專利名稱：光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于深紫外投影光刻物鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計與像差補(bǔ)償領(lǐng)域，具體涉及光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
投影光刻裝備是大規(guī)模集成電路制造エ藝中的關(guān)鍵設(shè)備，近年來隨著集成電路線寬精細(xì)程度的不斷提高，投影光學(xué)裝備的分辨率亦逐漸提高，目前波長193. 368nm的ArF準(zhǔn)分子激光器投影光刻裝備已成為90nm、65nm和45nm節(jié)點集成電路制造的主流裝備。投影光刻物鏡裝調(diào)及使用過程中，為滿足良好的光學(xué)系統(tǒng)性能，要求其內(nèi)部透鏡面形RMS值大都在f 2nm范圍內(nèi)，同時要求其工作過程中受高能激光照射時引起的鏡片熱面形RMS控制在I 2nm范圍內(nèi)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決光刻投影物鏡光學(xué)透鏡高精度支撐問題，提出一種整體徑向撓性、全弾片支撐的光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)。光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)，包括鏡框和三個調(diào)整頂絲，所述鏡框內(nèi)環(huán)上具有若干弾片，且鏡框和若干彈片為整體式結(jié)構(gòu)；所述三個調(diào)整頂絲在鏡框內(nèi)環(huán)上周向均勻設(shè)置。所述彈片與光學(xué)透鏡接觸部位的形狀與光學(xué)透鏡下表面接觸部位的形狀相適應(yīng)，兩者之間為面接觸。本發(fā)明的有益效果是所述鏡框通過其內(nèi)環(huán)上的若干弾片支撐透鏡，鏡框和若干彈片為整體式結(jié)構(gòu)，當(dāng)透鏡由于熱載荷等膨脹吋，由于鏡框結(jié)構(gòu)整體上在徑向上存在一定的撓性，因此當(dāng)鏡片膨脹收縮時能夠順應(yīng)性得伸縮；透鏡裝調(diào)吋，首先將透鏡放置在若干彈片上，通過周向均勻分布的三個調(diào)整頂絲對透鏡進(jìn)行調(diào)心，然后通過膠粘將透鏡和鏡框固定，最后再將三個調(diào)整頂絲擰出；從而實現(xiàn)光學(xué)透鏡高精度支撐。


圖I為本發(fā)明光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明所述的鏡框結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明所述的另ー鏡框結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖I所示，光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)，包括鏡框2和三個調(diào)整頂絲3，鏡框2內(nèi)環(huán)上具有若干弾片2-1，且鏡框2和若干弾片2-1為整體式結(jié)構(gòu)；三個調(diào)整頂絲3在鏡框2內(nèi)環(huán)上周向均勻設(shè)置。鏡框2通過其內(nèi)環(huán)上的一圈彈片2-1支撐光學(xué)透鏡1，鏡框2和一圈彈片2-1為整體式結(jié)構(gòu)，可通過慢走絲線切割的方式進(jìn)行加工。當(dāng)光學(xué)透鏡I由于熱載荷等膨脹吋，由于鏡框結(jié)構(gòu)整體上在徑向上存在一定的撓性，因此鏡框2在光學(xué)透鏡I膨脹收縮時能適應(yīng)性地伸縮。弾片2-1沿周向均布，其與鏡片接觸處的形狀依據(jù)光學(xué)透鏡I下表面接觸部位的形狀確定。如圖2所示，當(dāng)鏡片接觸面為平面吋，弾片接觸面也為平面；如圖3所示，當(dāng)鏡片接觸面為球面時，弾片接觸面也相應(yīng)地為球面；當(dāng)鏡片接觸面為非球面時，弾片接觸面也相應(yīng)地為非球面。裝調(diào)時，首先將光學(xué)透鏡I放置在 若干弾片2-1上，通過周向均勻分布的三個調(diào)整頂絲3對光學(xué)透鏡I進(jìn)行調(diào)心，然后通過膠粘將光學(xué)透鏡I和鏡框2固定，最后再將三個調(diào)整頂絲3擰出。
權(quán)利要求
1.光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)，包括鏡框(2)和三個調(diào)整頂絲(3)，其特征在于，所述鏡框(2)內(nèi)環(huán)上具有若干弾片(2-1)，且鏡框(2)和若干弾片(2-1)為整體式結(jié)構(gòu)；所述三個調(diào)整頂絲(3)在鏡框(2)內(nèi)環(huán)上周向均勻設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彈片(2-1)與光學(xué)透鏡(I)接觸部位的形狀與光學(xué)透鏡(I)下表面接觸部位的形狀相適應(yīng)，兩者之間為面接觸。
全文摘要
光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)，屬于深紫外投影光刻物鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計與像差補(bǔ)償領(lǐng)域，為解決光刻投影物鏡光學(xué)透鏡高精度支撐問題，光學(xué)透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)，包括鏡框和三個調(diào)整頂絲，所述鏡框內(nèi)環(huán)上具有若干彈片，且鏡框和若干彈片為整體式結(jié)構(gòu)；所述三個調(diào)整頂絲在鏡框內(nèi)環(huán)上周向均勻設(shè)置；所述彈片與光學(xué)透鏡接觸部位的形狀與光學(xué)透鏡下表面接觸部位的形狀相適應(yīng)，兩者之間為面接觸；透鏡裝調(diào)時，首先將透鏡放置在若干彈片上，通過周向均勻分布的三個調(diào)整頂絲對透鏡進(jìn)行調(diào)心，然后通過膠粘將透鏡和鏡框固定，最后再將三個調(diào)整頂絲擰出；從而實現(xiàn)光學(xué)透鏡高精度支撐。
文檔編號G03F7/20GK102854596SQ20121031285
公開日2013年1月2日 申請日期2012年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月29日
發(fā)明者趙磊, 鞏巖 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所