shí)施方式中，微動(dòng)平臺(tái)（4）通過低成本的微調(diào)螺紋副（1）的驅(qū)動(dòng)作用實(shí)現(xiàn)微位移的精密輸出，既實(shí)現(xiàn)了較小位移的精密輸出，同時(shí)也降低了微動(dòng)平臺(tái)的成本。

其工作原理為：安裝在微動(dòng)平臺(tái)上受力處的折疊簧片具有位移縮小的作用，通過其位移縮小作用，可以實(shí)現(xiàn)宏觀的輸入獲得微觀的輸出，從而保證微動(dòng)平臺(tái)的精度，安裝在固定平臺(tái)上的三個(gè)微調(diào)螺紋副在控制系統(tǒng)的控制下通過施加不同的作用力實(shí)現(xiàn)微位移的精密輸出，既實(shí)現(xiàn)了較小位移的精密輸出，同時(shí)也降低了微動(dòng)平臺(tái)的成本。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其優(yōu)點(diǎn)在于：

通過折疊簧片的位移縮放作用，平行四桿柔鉸作為位移導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，使用成本較低的微調(diào)螺紋副進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的低成本柔順并聯(lián)微動(dòng)平臺(tái)，在該平臺(tái)中，通過折疊簧片的位移縮放，將低成本驅(qū)動(dòng)器的宏觀輸入位移進(jìn)行比例縮小，實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的微觀輸出，在保證精度的同時(shí)，也降低了微動(dòng)平臺(tái)的成本。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的微動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的微動(dòng)平臺(tái)折疊簧片放大示意圖；

圖中：1、微調(diào)螺紋副 2、固定平臺(tái) 3、平行四桿柔鉸 4、微動(dòng)平臺(tái) 5、折疊簧片6、連桿b 7、直圓柔性鉸鏈b 8、連桿a 9、直圓柔性鉸鏈a

具體實(shí)施方式：

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。

一種低成本柔順并聯(lián)微動(dòng)平臺(tái)，包括固定平臺(tái)（2）、微動(dòng)平臺(tái)（4）和低成本的微調(diào)螺紋副（1）,其特征在于：三個(gè)微調(diào)螺紋副（1）安裝在固定平臺(tái)（2）上，連接固定平臺(tái)（2）與微動(dòng)平臺(tái)（4）的三條支鏈呈120度均勻分布，在每條支鏈中，連桿a（8）通過直圓柔性鉸鏈a（9）與微動(dòng)平臺(tái)（4）相連接，連桿a（8）的另一端與連桿b（6）通過直圓柔性鉸鏈b（7）連接，連桿b（6）的另一端與折疊簧片（5）相聯(lián)接，連桿b（6）的兩側(cè)面通過直線導(dǎo)向機(jī)構(gòu)平行四桿柔鉸（3）與固定平臺(tái)（2）聯(lián)接為一體，所述微調(diào)螺紋副（1）與固定平臺(tái)（2）通過螺紋聯(lián)接相連接，微調(diào)螺紋副（1）的安裝中心與折疊簧片（5）的受力中心在同一中心軸線上。

微動(dòng)平臺(tái)（4）受到三條相同結(jié)構(gòu)的支鏈約束，實(shí)現(xiàn)平面內(nèi)x,y兩個(gè)互相垂直上的平動(dòng)和繞z軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，由于采用完全相同的運(yùn)動(dòng)鏈，平臺(tái)具有良好的各向同性。

微動(dòng)平臺(tái)（4）通過低成本的微調(diào)螺紋副（1）的驅(qū)動(dòng)作用實(shí)現(xiàn)微位移的精密輸出，既實(shí)現(xiàn)了較小位移的精密輸出，同時(shí)也降低了微動(dòng)平臺(tái)的成本。