本發(fā)明涉及液體排出裝置、液體排出方法以及物品制造方法。
背景技術(shù):
1、近年來,在制造各種功能元件時(shí),嘗試著利用噴墨裝置(液體排出裝置)將功能元件的材料賦予到基板上來形成圖案(圖案化)。使用了噴墨裝置的圖案化具有以下優(yōu)點(diǎn):由于能實(shí)現(xiàn)按需圖案化,所以材料的使用效率高;由于是非真空加工,所以制造裝置比較小型;能大面積地高速賦予材料等。
2、正在考慮將這樣的噴墨裝置應(yīng)用到顯示裝置的制造過程中。在顯示裝置中,提出了各種顯示方式,尤其是正在進(jìn)行使用了有機(jī)el元件的顯示裝置的開發(fā)。有機(jī)el元件的材料由于價(jià)格昂貴,所以,材料的使用效率高且能大面積地高速賦予材料的噴墨裝置適合于有機(jī)el元件的制造。
3、另外,近年來,為了應(yīng)對(duì)有機(jī)el元件的材料中的紅(r)、綠(g)、藍(lán)(b)各顏色的發(fā)光效率的差異,正在開發(fā)按照rgb使像素的寬度(像素寬度)不同的有機(jī)el顯示器。在制造這樣的有機(jī)el顯示器的場(chǎng)合,需要根據(jù)rgb的像素寬度來變更從噴墨裝置排出的液體(各顏色的墨水)的量。具體來講,需要對(duì)于像素寬度窄的像素排出少量的液體,對(duì)于像素寬度寬的像素排出大量的液體。另一方面,若rgb的像素寬度不同,則對(duì)于各像素而言噴墨裝置所要求的液體的排出精度(著落精度)不同,對(duì)于像素寬度窄的像素,需要有比像素寬度寬的像素更高的排出精度。
4、在噴墨裝置中,例如若從排出頭的第1噴嘴排出液體,則壓力波在液室傳播,會(huì)發(fā)生液體從第1噴嘴近旁的第2噴嘴的排出變得不穩(wěn)定的串?dāng)_現(xiàn)象。串?dāng)_現(xiàn)象在使排出頭的各噴嘴的排出精度提高的方面成為較大課題,用于降低串?dāng)_現(xiàn)象的影響的技術(shù)在日本特開2003-266666號(hào)公報(bào)有過提及。在日本特開2003-266666號(hào)公報(bào)中公開了以下技術(shù):通過將排出液體的噴嘴分成多次掃描,從而降低串?dāng)_現(xiàn)象的影響。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、發(fā)明所要解決的課題
2、但是,在以往技術(shù)中,雖然能降低串?dāng)_的影響,但另一方面卻存在著掃描次數(shù)增加而導(dǎo)致生產(chǎn)率降低的可能性。
3、本發(fā)明提供有利于確定使基板相對(duì)于排出頭相對(duì)地掃描的掃描次數(shù)的技術(shù)。
4、用于解決課題的方案
5、作為本發(fā)明的一個(gè)方面的液體排出裝置,該液體排出裝置對(duì)基板排出液體,該基板用于制造具有多個(gè)像素的顯示器面板,其特征在于,上述液體排出裝置具有:排出頭,該排出頭排出上述液體;驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)于上述排出頭相對(duì)地驅(qū)動(dòng)上述基板;以及控制部,該控制部控制上述排出頭以及上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),以便一邊多次地進(jìn)行使上述基板相對(duì)于上述排出頭在第1方向相對(duì)地掃描的掃描驅(qū)動(dòng),一邊在各掃描驅(qū)動(dòng)中向上述基板上成為像素區(qū)域的目標(biāo)區(qū)域供給上述液體,上述排出頭包括在與上述第1方向交叉的第2方向排列而用以排出上述液體的多個(gè)噴嘴,上述控制部基于與上述目標(biāo)區(qū)域的上述第1方向的寬度相關(guān)的寬度信息以及與上述多個(gè)噴嘴之中能同時(shí)使用的噴嘴間的上述第2方向上的距離相關(guān)的距離信息,確定應(yīng)進(jìn)行上述掃描驅(qū)動(dòng)的掃描次數(shù),以便向上述目標(biāo)區(qū)域供給預(yù)定量的上述液體。
6、作為本發(fā)明的另一方面的液體排出方法,該液體排出方法使用液體排出裝置,該液體排出裝置具有對(duì)基板排出液體的排出頭,該基板用于制造具有多個(gè)像素的顯示器面板,其特征在于,上述液體排出方法具有以下工序:一邊多次地進(jìn)行使上述基板相對(duì)于上述排出頭在第1方向相對(duì)地掃描的掃描驅(qū)動(dòng),一邊在各掃描驅(qū)動(dòng)中向上述基板上成為像素區(qū)域的目標(biāo)區(qū)域供給上述液體,上述排出頭包括在與上述第1方向交叉的第2方向排列而用以排出上述液體的多個(gè)噴嘴,在上述工序之前,基于與上述目標(biāo)區(qū)域的上述第1方向的寬度相關(guān)的寬度信息以及與上述多個(gè)噴嘴之中能同時(shí)使用的噴嘴間的上述第2方向上的距離相關(guān)的距離信息,確定應(yīng)進(jìn)行上述掃描驅(qū)動(dòng)的掃描次數(shù),以便向上述目標(biāo)區(qū)域供給預(yù)定量的上述液體。
7、作為本發(fā)明的再一方面的物品制造方法,其特征在于,上述物品制造方法具有:使用上述的液體排出裝置向基板排出液體的工序;對(duì)被排出有上述液體的上述基板進(jìn)行加工的工序;以及從加工出的上述基板制造物品的工序。
8、本發(fā)明的進(jìn)一步的目的或者其他的方面將會(huì)在以下根據(jù)參照附圖進(jìn)行說明的實(shí)施方式而變得明了。
9、發(fā)明的效果
10、根據(jù)本發(fā)明,例如可提供有利于確定使基板相對(duì)于排出頭相對(duì)地掃描的掃描次數(shù)的技術(shù)。
1.一種液體排出裝置,該液體排出裝置對(duì)基板排出液體,該基板用于制造具有多個(gè)像素的顯示器面板,其特征在于,
2.如權(quán)利要求1所述的液體排出裝置,其特征在于,
3.如權(quán)利要求2所述的液體排出裝置,其特征在于,
4.如權(quán)利要求2所述的液體排出裝置,其特征在于,
5.如權(quán)利要求1所述的液體排出裝置,其特征在于,
6.如權(quán)利要求1所述的液體排出裝置,其特征在于,
7.如權(quán)利要求1所述的液體排出裝置,其特征在于,
8.如權(quán)利要求7所述的液體排出裝置,其特征在于,
9.如權(quán)利要求1所述的液體排出裝置,其特征在于,
10.如權(quán)利要求2所述的液體排出裝置,其特征在于,
11.如權(quán)利要求10所述的液體排出裝置,其特征在于,
12.一種液體排出方法,該液體排出方法使用液體排出裝置,該液體排出裝置具有對(duì)基板排出液體的排出頭,該基板用于制造具有多個(gè)像素的顯示器面板,其特征在于,
13.一種物品制造方法,其特征在于,