本發(fā)明涉及一種用于液晶顯示裝置等的光學(xué)元件的制造方法,具體為包含形成于基板上的具有各向異性的光學(xué)膜及其保護(hù)層的光學(xué)元件的制造方法。進(jìn)一步地為具備使用上述制造方法獲得光學(xué)元件和上述光學(xué)元件的圖像顯示裝置。
背景技術(shù):
:LCD(液晶顯示器)中為了控制顯示中的旋光性和雙折射性,使用直線偏振光片和圓偏振光片。OLED(有機(jī)EL元件)中為了防止外部光線的反射,也在使用圓偏振光片。迄今為止,這些偏振光片(光學(xué)元件)中,一直廣泛使用著使碘或具有二向色性的有機(jī)色素溶解或吸附于通過(guò)在聚乙烯醇等高分子材料,并將該膜在一個(gè)方向上拉伸為薄膜狀,使碘或具有二向色性的有機(jī)色素發(fā)生取向而獲得的偏振光片。然而,這樣制造的現(xiàn)有的具有各向異性的光學(xué)膜,依據(jù)使用的色素和高分子材料不同,而具有耐熱性或耐光性不充分、制造液晶裝置時(shí)的偏振光片貼合的成品率差等問(wèn)題。為解決這些問(wèn)題,人們研究了通過(guò)在玻璃或透明薄膜等基材上,在施加剪切力的同時(shí)涂布含有二向色性色素的溶液,使二向色性色素進(jìn)行取向,制造具有各向異性的光學(xué)膜的方法(專利文獻(xiàn)1~8)。另一方面,人們進(jìn)行著從1片基板母材上切出多個(gè)用于液晶單元的基板的操作。這種情況下,在基板上形成多個(gè)形狀化(圖案化)為規(guī)定的圖案后的具有各向異性的光學(xué)膜,將其分別分割作為基板使用。專利文獻(xiàn)3中公開(kāi)了如下的方法:通過(guò)在基板上涂布設(shè)置的含有二向色性色素的膜上,采用噴墨法等部分賦予不溶化液體并進(jìn)行清洗,從而在基板上形成多個(gè)形狀化為規(guī)定的圖案后的含有二向色性色素的膜。專利文獻(xiàn)9中公開(kāi)了使用二向色性色素的水溶液作為墨水,對(duì)所得的膜直接或間接地在單元內(nèi)側(cè)進(jìn)行印刷,形成具有各向異性的光學(xué)膜的方法。公開(kāi)了在不溶化后的具有各向異性的光學(xué)膜上,對(duì)聚酰亞胺的液晶用取向膜通過(guò)柔性印刷進(jìn)行圖案形成·燒成,之后通過(guò)蝕刻·清洗將具有各向異性的光學(xué)膜溶解并除去。公開(kāi)了由于具有各向異性的光學(xué)膜位于玻璃基板的內(nèi)側(cè)而被玻璃基板保護(hù),因此無(wú)需進(jìn)行為了不易對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜造成損傷的硬涂層處理和靜電的防靜電處理等。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本專利特表平8-511109號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本專利特開(kāi)2008-69300號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本專利特開(kāi)2004-348043號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:日本專利特開(kāi)2002-277636號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5:日本專利特開(kāi)2007-272211號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6:日本專利特開(kāi)2007-186428號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)7:日本專利特表2001-504238號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)8:日本專利特開(kāi)2006-48078號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)9:日本專利特表2004-534283號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)10:日本專利特開(kāi)2008-233819號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:發(fā)明所解決的課題在制造包含具有各向異性的光學(xué)膜的光學(xué)元件時(shí),使用從1片基板母材切出多個(gè)用于液晶單元的基板的方法。這種情況下,較多的情況是:在基板上形成多個(gè)形成規(guī)定的圖案的形狀后的具有各向異性的光學(xué)膜,將其分別分割,作為基板進(jìn)行使用。此外,作為在基板的內(nèi)表面?zhèn)壬暇邆渚哂懈飨虍愋缘墓鈱W(xué)膜的In-Cell型液晶顯示裝置而使用時(shí),具有各向異性的光學(xué)膜是在預(yù)先將電極和濾色器等設(shè)置于液晶單元內(nèi)的各個(gè)層在基板上層疊后,形成為向基板呈凸?fàn)畹牟糠?階梯結(jié)構(gòu)部分)。然而,使用專利文獻(xiàn)1~8等所記載的方法在整個(gè)基板母材上涂布含有二向色性色素的溶液時(shí),由于將該溶液涂布至上述的階梯結(jié)構(gòu)之外的部分、即不需要涂布的部分為止,因此,涂布后必須進(jìn)行除去不需要的部分的作業(yè)。作為從1片基板母材上切出多個(gè)用于液晶單元的基板的方法,例如可考慮使用間歇涂布方法僅選擇規(guī)定的圖案,涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物。然而,如果為了高效率地從1片基板母材切出液晶單元用基板而將間歇涂布的間隔縮短,則存在以下問(wèn)題:難以控制用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的排出,產(chǎn)生涂布缺陷,不能獲得光學(xué)上均勻的具有各向異性的光學(xué)膜,繼而不能獲得光學(xué)性均勻的光學(xué)元件。當(dāng)使用專利文獻(xiàn)1和2等所記載的方法在整個(gè)基板母材涂布含有二向色性色素的溶液時(shí),會(huì)涂布至規(guī)定的圖案形狀之外的部分、即不需要涂布的部分為止。因此,有必要在涂布后進(jìn)行削除不需要的部分的作業(yè),但對(duì)于該削除作業(yè),尚未從圖案形狀的精度和生產(chǎn)率的角度充分地進(jìn)行研究。雖然公開(kāi)有如專利文獻(xiàn)3所述地通過(guò)用噴墨法等部分賦予不溶化液體并進(jìn)行清洗,從而在基板上形成多個(gè)形狀化為規(guī)定圖案的方法,但處理速度緩慢,不適于使用大型基板形成多個(gè)圖案。此外,因?yàn)椴蝗苄蕴幚硭俣染徛?,所以在賦予不溶化液體之后清洗具有各向異性的光學(xué)膜為止需要時(shí)間,趨于容易發(fā)生由具有各向異性的光學(xué)膜上的不溶化液干燥引起的具有各向異性的光學(xué)膜的裂紋和破裂等。此外,在賦予不溶化液后對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜設(shè)置保護(hù)層等時(shí),需要進(jìn)行設(shè)置保護(hù)層的工序和對(duì)保護(hù)層進(jìn)行圖案形成的工序等,存在制造工序變復(fù)雜的問(wèn)題。專利文獻(xiàn)9中,在不溶化后的具有各向異性的光學(xué)膜上,將聚酰亞胺的液晶用取向膜進(jìn)行柔性印刷,由此進(jìn)行圖案形成·燒成。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn):具有各向異性的光學(xué)膜即使在不溶化后,也容易溶解于聚酰亞胺溶液(N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)等)中,產(chǎn)生具有各向異性的光學(xué)膜的溶解、剝離等和偏振光功能的降低。此外,本發(fā)明人發(fā)現(xiàn):在使用專利文獻(xiàn)9所記載的方法時(shí),在形成圖案后,為了將聚酰亞胺進(jìn)行亞酰胺化,需要在高溫下進(jìn)行燒成,對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜、基板等帶來(lái)影響。對(duì)于這一點(diǎn),即使在作為聚酰亞胺樹(shù)脂使用紫外線固化型聚酰亞胺時(shí),也需要300℃左右的亞酰胺化工序(專利文獻(xiàn)10),因此存在同樣的問(wèn)題。本發(fā)明為解決如上所述的技術(shù)問(wèn)題而完成,其目的在于提供一種在基板上包含具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層的光學(xué)元件的制造方法,該制造方法使上述光學(xué)膜的圖案化變得容易,此外,使上述光學(xué)膜和保護(hù)膜為尺寸精度優(yōu)異、無(wú)涂布缺陷的均勻的膜,進(jìn)而不受在制造工序中使用的水或溶劑的影響。此外,本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行圖案化的簡(jiǎn)易方法,提供一種上述方法中所得的具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層成為尺寸精度優(yōu)異、無(wú)涂布缺陷的均勻的膜的方法,進(jìn)一步地,也提供一種不受在具有各向異性的光學(xué)膜形成后的制造工序中使用的水或溶劑的影響的光學(xué)元件的制造方法。用于解決課題的方法本發(fā)明人為達(dá)成上述目的而反復(fù)進(jìn)行深入研究的結(jié)果,發(fā)現(xiàn)在光學(xué)元件的制造方法中,通過(guò)用特定的方法將不溶化后的具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層進(jìn)行圖案化,可以解決上述課題,從而完成了本發(fā)明。即,本發(fā)明的主旨如下所述。[1]一種光學(xué)元件的制造方法,其特征在于,所述光學(xué)元件包含:基板、具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層,所述光學(xué)元件的制造方法具有下述(I)工序~(III)工序,(I)在基板上連續(xù)涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物,形成具有各向異性的光學(xué)膜,然后通過(guò)鹽交換對(duì)所述具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行不溶性處理的工序;(II)在所述不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜上涂布感光性樹(shù)脂組合物,形成保護(hù)層的工序;(III)通過(guò)在形成的所述保護(hù)層上設(shè)置掩模并進(jìn)行曝光,采用堿性溶液進(jìn)行顯影,對(duì)所述保護(hù)層和所述不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行圖案化的工序。[2]根據(jù)上述[1]所述的光學(xué)元件的制造方法,其特征在于,所述(III)工序中使用的堿性溶液含有氫氧化鉀和四甲基氫氧化銨中的至少任意一種。[3]根據(jù)上述[1]或[2]所述的光學(xué)元件的制造方法,其特征在于,在所述(III)工序之后,具有下述(IV)工序,(IV)通過(guò)加熱,使圖案化后的所述保護(hù)層熔體流動(dòng)的工序。[4]一種光學(xué)元件,其特征在于,是使用上述[1]~[3]中任意一項(xiàng)所述的制造方法進(jìn)行制造的。[5]一種圖像顯示裝置,其特征在于,具有上述[4]所述的光學(xué)元件。發(fā)明效果依據(jù)本發(fā)明的光學(xué)元件的制造方法,可以簡(jiǎn)易地在基板上進(jìn)行多個(gè)具有各向異性的光學(xué)膜的圖案化。進(jìn)一步地,上述方法中獲得的具有各向異性的光學(xué)膜成為尺寸精度優(yōu)異、無(wú)涂布缺陷的均勻的膜,因此可獲得偏振光性能等優(yōu)異的光學(xué)元件。因此,在切出從1片基板母材劃分出多個(gè)光學(xué)元件并且進(jìn)行分割而成的基板之時(shí)尤其有用,其中光學(xué)元件具備在具有各向異性的光學(xué)膜形成后使用取向膜形成用的溶劑(NMP等)或作為清洗溶劑的水的工序。附圖說(shuō)明[圖1]圖1為實(shí)施例1中所得的光學(xué)元件1的照片。[圖2]圖2為實(shí)施例1中所得的光學(xué)元件1的端部的顯微鏡照片。[圖3]圖3為在具有各向異性的光學(xué)膜的圖案中,表示具有各向異性的光學(xué)膜被浸蝕的狀態(tài)的概略圖。[圖4]圖4為表示使保護(hù)層為熔體流動(dòng)的狀態(tài)的概略圖。[圖5]圖5為表示(VIII)工序的保護(hù)層被顯影除去而露出的具有各向異性的光學(xué)膜的部分的概略圖。[圖6]圖6(a)和圖6(b)為表示(III)工序或(VIII)工序中使具有各向異性的光學(xué)膜被浸蝕的狀態(tài)的概略圖,圖6(a)表示具有各向異性的光學(xué)膜與保護(hù)層的輪廓部在同位置的情況,圖6(b)表示具有各向異性的光學(xué)膜在保護(hù)層的輪廓部的內(nèi)側(cè)的情況。[圖7]圖7為表示(V)工序~(IX)工序的概略圖。[圖8]圖8(a)~圖8(c)為表示參考例5中獲得的光學(xué)元件的偏振光性能的照片,圖8(a)為將2片光學(xué)元件并列放置的照片,圖8(b)為平行重疊的照片,圖8(c)垂直交叉地重疊的照片。符號(hào)說(shuō)明a保護(hù)層被顯影除去而露出的具有各向異性的光學(xué)膜部分1基板2具有各向異性的光學(xué)膜3保護(hù)層4光學(xué)元件具體實(shí)施方式以下對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的代表性的方式進(jìn)行具體說(shuō)明,但本發(fā)明只要不超出其主旨,就不受以下方式的限定。本發(fā)明中,“(甲基)丙烯酸”是指包含丙烯酸和甲基丙烯酸的兩者,“(甲基)丙烯酸酯”、“(甲基)丙烯?!钡纫脖硎就瑯拥暮x。此外,在單體名之前附加“(聚)”的物質(zhì)意味著該單體及該聚合物。本說(shuō)明書(shū)中“重量%”與“質(zhì)量%”、“重量份”與“質(zhì)量份”分別為相同含義。本發(fā)明為包含基板、具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層的光學(xué)元件的制造方法。本發(fā)明所述的制造方法的第一方式至少具有以下的(I)~(III)的工序(下文中,(I)的工序有時(shí)表示為“(I)工序”。此外,與(I)工序同樣地,(II)的工序、(III)的工序等有時(shí)分別表示為“(II)工序”、“(III)工序”等。)。(I)在基板上連續(xù)涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物,形成具有各向異性的光學(xué)膜,然后通過(guò)鹽交換對(duì)所述具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行不溶性處理的工序;(II)在所述不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜上涂布感光性樹(shù)脂組合物,形成保護(hù)層的工序;(III)通過(guò)在形成的所述保護(hù)層上設(shè)置掩模并進(jìn)行曝光,采用堿性溶液進(jìn)行顯影,對(duì)所述保護(hù)層和所述不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行圖案化的工序。本發(fā)明的制造方法若具有(I)工序~(III)工序,按照(I)工序→(II)工序→(III)工序的順序進(jìn)行,則沒(méi)有特別限定,在各個(gè)工序之間,也可具有其他的工序。例如,在(I)工序和(II)工序之間也可具有其他工序。本發(fā)明所述的光學(xué)元件的制造方法的第二方式,至少具有以下的(V)工序~(VIII)工序。(V)在基板上連續(xù)涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物,形成具有各向異性的光學(xué)膜,然后通過(guò)鹽交換對(duì)所述具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行不溶性處理的工序。(VI)在所述不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜上涂布感光性樹(shù)脂組合物,形成保護(hù)層的工序。(VII)經(jīng)曝光和通過(guò)顯影液進(jìn)行的顯影,將上述保護(hù)層進(jìn)行圖案化的工序。(VIII)將保護(hù)層被顯影除去而露出的部分的具有各向異性的光學(xué)膜,與酸性水溶液或堿性水溶液接觸后,進(jìn)行水洗的工序。本發(fā)明的制造方法若具有(V)工序~(VIII)工序,按照(V)工序→(VI)工序→(VII)工序→(VIII)工序的順序進(jìn)行實(shí)施,則沒(méi)有特別限定,在各個(gè)工序之間,也可具有其他的工序。例如,在(V)工序和(VI)工序之間也可具有其他工序。(光學(xué)元件)本發(fā)明的光學(xué)元件包含通過(guò)在基板表面上連續(xù)涂布而獲得的具有各向異性的光學(xué)膜和設(shè)置在具有各向異性的光學(xué)膜上的保護(hù)層。此外,光學(xué)元件并不僅限于具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層,還可以出于提高偏振光性能、提高機(jī)械性強(qiáng)度等目的而具有其他層。此外,本發(fā)明中的圖案(pattern)表示在基板上被排版(面付け)的具有各向異性的光學(xué)膜的形狀圖案,圖案化(patterning)表示形成圖案。此外,輪廓部是指具有各向異性的光學(xué)膜的圖案的外周部。另外,本發(fā)明中的圖案化意指從1片基板母材上切出多個(gè)用于液晶單元的基板時(shí)的、具有各向異性的光學(xué)膜的劃分,但并非受限于此。(基板)作為本發(fā)明的基板,沒(méi)有特別限定,但優(yōu)選為具有良好的表面性狀、接觸角特性和吸水特性的基板。作為形成像這樣的基板的基材,例如可舉出玻璃等無(wú)機(jī)材料和高分子材料。作為高分子材料,可舉出三乙酸酯系樹(shù)脂、丙烯酸系樹(shù)脂、聚酯系樹(shù)脂、聚碳酸酯系樹(shù)脂、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯系樹(shù)脂、三乙酰纖維素系樹(shù)脂、降冰片烯系樹(shù)脂、環(huán)狀聚烯烴系樹(shù)脂、聚酰亞胺系樹(shù)脂、聚氨酯系樹(shù)脂等。這些材料可單獨(dú)使用1種,也可并用2種以上。特別地,優(yōu)選包括含有高分子材料的基材?;宓奈?,通常為5%以下,優(yōu)選為3%以下,更優(yōu)選為1%以下。由于通過(guò)使吸水率不過(guò)大,抑制了用濕式成膜法形成各向異性材料的膜時(shí)的基板的吸濕,因而趨于難以發(fā)生基板的翹曲所引起的涂布缺陷。此外,由于也可抑制用涂布法形成具有各向異性的光學(xué)膜后的基板膨潤(rùn),因而趨于難以發(fā)生光學(xué)缺陷。另外,本實(shí)施方式中的“吸水率”是指采用ASTMD570的試驗(yàn)方法測(cè)定在23℃水中浸漬4小時(shí)之時(shí)的重量變化率的值。從使具有各向異性的光學(xué)膜中所含的色素等各向異性材料更加良好地沿一定方向取向的觀點(diǎn)出發(fā),可以在基板的形成有具有各向異性的光學(xué)膜的面上,預(yù)先設(shè)置取向膜等。關(guān)于取向膜的形成方法,可依照“液晶便覽”(丸善株式會(huì)社,2000年10月30日發(fā)行)226頁(yè)~239頁(yè)等所記載的公知的方法。此外,基板的形狀可為固定尺寸的薄膜狀(片狀),也可為連續(xù)薄膜狀(帶狀)。此外,基板的膜厚通常為0.01mm~3mm,優(yōu)選為0.02mm~2mm?;宓目偼腹饴释ǔ?0%以上,優(yōu)選為85%以上,更優(yōu)選為90%以上。另外,本說(shuō)明書(shū)中的“總透光率”是指使用積分球顏色測(cè)定裝置測(cè)定的值,是擴(kuò)散透射光與平行光線透射光的合計(jì)值。[具有(I)工序、(II)工序和(III)工序的、包含基板、具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層的光學(xué)元件的制造方法]<關(guān)于(I)工序>本發(fā)明的制造方法作為(I)工序具有在基板上連續(xù)涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物,形成具有各向異性的光學(xué)膜,然后通過(guò)鹽交換對(duì)所述具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行不溶性處理的工序。(具有各向異性的光學(xué)膜)具有各向異性的光學(xué)膜是指在從膜的厚度方向和面內(nèi)任意垂直交叉的兩個(gè)方向的立體坐標(biāo)系的共計(jì)三個(gè)方向中所選擇的任意兩個(gè)方向中的電磁學(xué)性質(zhì)上,具有各向異性的光學(xué)膜。作為電磁學(xué)性質(zhì),可舉出吸收、折射等光學(xué)性的性質(zhì),電阻、電容等電學(xué)性質(zhì)。作為具有吸收、折射等光學(xué)各向異性的膜,例如可舉出直線偏振光層、圓偏振光層、相位差膜、導(dǎo)電各向異性膜等。本發(fā)明中的具有各向異性的光學(xué)膜也可適宜作為偏振光層、相位差膜、導(dǎo)電各向異性膜使用,尤其作為偏振光層有用。具有各向異性的光學(xué)膜的膜厚沒(méi)有特別限定,但干燥膜厚優(yōu)選為10nm以上,更優(yōu)選為50nm以上。另一方面,優(yōu)選為3μm以下,更優(yōu)選為1μm以下。通過(guò)使具有各向異性的光學(xué)膜的膜厚在上述范圍,在將后述的(III)工序、(VIII)工序的具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行圖案化時(shí),可確保具有各向異性的光學(xué)膜溶解的范圍,趨于易于控制溶解。進(jìn)一步地,趨于獲得膜內(nèi)色素的均勻取向和均勻的膜厚。(各向異性材料和用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物)用于本發(fā)明的具有各向異性的光學(xué)膜的各向異性材料,若是可呈現(xiàn)上述的各向異性的材料,則沒(méi)有特別限定。此外,由于在基板上采用濕式涂布制作具有各向異性的光學(xué)膜,因此優(yōu)選為含有各向異性材料和溶劑的組合物(下文中有時(shí)稱為“用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物”。)。作為用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的樣態(tài),可為溶液狀,也可為凝膠狀,也可為將各向異性材料分散于溶劑中的狀態(tài)。此外,這些成分之外,還可以根據(jù)需要含有粘合劑樹(shù)脂、單體、固化劑、添加劑等。本文中,從以高取向度形成溶劑蒸發(fā)后形成的具有各向異性的光學(xué)膜的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物是液晶相的狀態(tài)的組合物。另外,本說(shuō)明書(shū)中,是液晶相的狀態(tài)是指《液晶的基礎(chǔ)與應(yīng)用》(松本正一·角田市良著,1991)的1頁(yè)~16頁(yè)中所記載的狀態(tài)。尤其優(yōu)選3頁(yè)所記載的向列相。本文中,各向異性材料只要是可形成具有各向異性的光學(xué)膜的材料即可,可舉出色素等。作為使用色素作為各向異性材料的具有各向異性的光學(xué)膜,可舉出各向異性色素膜。通過(guò)使用色素,趨于獲得電磁學(xué)性質(zhì)優(yōu)異的具有各向異性的光學(xué)膜,尤其可作為偏振光層使用。(色素)作為本發(fā)明的色素,使用二向色性色素。此外,為控制取向,色素優(yōu)選為具有液晶相的色素。本文中,具有液晶相的色素意指在溶劑中表現(xiàn)出溶致液晶性的色素。為通過(guò)涂布形成具有各向異性的光學(xué)膜,本發(fā)明中使用的表現(xiàn)出溶致液晶性的色素優(yōu)選可溶于水或有機(jī)溶劑中,特別優(yōu)選為水溶性。進(jìn)一步優(yōu)選的是《有機(jī)概念圖-基礎(chǔ)與應(yīng)用》(甲田善生著,三共出版,1984年)中定義的無(wú)機(jī)性值小于有機(jī)性值的化合物。另外,水溶性是指室溫下色素在水中通常溶解0.1重量%以上,優(yōu)選溶解1重量%以上。本發(fā)明的色素在不為鹽形態(tài)的游離狀態(tài)下,其分子量?jī)?yōu)選為200以上,特別優(yōu)選為300以上。此外,優(yōu)選為1500以下,特別優(yōu)選為1200以下。此外,本發(fā)明的表現(xiàn)出溶致液晶性的色素可單獨(dú)僅使用1種,也可將2種以上組合使用。作為色素,具體地可舉出偶氮系色素、芪系色素、花青系色素、酞菁系色素、稠合多環(huán)系色素(苝系、惡嗪系)等。這些色素之中,優(yōu)選在具有各向異性的光學(xué)膜中可取得高度地分子排列的偶氮系色素。偶氮系色素是指至少具有1個(gè)以上的偶氮基的色素。從色調(diào)以及制造方面的觀點(diǎn)出發(fā),其一分子中的偶氮基的數(shù)量?jī)?yōu)選為2以上,優(yōu)選為6以下,更優(yōu)選為4以下。本發(fā)明中使用的色素沒(méi)有特別限定,可使用公知的色素。作為色素,例如可舉出日本專利特開(kāi)2006-079030號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2010-168570號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2007-302807號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2008-081700號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)平09-230142號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2007-272211號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2007-186428號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2008-69300號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2009-169341號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2009-161722號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2009-173849號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2010-039154號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2010-180314號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2010-266769號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2010-031268號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2011-012152號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2011-016922號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2010-100059號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2011-141331號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2011-190313號(hào)公報(bào)、日本專利特表平08-511109號(hào)公報(bào)、日本專利特表2001-504238號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2006-48078號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2006-98927號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2006-193722號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2006-206878號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2005-255846號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2007-145995號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2007-126628號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2008-102417號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2012-194357號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2012-194297號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2011-034061號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2009-110902號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2011-100059號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2012-194365號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2011-016920號(hào)公報(bào)等所記載的色素。本發(fā)明中使用的色素可以直接以游離酸的形態(tài)使用,可以是酸基的一部分為鹽的形態(tài)的色素。此外,也可同時(shí)存在鹽形態(tài)的色素和游離酸形態(tài)的色素。制造時(shí)以鹽形態(tài)獲得色素的情況下,可以直接進(jìn)行使用,也可以變換成所期望的鹽形態(tài)(鹽交換)。鹽交換的方法可以任意使用公知的方法,例如可舉出以下的方法。1)在以鹽形態(tài)獲得的色素的水溶液中添加鹽酸等強(qiáng)酸,使色素以游離酸的形態(tài)進(jìn)行酸析后,用具有所期望的平衡離子的堿性溶液(例如氫氧化鋰水溶液)中和色素酸性基團(tuán),進(jìn)行鹽交換的方法。2)在以鹽形態(tài)獲得的色素的水溶液中,添加大量過(guò)剩的具有所期望的平衡離子的中性鹽(例如氯化鋰),以鹽析餅的形態(tài)進(jìn)行鹽交換的方法。3)對(duì)于以鹽形態(tài)獲得的色素的水溶液,采用強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂進(jìn)行處理,使色素以游離酸的形態(tài)進(jìn)行酸析后,用具有所期望的平衡離子的堿性溶液(例如氫氧化鋰水溶液)中和色素酸性基團(tuán),進(jìn)行鹽交換的方法。4)使以鹽形態(tài)獲得的色素的水溶液作用于預(yù)先用具有所期望的平衡離子的堿性溶液(例如氫氧化鋰水溶液)進(jìn)行處理的強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂,進(jìn)行鹽交換的方法。此外,本發(fā)明中使用的色素所具有的酸性基團(tuán)是成為游離酸形態(tài)還是成為鹽形態(tài),取決于色素的pKa和色素水溶液的pH。作為上述的鹽形態(tài)的例子,可舉出Na、Li、K等堿金屬的鹽、可被烷基或羥烷基取代的銨鹽、有機(jī)胺的鹽等。作為有機(jī)胺的例子,可舉出碳原子數(shù)1~6的低級(jí)烷基胺、被羥基取代的碳原子數(shù)1~6的低級(jí)烷基胺、被羧基取代的碳原子數(shù)1~6的低級(jí)烷基胺等。在這些鹽形態(tài)的情況下,其種類并不限于1種,而是可同時(shí)存在多種。此外,本發(fā)明中,色素可單獨(dú)進(jìn)行使用,也可以將并用兩種以上的這些化合物,此外,也可以不使取向降低的程度混合上述例示的色素以外的色素進(jìn)行使用。由此可以制作具有各種色相的具有各向異性的光學(xué)膜。作為混合其他的色素時(shí)的用于混合的色素的例子,可舉出C.I.直接黃12、C.I.直接黃34、C.I.直接黃86、C.I.直接黃142、C.I.直接黃132、C.I.酸性黃25、C.I.直接橙39、C.I.直接橙72、C.I.直接橙79、C.I.酸性橙28、C.I.直接紅39、C.I.直接紅79、C.I.直接紅81、C.I.直接紅83、C.I.直接紅89、C.I.酸性紅37、C.I.直接紫9、C.I.直接紫35、C.I.直接紫48、C.I.直接紫57、C.I.直接藍(lán)1、C.I.直接藍(lán)67、C.I.直接藍(lán)83、C.I.直接藍(lán)90、C.I.直接綠42、C.I.直接綠51、C.I.直接綠59等。(用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的溶劑)作為溶劑適宜的有水、具有水混溶性的有機(jī)溶劑或者它們的混合物。作為有機(jī)溶劑的具體例,可舉出甲醇、乙醇、異丙醇、醇、甘油等醇類,乙二醇、二乙二醇等二元醇類,甲基溶纖劑、乙基溶纖劑等溶纖劑類等。這些可單獨(dú)使用,也可以混合2種以上進(jìn)行使用。(用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物中的各向異性材料的濃度)用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物中的各向異性材料的濃度根據(jù)具有各向異性的光學(xué)膜的成膜條件而不同,但優(yōu)選為0.01重量%以上,更優(yōu)選為0.1重量%以上,優(yōu)選為50重量%以下,更優(yōu)選為30重量%以下。通過(guò)使各向異性材料濃度在上述范圍,獲得能夠進(jìn)行均勻的薄膜涂布的用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的粘度,并且各向異性材料趨于不會(huì)析出。此外,趨于在具有各向異性的光學(xué)膜中獲得充分的二向色比等各向異性。(用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的添加劑)在用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物中,可進(jìn)一步根據(jù)需要混合表面活性劑、流平劑、偶聯(lián)劑、pH調(diào)節(jié)劑等添加劑。有通過(guò)添加劑而提高潤(rùn)濕性、涂布性等的情況。作為表面活性劑,可以使用陰離子性、陽(yáng)離子性和非離子性中的任意種。其添加濃度沒(méi)有特別限定,但在用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物中的濃度通常為0.05重量%以上,優(yōu)選為0.5重量%以下。通過(guò)使其在該范圍,可獲得表面活性劑的添加效果,并且趨于不阻礙色素分子的取向。出于抑制用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物中的各向異性材料的成鹽或凝集等不穩(wěn)定性等目的,也可以在混合用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的構(gòu)成成分之前、之后或混合中的任一情況下,添加公知的酸/堿等pH調(diào)節(jié)劑。另外,在上述之外,作為添加劑可使用“涂布用添加劑(AdditiveforCoating)”,J.Bieleman編,Willey-VCH(2000)所記載的公知的添加劑。(具有各向異性的光學(xué)膜的涂布方法)本發(fā)明的具有各向異性的光學(xué)膜的涂布方法若是連續(xù)涂布,則沒(méi)有特別限定。本發(fā)明中所謂連續(xù)涂布不是指各個(gè)圖案的間歇涂布,而是指連續(xù)地對(duì)應(yīng)構(gòu)成多個(gè)圖案(劃分)的區(qū)域進(jìn)行涂布。即使在基板上設(shè)置多個(gè)圖案的情況下,也可一次地進(jìn)行連續(xù)涂布,沒(méi)有必要按多個(gè)圖案各個(gè)分開(kāi)進(jìn)行涂布。作為將用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物進(jìn)行連續(xù)涂布而形成具有各向異性的光學(xué)膜的方法,沒(méi)有特別限定,例如可舉出用原崎勇次著《涂布工學(xué)(コーティング工學(xué))》(株式會(huì)社朝倉(cāng)書(shū)店,1971年3月20日發(fā)行)253頁(yè)~277頁(yè)所記載的方法、市村國(guó)宏主編的《分子協(xié)調(diào)材料的創(chuàng)制和應(yīng)用(分子協(xié)調(diào)材料の創(chuàng)製と応用)》(株式會(huì)社CMC出版,1998年3月3日發(fā)行)118頁(yè)~149頁(yè)所記載的方法、以狹縫模具涂布法、旋涂法、噴涂法、棒涂法、輥涂法、刮刀涂布法、簾式涂布法、噴注(fountain)法、浸漬法等進(jìn)行涂布的方法。其中,狹縫模具涂布法由于趨于獲得高均勻性的具有各向異性的光學(xué)膜,因而優(yōu)選。涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物時(shí)的、用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的供給方法、供給間隔沒(méi)有特別限定。由于存在涂布液的供給操作變繁雜、或涂布液的開(kāi)始時(shí)和結(jié)束時(shí)涂布膜厚產(chǎn)生變動(dòng)等情況,因此在具有各向異性的光學(xué)膜的膜厚較薄時(shí),特別優(yōu)選一邊連續(xù)地供給用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物,一邊進(jìn)行涂布。涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的速度通常為1mm/秒以上,優(yōu)選為5mm/秒以上。此外,通常為1000mm/秒以下,優(yōu)選為800mm/秒以下。通過(guò)使涂布速度為上述范圍,趨于在獲得具有各向異性的光學(xué)膜的各向異性的同時(shí),可進(jìn)行均勻的涂布。另外,用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的涂布溫度通常為0℃以上、80℃以下,優(yōu)選為40℃以下。此外,用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的涂布時(shí)的濕度,優(yōu)選為10%RH以上,更優(yōu)選為30%RH以上,另一方面,優(yōu)選為80RH%以下。(不溶性處理)本發(fā)明中,將在基板上形成具有各向異性的光學(xué)膜之后,將通過(guò)鹽交換使具有各向異性的光學(xué)膜不會(huì)溶解于水中的處理作為不溶性處理。通過(guò)本發(fā)明的不溶性處理,降低了具有各向異性的光學(xué)膜中的色素的溶解性,抑制色素從該具有各向異性的光學(xué)膜中的溶出,可提高具有各向異性的光學(xué)膜的穩(wěn)定性。具體地,例如可舉出將價(jià)數(shù)少的離子置換為價(jià)數(shù)比其更大的離子(例如,將1價(jià)的離子置換為多價(jià)的離子)的處理。優(yōu)選在不溶性處理后,具有各向異性的光學(xué)膜的色素在水中的溶解度為1質(zhì)量%以下,從具有各向異性的光學(xué)膜的穩(wěn)定性的角度出發(fā),更優(yōu)選為0.8質(zhì)量%以下。(不溶化液)本發(fā)明的不溶化中使用的不溶化液沒(méi)有特別限制。例如可使用日本專利特開(kāi)2007-241267號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2009-199075號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2010-44130號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2010-197760號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2011-257489號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2012-058427號(hào)公報(bào)等所記載的不溶化液等。本發(fā)明中使用的不溶化液的pH沒(méi)有特別限定,但基于陽(yáng)離子交換的原理,有助于離子交換的陽(yáng)離子濃度必須為某一固定濃度以上。因此,有時(shí)必須比有賴于材料的某種特定pH更靠酸性側(cè)。此外,不溶化液的色調(diào)也沒(méi)有特別限定,但優(yōu)選為基本不會(huì)影響偏振光性能的無(wú)色、淡色。本發(fā)明中使用的不溶化液沒(méi)有特別限定,優(yōu)選含有不溶化化合物和溶劑。不溶化化合物和溶劑可以是1種,也可以使用多種。作為不溶化化合物,優(yōu)選具有與磺基、羧基、二氧磷基以及次磷酸基形成鹽的多價(jià)離子的化合物。具體地可舉出Mg、Ca等的無(wú)機(jī)鹽、聚胺系化合物、具有陽(yáng)離子性基團(tuán)的聚合物和在不溶化液中作為金屬離子的化合物的混合物等。這些化合物之中,聚胺系化合物由于減少不溶化后的具有各向異性的光學(xué)膜的裂紋而優(yōu)選。聚胺系化合物是指在其分子內(nèi)具有2個(gè)以上的氨基的化合物。此外,聚胺系化合物的一分子所具有的氨基的數(shù)量通常為2以上,此外,其上限通常為20以下,優(yōu)選為10以下。通過(guò)使氨基的數(shù)量在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi),聚胺系化合物可以在具有各向異性的光學(xué)膜內(nèi)擴(kuò)散,趨于可以使具有各向異性的光學(xué)膜不溶化。作為聚胺系化合物,可舉出脂肪族聚胺系化合物和芳香族聚胺系化合物。其中,優(yōu)選脂肪族聚胺系化合物。作為脂肪族聚胺系化合物的具體例子,可舉出二氨基己烷、二氨基癸烷等二氨基烷烴化合物;1,4-環(huán)己二胺等二氨基環(huán)己烷;4,4'-亞甲基雙環(huán)己基胺等二氨基環(huán)烷烴化合物;二亞乙基三胺、五亞乙基六胺、雙(六亞甲基)三胺等多亞乙基多胺化合物等。其中,優(yōu)選多亞乙基多胺化合物,特別優(yōu)選雙(六亞甲基)三胺。作為芳香族聚胺系化合物的具體例子,可舉出苯二胺、苯二甲基二胺等。其中,優(yōu)選苯二胺。具有陽(yáng)離子性基團(tuán)的聚合物為在主鏈或支鏈上具有陽(yáng)離子性基團(tuán)的聚合物。作為陽(yáng)離子性基團(tuán),例如可舉出氨基;甲氨基、乙氨基等單烷基氨基;二甲氨基、二乙氨基等二烷基氨基;胍基;亞氨基;銨鹽基;在環(huán)的一部分具有氮原子的基團(tuán)等。此外,陽(yáng)離子性聚合物可以單獨(dú)使用1種,也可以并用2種以上。不溶化液中所含有的金屬離子可為1價(jià)金屬離子,但優(yōu)選為多價(jià)金屬離子。多價(jià)金屬離子可舉出堿土金屬離子或過(guò)渡金屬離子。這些金屬離子可以通過(guò)使具有該金屬離子的化合物在適當(dāng)?shù)娜軇┲腥芙舛谌芤褐挟a(chǎn)生。作為具有上述金屬離子的化合物,可舉出氯化鋇、氯化鉛、氯化鐵、氯化鎂、碳酸鈣、磷酸鈣等多價(jià)金屬鹽等。作為上述的具有陽(yáng)離子性基團(tuán)的聚合物和金屬離子,具體可使用日本專利特開(kāi)2010-44130號(hào)公報(bào)等所列舉的物質(zhì)。不溶化液的溶劑優(yōu)選為可溶解離子的極性溶劑。具體可舉出水、離子液體等。在這之中,從經(jīng)濟(jì)性和安全性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選水。不溶化液中的不溶化化合物的量,只要具有離子交換能力,就沒(méi)有特別限制,可以根據(jù)不溶化化合物和溶劑的種類、25℃中的不溶化液的粘度等而適當(dāng)?shù)卣{(diào)整。優(yōu)選為飽和濃度的10%以上,更優(yōu)選為飽和濃度的20%以上。此外,優(yōu)選為飽和濃度(100%)以下,更優(yōu)選為飽和濃度的90%以下。通過(guò)使其在此范圍內(nèi),可趨于抑制不必要的不溶化化合物的析出,并且可迅速進(jìn)行不溶化反應(yīng)。(不溶化液的添加劑)本發(fā)明的不溶化液可含有增稠劑、保濕劑、表面活性劑等添加劑。此外,不溶化液中的添加劑的量,可根據(jù)添加劑、不溶化化合物、溶劑的種類等適當(dāng)?shù)卣{(diào)整。本發(fā)明的不溶化液的制備方法沒(méi)有特別限定。例如可以將上述不溶化化合物與溶解混合至成為上述濃度范圍,根據(jù)需要進(jìn)行攪拌等,使其在溶劑中溶解即可。此外,可根據(jù)需要在溶劑中混合所使用的添加劑,使其分別成為上述濃度范圍。另外,混合的時(shí)間、順序等也是任意的。(不溶化方法)將具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行不溶化的方法沒(méi)有特別限定,可以舉出浸漬法;從具有各向異性的光學(xué)膜的上方供給不溶化液的方法;通過(guò)噴霧、簾式涂布、輥涂、浸涂、浮動(dòng)涂布、吹涂(吹き出しコート)等涂布不溶化液的方法;等。本發(fā)明的具有各向異性的光學(xué)膜非常薄,具有由于與物體的接觸而容易發(fā)生剝落的傾向。因此,優(yōu)選采用可以抑制具有各向異性的光學(xué)膜的偏振光性能的下降、抑制膜的剝離等缺損的方法。(不溶化后的清洗)優(yōu)選對(duì)不溶化后的具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行清洗。清洗的方法沒(méi)有特別限定,可使用浸漬、從具有各向異性的光學(xué)膜的上方供給清洗液的流水清洗、超聲波清洗等。此外,在清洗中可附加采用特定頻率進(jìn)行搖動(dòng)等促進(jìn)清洗的效果?;蛘?,也可以將多個(gè)這些方法組合進(jìn)行清洗。上述方法中,在可以不施加成為具有各向異性的光學(xué)膜的剝離和缺陷的原因的不需要的力這一點(diǎn),優(yōu)選浸漬。清洗液沒(méi)有特別限定,具體可使用純水,也可使用在純水中添加了甲醇、乙醇、異丙醇等醇的液體等。為提高清洗性,這些物質(zhì)可以含有清洗助劑和表面活性劑等控制清洗性的添加物。清洗后的具有各向異性的光學(xué)膜的干燥方法沒(méi)有特別限定,可舉出風(fēng)干、鼓風(fēng)干燥、真空干燥、加熱干燥等。這些之中,從抑制具有各向異性的光學(xué)膜的裂紋的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選使用風(fēng)干或鼓風(fēng)干燥。此外,也可將這些干燥進(jìn)行組合。<(II)工序)>本發(fā)明中作為(II)工序,具有在(I)工序在不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜上涂布感光性樹(shù)脂組合物而形成保護(hù)層的工序。(保護(hù)層)本發(fā)明的保護(hù)層是出于保護(hù)具有各向異性的光學(xué)膜免受之后的工序和元件制作后的刺激和沖擊等的目的而形成的層,同時(shí)也起到作為用于除去具有各向異性的光學(xué)膜的不需要的部分并進(jìn)行圖案化的抗蝕劑的作用。本發(fā)明的保護(hù)層若是通過(guò)在具有各向異性的光學(xué)膜上涂布感光性樹(shù)脂組合物而形成的層,則沒(méi)有特別限定,但不具有光學(xué)各向異性的物質(zhì)由于不會(huì)阻礙具有各向異性的光學(xué)膜的性能,因而優(yōu)選。本發(fā)明中的光學(xué)各向異性是指,從保護(hù)層的厚度方向和任意垂直交叉的面內(nèi)2個(gè)方向的立體坐標(biāo)系的共計(jì)3個(gè)方向中所選擇的任意2個(gè)方向的電磁學(xué)性質(zhì)上具有各向異性?;诓粨p害具有各向異性的光學(xué)膜的光學(xué)特性,本發(fā)明的保護(hù)層優(yōu)選保護(hù)層厚度為500nm時(shí)的550nm的透光率為80%以上,更優(yōu)選為85%以上,特別優(yōu)選為90%以上。上限沒(méi)有特別限制,優(yōu)選為較高。(感光性樹(shù)脂組合物)用于形成本發(fā)明的保護(hù)層的感光性樹(shù)脂組合物含有感光性樹(shù)脂。感光性樹(shù)脂組合物若是經(jīng)由光的照射而致顯影液中的溶解性發(fā)生變化的組合物,則沒(méi)有特別限定,優(yōu)選經(jīng)由光的照射而發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)或聚合反應(yīng)而固化的負(fù)感光型感光性樹(shù)脂組合物。此外,本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物可含有聚合引發(fā)劑、敏化色素等敏化劑、加速劑、各種固化劑、熱固化性樹(shù)脂、表面活性劑、粘合性改善劑、流平劑、有機(jī)溶劑等。(感光性樹(shù)脂)本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中使用的感光性樹(shù)脂沒(méi)有特別限定,例如可舉出含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物、含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物等。(含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物)本發(fā)明的含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物為在分子內(nèi)具有至少1個(gè)乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物。從反應(yīng)性的觀點(diǎn)出發(fā),乙烯性不飽和基團(tuán)優(yōu)選是烯丙基或(甲基)丙烯?;?。作為含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物,例如可舉出不飽和羧酸和多羥基化合物的酯類、羥基(甲基)丙烯酸酯化合物與聚異氰酸酯化合物的聚氨酯(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯酸或羥基(甲基)丙烯酸酯化合物與聚環(huán)氧化合物的環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯類等。具體地可舉出東亞合成公司的Aronix系列、新中村化學(xué)公司的NK系列、日本油脂公司的Blemmer系列、共榮社化學(xué)公司的Lightacrylate系列、大阪有機(jī)公司的Viscoat系列等。(含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物)作為本發(fā)明的含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物,可舉出含環(huán)氧基的化合物、含氧雜環(huán)丁基的化合物、含乙烯基的化合物等。在這之中,優(yōu)選含有環(huán)氧基的化合物。例如可舉出三菱化學(xué)公司的JER系列、大賽璐公司的Celloxide系列、新日鐵住金化學(xué)公司的Epokukdo系列、日本化藥公司的NC-、XD-、EPPN-、EOCN-等系列、DIC公司的EPICLON等。此外,除此以外,也可適當(dāng)使用與甲基丙烯酸縮水甘油酯等含有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物進(jìn)行共聚的樹(shù)脂等。作為含氧雜環(huán)丁基的化合物,可舉出東亞合成公司的OXT系列、大阪有機(jī)公司的OXE-10或30,使用這些化合物的共聚樹(shù)脂等。作為本發(fā)明的感光性樹(shù)脂,至少包含含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物,相比自由基聚合性不飽和基團(tuán),更趨于可以在低溫或短時(shí)間內(nèi)熱固化,易于抑制對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜的熱損傷。此外,也優(yōu)選將含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物與含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物組合使用。通過(guò)組合使用,易于兼顧高曝光靈敏度和熱固化性,趨于容易獲得通過(guò)使用曝光和顯影液的顯影而進(jìn)行的圖案化的容易程度和保護(hù)特性優(yōu)異的保護(hù)膜。作為具體的優(yōu)選化合物的組合,可舉出以下的組合等:支鏈上具有環(huán)氧基的含有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物與具有(甲基)丙烯?;幕衔锏墓簿畚?、和不飽和羧酸與多羥基化合物的酯類的組合。(熱塑性樹(shù)脂)本發(fā)明的光學(xué)元件的制造方法中,在具有后述的(IV)工序時(shí),感光性樹(shù)脂組合物優(yōu)選含有熱塑性樹(shù)脂。作為熱塑性樹(shù)脂,可舉出丙烯酸樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、聚酯、尼龍、聚酰亞胺、聚碳酸酯,這些物質(zhì)的衍生物等。另外,在這些樹(shù)脂上也可以賦予聚合性基團(tuán)和交聯(lián)性基團(tuán)。本發(fā)明的熱塑性樹(shù)脂若是在(IV)工序中實(shí)施的加熱時(shí)的溫度下發(fā)生軟化的樹(shù)脂,則沒(méi)有特別限制,從與其他成分的親和性和在涂布溶劑中的溶解性的角度出發(fā),作為優(yōu)選例可舉出丙烯酸樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂等。另外,在這些樹(shù)脂中,也可導(dǎo)入有自由基聚合性不飽和基團(tuán)、陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)、其他交聯(lián)基團(tuán)等,這種情況下,可兼具上述的含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物和/或含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物的作用。作為兼具含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物和熱塑性樹(shù)脂的樹(shù)脂,可舉出例如采用(甲基)丙烯酸等對(duì)以日本化藥公司的ZAR、ZCR、CCR等環(huán)氧丙烯酸酯樹(shù)脂、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯等作為共聚成分進(jìn)行聚合后的樹(shù)脂進(jìn)行開(kāi)環(huán)的樹(shù)脂等。作為兼具含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物和熱塑性樹(shù)脂的樹(shù)脂,可舉出例如將日本化藥公司的NC、EOCN、XD、EPPN等酚醛環(huán)氧樹(shù)脂、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯和(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基(甲基)丙烯酸酯等作為共聚成分進(jìn)行聚合的樹(shù)脂等。(聚合引發(fā)劑)本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物也可含有聚合引發(fā)劑。作為聚合引發(fā)劑可舉出自由基聚合光引發(fā)劑、陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑、自由基聚合熱引發(fā)劑、陽(yáng)離子聚合熱引發(fā)劑等。這些聚合引發(fā)劑之中,從保護(hù)層的易于固化性的角度出發(fā),優(yōu)選使用自由基聚合光引發(fā)劑和/或陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑。(自由基聚合光引發(fā)劑)在本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中適宜使用的自由基聚合光引發(fā)劑沒(méi)有特別限定。例如可舉出含有日本專利特開(kāi)昭59-152396號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)昭61-151197號(hào)各公報(bào)等所記載的二茂鈦化合物的茂金屬化合物;日本專利特開(kāi)2000-56118號(hào)公報(bào)等所記載的六芳基聯(lián)咪唑衍生物;日本專利特開(kāi)平10-39503號(hào)公報(bào)等所記載的鹵甲基化惡二唑衍生物;鹵甲基-s-三嗪衍生物;N-苯基甘氨酸等N-芳基-α-氨基酸類;N-芳基-α-氨基酸鹽類;N-芳基-α-氨基酸酯類等自由基活性劑;α-氨基烷基苯酮衍生物;日本專利特開(kāi)2000-80068號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2006-36750號(hào)公報(bào)等所記載的肟酯衍生物;等。這些物質(zhì)之中,肟酯衍生物類和/或α-氨基烷基苯酮衍生物類在比較薄的膜中也易于確保靈敏度,因而優(yōu)選。作為肟酯衍生物類,可舉出例如日本專利特開(kāi)2000-80068號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)2006-36750號(hào)公報(bào)等所記載的肟和酮肟酯系化合物。作為α-氨基烷基苯酮衍生物類,例如可舉出2-甲基-1〔4-(甲硫基)苯基〕-2-嗎啉代-1-丙酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮、4-二甲基氨基乙基苯甲酸酯、4-二甲基氨基異戊基苯甲酸酯、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、2-乙基己基-1,4-二甲基氨基苯甲酸酯、2,5-雙(4-二乙基氨基亞芐基)環(huán)己酮、7-二乙基氨基-3-(4-二乙基氨基苯甲酰)香豆素、4-(二乙基氨基)查爾酮等。(陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑)適宜在本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中使用的陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑為通過(guò)可見(jiàn)光線、紫外線等的照射而產(chǎn)生陽(yáng)離子物種或路易斯酸,引發(fā)陽(yáng)離子固化性成分的聚合反應(yīng)的物質(zhì)。作為陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑,例如可舉出芳香族碘鎓鹽、芳香族锍鹽等鎓鹽,芳香族重氮鹽,鐵-芳烴絡(luò)合物等。這些物質(zhì)之中,從固化性的角度出發(fā),優(yōu)選芳香族碘鎓鹽或芳香族锍鹽。此外,為了確保在圖像顯示裝置中與感光性樹(shù)脂層鄰接的液晶層的電氣可靠性,特別優(yōu)選芳香族碘鎓塩。芳香族碘鎓塩為具有二芳基碘鎓陽(yáng)離子的化合物,芳香族锍鹽為具有三芳基锍陽(yáng)離子的化合物。這些陽(yáng)離子與陰離子(陰離子)成對(duì),構(gòu)成陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑。作為構(gòu)成陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑的陰離子可舉出六氟磷酸鹽陰離子PF6-、六氟銻酸鹽陰離子SbF6-、五氟羥基銻酸鹽陰離子SbF5(OH)-、六氟砷酸鹽陰離子AsF6-、四氟硼酸鹽陰離子BF4-、四(五氟苯基)硼酸鹽陰離子B(C6F5)4-等。其中,為了確保在圖像顯示裝置中與感光性樹(shù)脂層鄰接的液晶層的電氣可靠性,優(yōu)選六氟磷酸鹽陰離子PF6-。作為芳香族锍鹽,作為具體例子可舉出例如SanApro公司的CPI-100P、CPI-101A、CPI-200K、CPI-210S,ADEKA公司的AdekaOptomerSP-150、SP-170、SP-171等。作為芳香族碘鎓塩,作為具體例子可舉出索爾維日本公司的PHOTOINITIATOR2074、BASF日本公司的IRGACURE250、日本曹達(dá)公司的CI-5102、和光純藥公司的WPI-113、WPI-116等。(感光性樹(shù)脂和聚合引發(fā)劑的組合)本發(fā)明的感光性樹(shù)脂和聚合引發(fā)劑的組合沒(méi)有特別限定,從確保光固化性的角度出發(fā),優(yōu)選自由基聚合光引發(fā)劑和含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物的組合、含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物和陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑的組合、進(jìn)一步地并用這些組合的系等。(感光性樹(shù)脂組合物的溶劑)本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中使用的溶劑,若是對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜沒(méi)有不良影響,則沒(méi)有特別限定,因?yàn)橛斜匾M(jìn)行涂布后干燥,優(yōu)選選擇沸點(diǎn)(壓力1013.25[hPa]條件下。下文有關(guān)沸點(diǎn)的均如此。)為100~300℃的范圍的熔劑。更優(yōu)選具有120~280℃的沸點(diǎn)的有機(jī)溶劑。作為有機(jī)溶劑,可舉出二醇單烷基醚類、二醇二烷基醚類、二醇烷基醚乙酸酯類、乙酸烷基酯類、醚類、酮類、一元或多元醇類、脂肪族烴類、脂肪族烴類、脂環(huán)式烴類、芳香族烴類、鏈狀或環(huán)狀酯類、烷氧基羧酸類、鹵化烴類、醚酮類、腈類等。這些物質(zhì)之中,從涂布性、表面張力等的良好均衡,對(duì)感光性樹(shù)脂組合物的構(gòu)成成分的溶解度相對(duì)較高的角度出發(fā),優(yōu)選二醇烷基醚乙酸酯類。此外,有機(jī)溶劑可單獨(dú)使用,也可2種以上并用。作為有機(jī)溶劑例如舉出如下物質(zhì)。(二醇單烷基醚類)作為二醇單烷基醚類,可舉出乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單正丁醚、丙二醇叔丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單正丁醚、甲氧基甲基戊醇、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單甲醚、3-甲基-3-甲氧基丁醇、三乙二醇單甲醚、三乙二醇單乙醚、三丙二醇甲基醚等。(二醇二烷基醚類)作為二醇二烷基醚類可舉出乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚、二丙二醇二甲醚等。(二醇烷基醚乙酸酯類)作為二醇烷基醚乙酸酯類可舉出乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單正丁醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、丙二醇單丁醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單正丁醚乙酸酯、二丙二醇單甲醚乙酸酯、三乙二醇單甲醚乙酸酯、三乙二醇單乙醚乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯等。(二醇二乙酸酯類)作為二醇二乙酸酯類,可舉出乙二醇二乙酸酯、1,3-丁二醇二乙酸酯、1,6-己二醇二乙酸酯等。(烷基乙酸酯類)作為烷基乙酸酯類,可舉出環(huán)己醇乙酸酯等。(醚類)作為醚類可舉出戊醚、二乙醚、二丙醚、二異丙醚、二丁醚、二戊醚、乙基異丁醚、二己醚等。(酮類)作為酮類,可舉出丙酮、甲基乙基酮、甲基戊基酮、甲基異丙基酮、甲基異戊基酮、二異丙基酮、二異丁基酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、乙基戊基酮、甲基丁基酮、甲基己基酮、甲基壬基酮、甲氧基甲基戊酮等。(一元或多元醇類)作為一元或多元醇類,可舉出乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、丙二醇、丁二醇、二乙二醇、二丙二醇、三乙二醇、甲氧甲基戊醇、甘油、芐基醇等。(脂肪族烴類)作為脂肪族烴類,可舉出正戊烷、正辛烷、二異丁烯、正己烷、己烯、異戊二烯、二戊烯、十二烷等。(脂環(huán)式烴類)作為脂環(huán)式烴類,可舉出環(huán)己烷、甲基環(huán)己烷、甲基環(huán)己烯、聯(lián)環(huán)己烷等。(芳香族烴類)作為芳香族烴類,可舉出苯、甲苯、二甲苯、異丙基苯等。(鏈狀或環(huán)狀酯類)作為鏈狀或環(huán)狀酯類,可舉出甲酸戊酯、甲酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸丙酯、乙酸戊酯、異丁酸甲酯、乙二醇乙酸酯、丙酸乙酯、丙酸丙酯、丁酸丁酯、丁酸異丁酯、異丁酸甲酯、辛酸乙酯、硬脂酸丁酯、苯甲酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、γ-丁內(nèi)酯等。(烷氧基羧酸類)作為烷氧基羧酸類可舉出3-甲氧基丙酸、3-乙氧基丙酸等。(鹵化烴類)作為鹵化烴類,可舉出氯丁烷、氯戊烷等。(醚酮類)作為醚酮類,可舉出甲氧基甲基戊酮等。(腈類)作為腈類,可舉出乙腈、芐腈等。作為符合上述的市售溶劑,可舉出Mineralspirit、Barsolq#2、Apco#18Solvent、ApcoThinner、SocalSolvent1號(hào)及2號(hào)、Solvesso#150、ShellTS28Solvent、卡必醇(Carbitol)、乙基卡必醇(EthylCarbitol)、丁基卡必醇(ButhylCarbitol)、甲基溶纖劑(MethylCellosolve)、乙基溶纖劑(EthylCellosolve)、乙基溶纖劑乙酸酯(EthylCellosolveAcetate)、甲基溶纖劑乙酸酯、二甘醇二甲醚(Diglyme)等(均為商品名)。在本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中使用溶劑時(shí),優(yōu)選使總固體成分的含有率為3重量%以上,更優(yōu)選為5重量%以上。另一方面,優(yōu)選使其為30重量%以下,更優(yōu)選為20重量%以下。通過(guò)使其為上述下限值以上,趨于可容易地控制保護(hù)層的膜厚,通過(guò)使其為上述上限值以下,趨于易于維持感光性樹(shù)脂組合物的適用期。(感光性樹(shù)脂組合物的制備)本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物的制備方法沒(méi)有特別限制,例如,可以將上述各成分與溶劑共同混合,通過(guò)攪拌或施加超聲波,使其溶解或分散,進(jìn)行制備。另外,制備感光性樹(shù)脂組合物時(shí),在含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物或含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物為液體狀時(shí),也可以用它們代替溶劑。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物優(yōu)選在將上述各成分與溶劑共同混合之后,通過(guò)使用過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾,由此將不溶物、樹(shù)脂等可能在合成時(shí)產(chǎn)生的凝膠成分、廢物、微量金屬等除去。作為過(guò)濾器,例如可使用EntegrisOptimizer、CUNONanoSHIELD、ZetaPlusEC(均為商品名)等。過(guò)濾器的篩目的尺寸優(yōu)選盡可能地小,至少優(yōu)選小于保護(hù)層的膜厚。通過(guò)使過(guò)濾器的篩目的尺寸較小,趨于可減少不溶物、凝膠成分、廢物、微量金屬等,抑制對(duì)保護(hù)層進(jìn)行成膜時(shí)的感光性樹(shù)脂組合物的縮孔。此外,能夠抑制貫通保護(hù)層的異物和縮孔等缺陷,由此趨于可抑制后述的顯影液侵入到下層的具有各向異性的光學(xué)膜。(保護(hù)層的涂布方法)本發(fā)明的保護(hù)層可以使用在具有各向異性的光學(xué)膜的涂布方法中所示的方法等,通過(guò)在具有各向異性的光學(xué)膜上涂布感光性樹(shù)脂組合物而獲得。從保護(hù)膜的均勻性和工序的簡(jiǎn)略化的角度出發(fā),涂布優(yōu)選為連續(xù)涂布。在這之后,當(dāng)感光性樹(shù)脂組合物含有溶劑時(shí),可以對(duì)保護(hù)層進(jìn)行干燥。干燥可以通過(guò)使用潔凈烘箱、熱板、紅外線、鹵素加熱器、微波照射等加熱設(shè)備進(jìn)行加熱而進(jìn)行。在這之中,從易于均等地對(duì)膜的整體進(jìn)行加熱的角度出發(fā),優(yōu)選潔凈烘箱和熱板。干燥條件只要根據(jù)溶劑的種類和具有各向異性的光學(xué)膜的耐熱性等進(jìn)行適當(dāng)選擇即可。出于充分干燥后可易于獲得穩(wěn)定的固化性的角度出發(fā),優(yōu)選在高溫下進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間干燥。此外,從干燥所需要的時(shí)間短則生產(chǎn)率優(yōu)異的觀點(diǎn)和加熱難以影響具有各向異性的光學(xué)膜和基板的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選在低溫下短時(shí)間進(jìn)行干燥。此處,干燥溫度通常為40℃以上,優(yōu)選為50℃以上,另一方面,通常為120℃以下,優(yōu)選為100℃以下。干燥時(shí)間優(yōu)選為15秒以上,更優(yōu)選為30秒以上,此外,優(yōu)選為5分鐘以下,更優(yōu)選為3分鐘以下。干燥可通過(guò)減壓干燥法進(jìn)行,也可同時(shí)使用加熱法和減壓干燥法。保護(hù)層的膜厚沒(méi)有特別限定,干燥膜厚優(yōu)選為100nm以上,進(jìn)一步優(yōu)選為200nm以上。另一方面,優(yōu)選為5μm以下,進(jìn)一步優(yōu)選為4μm以下。通過(guò)使保護(hù)層的膜厚在上述范圍,則趨于易于同時(shí)完成:對(duì)下層的具有各向異性的光學(xué)膜的保護(hù)性、為了將具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行圖案化而確保保護(hù)層的膜強(qiáng)度、維持具有各向異性的光學(xué)膜的光學(xué)特性。具有各向異性的光學(xué)膜與保護(hù)層的膜厚的關(guān)系沒(méi)有特別限定,可為其中任意一方較大。在具有后述的(IV)工序時(shí),保護(hù)層的膜厚較大者可以使通過(guò)熔體流動(dòng)進(jìn)行的密封變得更為容易,因而優(yōu)選。具有各向異性的光學(xué)膜與保護(hù)層的優(yōu)選的膜厚差,以干燥膜厚計(jì)為100nm以上,更優(yōu)選為500nm以上。此外,優(yōu)選為4μm以下,更優(yōu)選為3μm以下。此外,膜厚也可以相同。通過(guò)使膜厚的差在特定的范圍,趨向于充分地清洗除去(III)工序中使用的堿性溶液變得容易。此外,具有(IV)工序時(shí),趨于容易兼顧上述清洗除去的容易性和對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜的露出部進(jìn)行密封。<(III)工序>本發(fā)明的制造方法作為(III)工序而具有如下工序:通過(guò)在形成的保護(hù)層上設(shè)置掩模并進(jìn)行曝光,采用堿性溶液進(jìn)行顯影,對(duì)所述保護(hù)層和不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行圖案化。本工序是在(II)工序中形成的保護(hù)層上設(shè)置掩模并進(jìn)行曝光,使一部分保護(hù)層發(fā)生聚合反應(yīng),保護(hù)層的非曝光部(非聚合部)通過(guò)進(jìn)行經(jīng)由堿性溶液的顯影而被溶解。其特征在于在該保護(hù)層溶解的同時(shí),使存在于溶解后的保護(hù)層的下層的具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行溶解或剝離,進(jìn)行圖案化。本工序可以采用單一顯影液,在一個(gè)工序中將保護(hù)層的非曝光部和不溶化的具有各向異性的光學(xué)膜的兩者進(jìn)行圖案化,可完成工序的簡(jiǎn)略化和制造成本的削減。(曝光)曝光中所使用的光源若能使保護(hù)層發(fā)生聚合,則沒(méi)有特別限定。具體地,例如可舉出氙燈、鹵燈、鎢燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、金屬鹵化物燈、中壓汞燈、低壓汞燈、碳弧燈、熒光燈、LED等燈光光源,氬離子激光器、YAG激光器、準(zhǔn)分子激光器、氮激光器、氦鎘激光器、藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光器、近紅外線半導(dǎo)體激光器等激光光源。本文中在使用特定波長(zhǎng)的光時(shí),也可使用光學(xué)濾波器。曝光量通常為0.01mJ/cm2以上,優(yōu)選為0.1mJ/cm2以上,更優(yōu)選為1mJ/cm2以上,此外,通常為1000mJ/cm2以下,優(yōu)選為800mJ/cm2以下,更優(yōu)選為500mJ/cm2以下。(保護(hù)層的掩模)本發(fā)明的掩模若為具有遮光性的物質(zhì),則沒(méi)有特別限制,可使用半導(dǎo)體圖案化工序中使用的硬掩模和乳膠掩模,或者加工為所期望的圖案的金屬、金屬薄膜等遮光物等。硬掩??梢酝ㄟ^(guò)如下所述而獲得:使鉻膜薄薄地附著在玻璃或合成石英上,接著對(duì)感光性抗蝕劑進(jìn)行涂布、曝光·顯影之后,通過(guò)蝕刻除去鉻膜,然后,通過(guò)再除去上層的抗蝕劑膜,形成曝光用圖案而獲得。乳膠掩模是在浮法玻璃和樹(shù)脂薄膜上附加主要由明膠材料和作為感光物的鹵化銀構(gòu)成的膜而成的掩模,可以與照片的負(fù)片同樣地通過(guò)進(jìn)行曝光、顯影、定影而獲得。(顯影液)本發(fā)明的顯影中使用的堿性溶液沒(méi)有特別限定,優(yōu)選為pH7.5以上,更優(yōu)選為pH8以上。此外,優(yōu)選為pH14以下,更優(yōu)選為pH12以下。通過(guò)使其在該范圍內(nèi),趨于易于使保護(hù)層和具有各向異性的光學(xué)膜發(fā)生溶解或剝離。具體可舉出氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鈣、氫氧化銨、四甲基氫氧化銨、碳酸鈉、碳酸氫鈉等。這些物質(zhì)之中,從材料易獲得性和控制顯影液的pH的容易性的角度出發(fā),優(yōu)選使用氫氧化鉀和/或四甲基氫氧化銨。此外,本發(fā)明的顯影中使用的堿性溶液也可含有水系、非離子系、其他可溶解的表面活性劑。(顯影方法)關(guān)于顯影方法及其條件,沒(méi)有特別限制。作為顯影方法,可舉出浸漬顯影、槳式顯影、噴霧顯影、刷式顯影、超聲波顯影等。在這之中,浸漬顯影和噴霧顯影由于難以附著污漬,易于均勻地進(jìn)行顯影因而優(yōu)選。此外,出于減少顯影液的使用量的觀點(diǎn),優(yōu)選槳式顯影。關(guān)于顯影溫度,通常在10℃以上,優(yōu)選15℃以上,此外,另一方面,通常在50℃以下、優(yōu)選在45℃以下中進(jìn)行。優(yōu)選在顯影后直接或者在使用其他溶劑或水進(jìn)行清洗之后通過(guò)抖落或壓縮空氣進(jìn)行干燥。此處所謂其他溶劑優(yōu)選選擇不會(huì)溶解曝光后的保護(hù)層和具有各向異性的光學(xué)膜、與顯影液為混合形態(tài)的溶劑。<其他工序>為獲得本發(fā)明的光學(xué)元件,也可在上述的(I)工序~(III)工序之外具有工序。例如可舉出在基板上設(shè)置取向膜的工序、對(duì)板賦予潤(rùn)濕性的工序、通過(guò)加熱使保護(hù)層熔體流動(dòng)的工序等。(在基板上設(shè)置取向膜的工序)為提高具有各向異性的光學(xué)膜的取向性,可在上述(I)工序之前,在基板上設(shè)置取向膜。具體地可使用“液晶便覽”(丸善株式會(huì)社、2000年10月30日發(fā)行)的226頁(yè)~239頁(yè)等所記載的公知的方法。(賦予基板潤(rùn)濕性的工序)在通過(guò)涂布形成具有各向異性的光學(xué)膜時(shí),為抑制用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的縮孔,可對(duì)基板賦予潤(rùn)濕性。作為賦予潤(rùn)濕性而形成親液部分的處理,沒(méi)有特別限定,可舉出作為物理性或化學(xué)性改質(zhì)處理手段的電暈處理、等離子體處理、紫外線照射(UV臭氧)處理等表面處理。此時(shí),也可通過(guò)調(diào)整氣體組成和處理時(shí)間來(lái)調(diào)整親液狀態(tài)。(通過(guò)加熱使保護(hù)層熔體流動(dòng)的工序((IV)工序))本發(fā)明的制造方法作為(IV)工序,可具有通過(guò)加熱使(III)工序中圖案化后的保護(hù)層熔體流動(dòng)(MeltFlow)的工序。如圖4所示,通過(guò)使保護(hù)層進(jìn)行熔體流動(dòng),可以將顯影后露出的具有各向異性的光學(xué)膜輪廓部的側(cè)面進(jìn)行密封。熔體流動(dòng)的方法若能夠軟化顯影后的保護(hù)層,將具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部側(cè)面密封,則不特別限定條件。從具有各向異性的光學(xué)膜的耐熱性的角度出發(fā),加熱溫度優(yōu)選為200℃以下,特別優(yōu)選為180℃以下。此外,出于通過(guò)加熱進(jìn)一步地促進(jìn)保護(hù)層的固化的目的,優(yōu)選為100℃以上,特別優(yōu)選為120℃以上。從避免具有各向異性的光學(xué)膜的劣化的角度出發(fā),加熱時(shí)間優(yōu)選盡可能地短,但出于進(jìn)一步促進(jìn)保護(hù)層的固化的目的,優(yōu)選為較長(zhǎng),通常為1分鐘以上、優(yōu)選為10分鐘以上,通常為120分鐘以下,優(yōu)選為60分鐘以下。加熱方法可自由地選擇公知的方法,可舉出例如熱板、IR烘箱、對(duì)流式烘箱等。(III)工序結(jié)束時(shí)的具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部可以是與保護(hù)層的輪廓部為相同位置,或者也可在保護(hù)層的輪廓部的更內(nèi)側(cè)這兩者中的任一項(xiàng)。具有各向異性的光學(xué)膜(符號(hào)2)與保護(hù)層(符號(hào)3)的輪廓部為相同位置的情況的例子如圖6(a)所示,具有各向異性的光學(xué)膜(符號(hào)2)在保護(hù)層(符號(hào)3)的輪廓部的更內(nèi)側(cè)的情況的例子如圖6(b)所示。作為本發(fā)明的制造方法在具有(IV)工序時(shí),優(yōu)選在(III)工序中如圖3所示地將具有各向異性的光學(xué)膜(符號(hào)2)的輪廓部除去至保護(hù)層(符號(hào)3)的輪廓部的更內(nèi)側(cè)為止。通過(guò)使進(jìn)行除去后的、在具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓更外側(cè)的保護(hù)層部分成為(IV)工序中的熔體流動(dòng)的充分的留出部(日語(yǔ):糊代),由此保護(hù)層可密封具有各向異性的光學(xué)膜輪廓部的側(cè)面。作為具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部比保護(hù)層的輪廓部更向內(nèi)側(cè)深入的距離,優(yōu)選為具有各向異性的光學(xué)膜的膜厚以上,優(yōu)選為5mm以下。通過(guò)使其為上述的下限值以上,趨于即使在之后的工序中也能充分地保護(hù)具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部側(cè)面,另一方面,通過(guò)使其為上述上限值以下,趨于可抑制具有各向異性的光學(xué)膜的圖案化所需要的時(shí)間。使具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部為保護(hù)層的輪廓部的更內(nèi)側(cè)或與保護(hù)層的輪廓部為相同位置的方法,沒(méi)有特別限定。可通過(guò)顯影時(shí)間的調(diào)整、顯影液的pH調(diào)整、添加的表面活性劑等而適當(dāng)進(jìn)行調(diào)整。具體地,具有各向異性的光學(xué)膜,相比于保護(hù)層,趨于容易因與其與顯影液的接觸時(shí)間而相應(yīng)地被浸蝕。因此,如果延長(zhǎng)顯影時(shí)間,則可使具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部為相應(yīng)地比保護(hù)層的輪廓部更靠?jī)?nèi)側(cè)。此外,通過(guò)顯影液的pH或添加劑的調(diào)整,可調(diào)整浸蝕具有各向異性的光學(xué)膜的速度。[具有(V)工序~(VIII)工序的光學(xué)元件的制造方法]作為本發(fā)明的第二方式的包含基板、具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層的光學(xué)元件的制造方法,可舉出具有下述(V)工序~(VIII)工序的制造方法。(V)在基板上連續(xù)涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物,形成具有各向異性的光學(xué)膜,然后通過(guò)鹽交換對(duì)所述具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行不溶性處理的工序;(VI)在所述不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜上涂布感光性樹(shù)脂組合物,形成保護(hù)層的工序;(VII)經(jīng)由曝光和通過(guò)顯影液進(jìn)行的顯影,將上述保護(hù)層進(jìn)行圖案化的工序。(VIII)將保護(hù)層被顯影除去而露出的部分的具有各向異性的光學(xué)膜,與酸性水溶液或堿性水溶液接觸后,進(jìn)行水洗的工序。上述制造方法中,上述顯影液優(yōu)選含有80容量%以上的有機(jī)溶劑。此外,上述感光性樹(shù)脂組合物優(yōu)選含有熱塑性樹(shù)脂。此外,上述具有各向異性的光學(xué)膜的膜厚優(yōu)選為保護(hù)層的膜厚以下。上述(VII)中的顯影液優(yōu)選為含有80容量%以上的有機(jī)溶劑而構(gòu)成的顯影液。此外,上述(VIII)工序中,上述具有各向異性的光學(xué)膜優(yōu)選被浸蝕到與保護(hù)層的輪廓部相同位置或輪廓部的更內(nèi)側(cè)為止。進(jìn)一步地,優(yōu)選具有下述(IX)工序。(IX)通過(guò)加熱,使圖案化后的所述保護(hù)層熔體流動(dòng)的工序。此外,本發(fā)明還涉及使用上述光學(xué)元件的制造方法制造的光學(xué)元件和具備該光學(xué)元件的圖像顯示裝置。本發(fā)明的包括(V)工序~(VIII)工序的制造方法,若按照(V)工序→(VI)工序→(VII)工序→(VIII)工序的順序進(jìn)行實(shí)施,則沒(méi)有特別限定,在各個(gè)工序之間也可具有其他的工序。例如,在(V)工序和(VI)工序之前也可具有其他工序。依據(jù)上述具有(V)工序~(VIII)工序的光學(xué)元件的制造方法,可以沒(méi)有涂布缺陷地、容易地將均勻的具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層進(jìn)行圖案化。此外,可不受具有各向異性的光學(xué)膜形成后的制造工序中使用的水和溶劑的影響,抑制具有各向異性的光學(xué)膜溶解、剝離等的發(fā)生、偏振光機(jī)能損失。因此,在切出從1片基板母材劃分出多個(gè)光學(xué)元件進(jìn)行分割而成的基板之時(shí)尤其有用,其中光學(xué)元件具備在具有各向異性的光學(xué)膜形成后使用取向膜形成用的溶劑(NMP等)或作為清洗溶劑的水的工序。((V)工序)本發(fā)明作為(V)工序具有如下工序:在基板上連續(xù)涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物,形成具有各向異性的光學(xué)膜,然后通過(guò)鹽交換對(duì)所述具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行不溶性處理的工序。(V)工序與上述(I)工序相同,優(yōu)選的范圍等也相同。((VI)工序)本發(fā)明作為(VI)工序具有在(V)工序中進(jìn)行不溶化后的具有各向異性的光學(xué)膜上涂布感光性樹(shù)脂組合物,形成保護(hù)層的工序。(VI)工序與上述(II)工序相同,優(yōu)選的范圍等也相同。((VII)工序)本發(fā)明的制造方法作為(VII)工序具有如下工序:通過(guò)經(jīng)由曝光和通過(guò)顯影液進(jìn)行的顯影,將所述保護(hù)層進(jìn)行圖案化的工序。通過(guò)曝光和顯影進(jìn)行圖案化的方法為:在上述(VI)工序中形成的保護(hù)層上設(shè)置曝光掩模進(jìn)行曝光,使一部分保護(hù)層發(fā)生聚合反應(yīng)。進(jìn)一步地,除去未受通過(guò)曝光進(jìn)行的光照射而未進(jìn)行聚合反應(yīng)的部分的保護(hù)層,進(jìn)行顯影處理,將保護(hù)層圖案化。(曝光)曝光中使用的光源若能夠聚合保護(hù)層,則沒(méi)有特別限定。具體地,與上述(III)工序中所列舉的光源相同,曝光量的優(yōu)選的范圍等也相同。(顯影液)本發(fā)明的顯影液若是在溶解保護(hù)層的非曝光部的同時(shí)對(duì)曝光部的保護(hù)層和位于其下部的具有各向異性的光學(xué)膜不產(chǎn)生不良影響的顯影液,則沒(méi)有特別限定,但優(yōu)選以有機(jī)溶劑為主成分的顯影液。以有機(jī)溶劑為主成分的顯影液的有機(jī)溶劑的含量,優(yōu)選含有80容量%以上的有機(jī)溶劑,更優(yōu)選含有90容量%以上。此外,不存在上限值,可為100容量%。通過(guò)使其在該范圍內(nèi),可以不溶解具有各向異性的光學(xué)膜,僅對(duì)保護(hù)層進(jìn)行顯影,進(jìn)一步地趨于不損害保護(hù)層的電氣可靠性。此外,除了有機(jī)溶劑之外,顯影液也可含有水、非離子系表面活性劑等。作為本發(fā)明的顯影液中使用的有機(jī)溶劑的具體例,例如可舉出上述感光性樹(shù)脂組合物的溶劑一項(xiàng)中記載的溶劑等。在這些溶劑之中,由于良好地溶解保護(hù)層,干燥時(shí)不會(huì)使保護(hù)層發(fā)生白化,因而優(yōu)選二醇烷基醚乙酸酯類和二醇烷基醚乙酸酯類,特別優(yōu)選丙二醇單甲醚乙酸酯和丙二醇單甲醚。本發(fā)明的顯影液中使用的有機(jī)溶劑可使1種,也可以混合2種以上進(jìn)行使用。(顯影方法)關(guān)于顯影方法及其條件,沒(méi)有特別限制。作為顯影方法,與上述(III)工序中舉出的方法相同,優(yōu)選的顯影方法也相同。此外,顯影溫度也與上述(III)工序相同,優(yōu)選的范圍也相同。((VIII)工序)本發(fā)明的制造方法作為(VIII)工序具有如下的工序:將保護(hù)層被顯影除去而露出的部分的具有各向異性的光學(xué)膜,與酸性水溶液(下文中稱為“方法(1)”)或堿性水溶液(下文中稱為“方法(2)”)接觸后,進(jìn)行水洗。通過(guò)該工序,可以進(jìn)行具有各向異性的光學(xué)膜的圖案化。本文中,保護(hù)層被顯影除去而露出的部分是指通過(guò)在(VII)工序的圖案化中除去保護(hù)層,而暴露在外部的具有各向異性的光學(xué)膜。具體指圖5的符號(hào)a所表示的部分。(方法(1))方法(1)為將保護(hù)層被顯影除去而露出的部分的具有各向異性的光學(xué)膜通過(guò)酸性水溶液進(jìn)行水可溶性處理后,用水洗除去水可溶性化后的具有各向異性的光學(xué)膜的方法。方法(1)的水可溶性處理自與酸性水溶液接觸的具有各向異性的光學(xué)膜的表面進(jìn)行。另一方面,酸性水溶液自不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜表面侵入的速度緩慢。這種酸性水溶液向具有各向異性的光學(xué)膜中的侵入速度的緩慢,在容易控制酸性水溶液向具有各向異性的光學(xué)膜的橫向的浸蝕(酸性水溶液向位于存在保護(hù)層的圖案的部分之下具有各向異性的光學(xué)膜的侵入)的同時(shí),也可抑制酸成分向具有各向異性的光學(xué)膜的混入(contamination)。因此,在重視具有各向異性的光學(xué)膜的尺寸精度和高度的電氣可靠性時(shí),優(yōu)選采用方法(1)。方法(1)中,因?yàn)樗嵝运芤鹤圆蝗苄蕴幚砗蟮木哂懈飨虍愋缘墓鈱W(xué)膜表面侵入的速度緩慢,相比于一次處理中進(jìn)行水溶性處理至具有各向異性的光學(xué)膜的底部為止,多次反復(fù)進(jìn)行以下循環(huán):將表面水可溶化→將水可溶化部分的表面水洗除去→將新的表面水可溶化,可以縮短水可溶性處理時(shí)間,因而優(yōu)選。本發(fā)明中使用的酸性水溶液若是酸性的水溶液,則沒(méi)有特別限定,例如為將硫酸、鹽酸、硝酸等無(wú)機(jī)酸和乙酸、草酸等有機(jī)酸適當(dāng)?shù)厝芙庥谒械娜芤骸_@些物質(zhì)之中,從電氣可靠性、氣味、腐蝕性、操作性等角度出發(fā),優(yōu)選使用有機(jī)酸,特別優(yōu)選使用草酸。此外,這些酸也可為多種物質(zhì)的混合物。上述酸性水溶液也可含有增稠劑、保濕劑、表面活性劑等添加劑。(方法(1)水可溶性處理方法)使用上述的酸性水溶液對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜進(jìn)行水可溶性處理的方法沒(méi)有特別限定,可舉出在酸性水溶液中浸漬具備具有各向異性的光學(xué)膜的基板的方法;從具有各向異性的光學(xué)膜的上方供給酸性水溶液的方法;在具備具有各向異性的光學(xué)膜的基板上進(jìn)行酸性水溶液噴霧的方法;在具備具有各向異性的光學(xué)膜的基板上通過(guò)簾式涂布、輥涂、浸涂、浮動(dòng)涂布(フローティングコート)、吹涂等涂布酸性水溶液的方法;等。本發(fā)明的具有各向異性的光學(xué)膜非常薄,具有由于與物體的接觸而容易發(fā)生剝落的傾向。因此,優(yōu)選采用可以抑制具有各向異性的光學(xué)膜的偏振光性能的降低,抑制膜的剝離等缺陷的方法。(方法(1)具有各向異性的光學(xué)膜的水洗除去)通過(guò)水洗而除去水可溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜。水洗的方法沒(méi)有特別限定,可舉出浸漬式、槳式、噴霧式等。如果水洗除去中使用的水為酸性,則具有各向異性的光學(xué)膜變得難以溶出,因此,為了高效地除去具有各向異性的光學(xué)膜,優(yōu)選避免水可溶性處理中所使用的酸性水溶液混入到清洗水中。從這一點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選始終供給新的水的噴霧式等,浸漬式時(shí)優(yōu)選策劃準(zhǔn)備多個(gè)水槽等。此外,也可使用堿性化合物等調(diào)節(jié)pH以使清洗水不會(huì)成為酸性,但若清洗水成為堿性,則未進(jìn)行水可溶性處理的部分的具有各向異性的光學(xué)膜也易于溶出,難以對(duì)圖案化進(jìn)行控制,因而不優(yōu)選。在任意情況下,均優(yōu)選在最終用沒(méi)有不需要的溶液的混入的潔凈的水進(jìn)行沖洗。(方法(2))方法(2)為通過(guò)使保護(hù)層被顯影除去而露出的部分的具有各向異性的光學(xué)膜與酸性水溶液接觸而溶解除去的方法。不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜在堿性水溶液中為可溶,因而通過(guò)與堿性水溶液接觸,直接被溶解除去。方法(2)可在一次處理中以短時(shí)間除去具有各向異性的光學(xué)膜,因而在重視工序上的合理性時(shí)優(yōu)選使用堿性水溶液。本發(fā)明中使用的堿性水溶液為將堿性化合物適當(dāng)?shù)厝芙庠谒械娜芤?。堿性化合物沒(méi)有特別限定,可以是無(wú)機(jī)堿性化合物,也可以是有機(jī)堿性化合物。此外,這些堿性化合物也以是1種,也可以為多種的混合物。進(jìn)一步地,也可含有增稠劑、保濕劑、表面活性劑等添加劑。作為無(wú)機(jī)堿性化合物,例如可舉出氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鋰、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硅酸鈉、硅酸鉀、偏硅酸鈉、磷酸鈉、磷酸鉀、磷酸氫鈉、磷酸氫鉀、磷酸二氫鈉、磷酸二氫鉀、氫氧化銨等。作為有機(jī)堿性化合物,可舉出單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等的乙醇胺;單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺等的甲基胺;單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺等的乙基胺;單異丙基胺、二異丙基胺等的異丙基胺;正丁基胺;單異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺等的異丙醇胺;乙烯亞胺;乙烯二亞胺;四甲基氫氧化銨(TMAH);膽堿等。這些物質(zhì)之中,從電氣特性的角度出發(fā),優(yōu)選有機(jī)堿性化合物,特別優(yōu)選使用TMAH。(方法(2)具有各向異性的光學(xué)膜的除去方法)方法(2)中,通過(guò)與堿性水溶液接觸,溶解除去具有各向異性的光學(xué)膜的方法沒(méi)有特別限定。可舉出在堿性水溶液中浸漬具備具有各向異性的光學(xué)膜的基板的方法;從具有各向異性的光學(xué)膜的上方供給堿性水溶液的方法;在具備具有各向異性的光學(xué)膜的基板上進(jìn)行堿性水溶液噴霧的方法;在具備具有各向異性的光學(xué)膜的基板上通過(guò)簾式涂布、輥涂、浸涂、浮動(dòng)涂布、吹涂等涂布?jí)A性水溶液的方法;等。本發(fā)明的具有各向異性的光學(xué)膜非常薄,具有由于與物體的接觸而容易發(fā)生剝落的傾向。因此,優(yōu)選采用可以抑制具有各向異性的光學(xué)膜的偏振光性能的降低、抑制膜的剝離等缺陷的方法。(方法(2)水洗方法)通過(guò)與堿性水溶液接觸,溶解除去具有各向異性的光學(xué)膜之后,通過(guò)水洗,可以除去在具有各向異性的光學(xué)膜中殘留的堿性化合物。通過(guò)除去在具有各向異性的光學(xué)膜中殘留的堿性化合物,可抑制對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜部分的過(guò)度浸蝕,趨于獲得光學(xué)元件的電氣可靠性。水洗的方法沒(méi)有特別限定,可舉出浸漬式、槳式、噴霧式等。這些方法之中,從堿性化合物的除去效率的角度出發(fā),優(yōu)選始終供給新的水的噴霧式等。在浸漬式的情況時(shí)優(yōu)選準(zhǔn)備多個(gè)水洗用的水槽等,充分地除去堿性化合物。在方法(1)和方法(2)之后進(jìn)行的具有各向異性的光學(xué)膜的干燥方法沒(méi)有特別限定,可舉出風(fēng)干、鼓風(fēng)干燥、真空干燥、加熱干燥等。這些之中,從抑制具有各向異性的光學(xué)膜的裂紋的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選使用風(fēng)干或鼓風(fēng)干燥。此外,可將這些干燥進(jìn)行組合使用。上述方法中浸蝕具有各向異性的光學(xué)膜的程度沒(méi)有特別限定,可與保護(hù)層的輪廓部為相同位置,也可以是保護(hù)層的輪廓部的更內(nèi)側(cè)。具有各向異性的光學(xué)膜(符號(hào)2)與保護(hù)層(符號(hào)3)的輪廓部為相同位置的情況的例子如圖6(a)所示,具有各向異性的光學(xué)膜(符號(hào)2)為保護(hù)層(符號(hào)3)的輪廓部的更內(nèi)側(cè)的情況的例子如圖6(b)所示。具有各向異性的光學(xué)膜與保護(hù)層的膜厚的關(guān)系沒(méi)有特別限定,可為其中任意一方較大。在具有后述的(IX)工序時(shí),保護(hù)層的膜厚較大者可以使通過(guò)熔體流動(dòng)進(jìn)行的密封變得更為容易,因而優(yōu)選。具有各向異性的光學(xué)膜與保護(hù)層的優(yōu)選的膜厚差,以干燥膜厚計(jì)為100nm以上,更優(yōu)選為500nm以上。此外,優(yōu)選為4μm以下,更優(yōu)選為3μm以下。此外,膜厚也可以相同。通過(guò)使膜厚的差在特定的范圍內(nèi),趨于容易地充分清洗除去(VIII)工序中使用的酸性或堿性水溶液。此外,具有(IX)工序時(shí),趨于容易兼顧上述清洗除去的容易性和對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜的露出部的密封。使具有各向異性的光學(xué)膜的浸蝕在保護(hù)層的輪廓部的內(nèi)側(cè)以及與保護(hù)層的輪廓部為相同位置的方法,沒(méi)有特別限定,但在使具有各向異性的光學(xué)膜的浸蝕為保護(hù)層的輪廓部的內(nèi)側(cè)時(shí),可舉出在(VIII)工序中在完全除去無(wú)保護(hù)層的部分的具有各向異性的光學(xué)膜后經(jīng)歷短暫時(shí)間等方法。此外,使具有各向異性的光學(xué)膜的浸蝕與保護(hù)層的輪廓部相同位置的方法,可舉出在(VIII)工序中在完全能夠除去無(wú)保護(hù)層的部分的具有各向異性的光學(xué)膜的瞬間進(jìn)入水洗工序等方法。本發(fā)明的制造方法中,在具有后述的(IX)工序時(shí),優(yōu)選在(VIII)工序中如圖6(b)所示地使具有各向異性的光學(xué)膜(符號(hào)2)浸蝕至保護(hù)層(符號(hào)3)的輪廓部的更內(nèi)側(cè)為止。通過(guò)使進(jìn)行浸蝕后的、在具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓外側(cè)的保護(hù)層部分成為(IX)工序中的熔體流動(dòng)的充分的留出部(糊代),保護(hù)層可密封具有各向異性的光學(xué)膜輪廓部的側(cè)面。作為具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部比保護(hù)層的輪廓部更向內(nèi)側(cè)深入的距離,優(yōu)選為具有各向異性的光學(xué)膜的膜厚以上,此外優(yōu)選為5mm以下,更優(yōu)選為500μm以下,特別優(yōu)選為50μm以下。通過(guò)使其為上述的下限值以上,趨于可使具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部側(cè)面在之后的工序中充分地得到保護(hù),另一方面,通過(guò)使其為上述上限值以下,趨于可抑制具有各向異性的光學(xué)膜的圖案化所需要的時(shí)間,也易于除去(VIII)工序中使用的酸或堿。(其他工序)為獲得本發(fā)明的光學(xué)元件,也可在上述的(V)工序~(VIII)工序之外具有工序。例如可舉出在上述基板上設(shè)置取向膜的工序、對(duì)基板賦予潤(rùn)濕性的工序、通過(guò)加熱使保護(hù)層熔體流動(dòng)的工序等。(在基板上設(shè)置取向膜的工序)為提高具有各向異性的光學(xué)膜的取向性,可在上述(V)工序之前,在基板上設(shè)置取向膜。具體地可使用“液晶便覽”(丸善株式會(huì)社、2000年10月30日發(fā)行)的226頁(yè)~239頁(yè)等所記載的公知的方法。(賦予基板潤(rùn)濕性的工序)在通過(guò)涂布而形成具有各向異性的光學(xué)膜時(shí),為抑制用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物的縮孔,可對(duì)基板賦予潤(rùn)濕性。作為賦予潤(rùn)濕性而形成親液部分的處理,沒(méi)有特別限定,可實(shí)施作為物理性或化學(xué)性改質(zhì)處理手段的電暈處理、等離子體處理、紫外線照射(UV臭氧)處理等表面處理。此時(shí),也可通過(guò)調(diào)整氣體組成和處理時(shí)間來(lái)調(diào)整親液狀態(tài)。((IX)工序通過(guò)加熱使保護(hù)層熔體流動(dòng)的工序)作為(IX)工序,在上述(VIII)工序之后,也可具有通過(guò)加熱使保護(hù)層熔體流動(dòng)的工序。如如圖7的最下段所示,通過(guò)使保護(hù)層(符號(hào)3)熔體流動(dòng),可以對(duì)顯影后露出的具有各向異性的光學(xué)膜輪廓部的側(cè)面進(jìn)行密封。通過(guò)該密封,可以進(jìn)一步地在光學(xué)元件形成后的圖像顯示裝置的工序中提高對(duì)具有各向異性的光學(xué)膜的保護(hù)。在切出從1片基板母材劃分出多個(gè)In-Cell型光學(xué)元件并進(jìn)行分割而成的基板之時(shí)尤其有用,其中光學(xué)元件具備在具有各向異性的光學(xué)膜形成后使用取向膜形成用的溶劑(NMP等)的工序。(IX)工序中,保護(hù)層的熔體流動(dòng)的方法、溫度、時(shí)間等加熱方法,與上述(IV)工序相同,優(yōu)選的范圍等也相同。<光學(xué)元件>本發(fā)明的光學(xué)元件并不僅限于具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層,出于提高偏振光性能,提高機(jī)械性強(qiáng)度等目的,也可以具有其他的層。此外,光學(xué)元件也可以使用粘附層或防反射層;取向膜;具有作為相位差膜的機(jī)能、作為亮度增強(qiáng)膜的機(jī)能、作為反射膜的機(jī)能、作為半透射反射膜的機(jī)能、作為散射膜的機(jī)能等光學(xué)機(jī)能的層;等作為基板,也可以通過(guò)涂布或貼合具有各種機(jī)能的層形成層疊,作為層疊體進(jìn)行使用。這些層可以根據(jù)制造工序、特性和機(jī)能而適當(dāng)?shù)卦O(shè)置,其層疊的位置、順序等沒(méi)有特別限定。例如,形成上述各層的位置可為在保護(hù)層之上形成,此外,也可在設(shè)有具有各向異性的光學(xué)膜的基板的背對(duì)面上形成。另一方面,形成上述各層的順序,可在具有各向異性的光學(xué)膜的形成之前,也可在形成之后。具有這些光學(xué)機(jī)能的層可通過(guò)如下所述的方法形成。具有作為相位差膜的機(jī)能的層可通過(guò)將采用如下所述的方法獲得的相位差膜貼合于構(gòu)成光學(xué)元件的其他層等而形成。相位差膜可通過(guò)例如實(shí)施日本專利特開(kāi)平2-59703號(hào)公報(bào)、日本專利特開(kāi)平4-230704號(hào)公報(bào)等所記載的延伸處理,或者實(shí)施日本專利特開(kāi)平7-230007號(hào)公報(bào)等記載的處理等而形成。具有作為亮度增強(qiáng)膜的機(jī)能的層,可通過(guò)將采用如下所述的方法獲得的亮度增強(qiáng)膜貼合于構(gòu)成光學(xué)元件的其他層等而形成。亮度增強(qiáng)膜可通過(guò)例如采用如日本專利特開(kāi)2002-169025號(hào)公報(bào)和日本專利特開(kāi)2003-29030號(hào)公報(bào)所記載的方法形成微細(xì)孔、或?qū)⑦x擇反射的中心波長(zhǎng)不同的2層以上的膽甾型液晶層進(jìn)行重疊而形成。具有作為反射膜或半透射反射膜的機(jī)能的層可通過(guò)例如將通過(guò)蒸鍍或?yàn)R射得到的金屬薄膜與構(gòu)成光學(xué)元件的其他層進(jìn)行貼合等而形成。具有作為散射膜的機(jī)能的層,可通過(guò)例如在構(gòu)成光學(xué)元件的其他層上涂布含有微粒的樹(shù)脂溶液而形成。此外,具有作為相位差膜和光學(xué)補(bǔ)償膜的機(jī)能的層可通過(guò)將盤狀液晶性化合物、向列型液晶性化合物等液晶性化合物涂布在構(gòu)成光學(xué)元件的其他層上并使之取向而形成。<圖像顯示裝置>將本發(fā)明中的光學(xué)元件用于LCD和OLED等各種圖像顯示裝置時(shí),圖像顯示裝置的構(gòu)成等沒(méi)有特別限定,光學(xué)元件的位置等也沒(méi)有特別限定。例如,可以在構(gòu)成圖像顯示裝置的電極基板等的表面或?yàn)V色器上直接形成光學(xué)元件,或者將形成有光學(xué)元件的基板作為這些圖像顯示裝置的構(gòu)成部件使用。此外,在本發(fā)明的光學(xué)元件上也可設(shè)置液晶用的取向膜等。考慮到本發(fā)明的具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層可通過(guò)涂布形成這一點(diǎn),本發(fā)明的光學(xué)元件也能適宜地用于柔性顯示等用途。實(shí)施例下文中通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更為具體的說(shuō)明,但本發(fā)明只要不超出其主旨,就不受以下的實(shí)施例的限定。另外,在以下的記載中,“份”表示“質(zhì)量份”。<透射率、偏振光度和對(duì)比度的測(cè)定方法>透射率、偏振光度和對(duì)比度使用具備格蘭湯普森(GlanThompson)起偏鏡的分光光度計(jì)(大塚電子(株)制,產(chǎn)品名"RETS-100")而求得。向具有各向異性的光學(xué)膜入射直線偏振光的測(cè)定光,基于通過(guò)測(cè)定獲得的400nm~800nm的透射率波長(zhǎng)依賴性(Ty(λ)、Tz(λ)、Tm(λ)),經(jīng)由如下所示的計(jì)算,算出測(cè)定元件的單體透射率(Tm)[%]、偏振光度(PE)[%]、對(duì)比度(CR)。Tm[%]=ΣV(λ)D65(λ)Tm(λ)/ΣV(λ)D65(λ)x100Ty[%]=ΣV(λ)D65(λ)Ty(λ)/ΣV(λ)D65(λ)x100Tz[%]=ΣV(λ)D65(λ)Tz(λ)/ΣV(λ)D65(λ)x100CR=Ty/TzPE={(Ty-Tz)/(Ty+Tz)}1/2x100各符號(hào)的意義如下所示。Tm(λ):各波長(zhǎng)中的具有各向異性的光學(xué)膜的單體透射率Tz(λ):各波長(zhǎng)中的具有各向異性的光學(xué)膜對(duì)吸收軸方向的偏振光的透射率Ty(λ):各波長(zhǎng)中的具有各向異性的光學(xué)膜對(duì)偏振光軸方向的偏振光的透射率D65(λ):在各波長(zhǎng)下的物體顏色的測(cè)定用光源強(qiáng)度(CIE、ISO的標(biāo)準(zhǔn)光強(qiáng)度)V(λ):由國(guó)際照明委員會(huì)、國(guó)際度量衡局定義的相對(duì)可見(jiàn)度波長(zhǎng)依賴性[實(shí)施例1](用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物1的制作)通過(guò)在79份水中攪拌溶解20份下述式(1)所表示的色素的鋰鹽和1份下述式(2)所表示的色素,制作用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物1。[化1](不溶化液1的制作)在24.4份雙(六亞甲基)三胺(東京化成公司制)中加入6N的硫酸75.6份,進(jìn)行攪拌溶解,制作不溶化液1。不溶化液1的粘度為50cP。(感光性樹(shù)脂組合物1的制作)混合表1所示的各成分,使用丙二醇甲基醚乙酸酯調(diào)整至固體成分濃度成為15重量%,制作感光性樹(shù)脂組合物1。另外,表中的各成分如下所述?!す饩酆闲詥误w(含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物)a-1:二季戊四醇六丙烯酸酯(新中村化學(xué)(株)制)·樹(shù)脂(含有自由基聚合性不飽和基團(tuán)的化合物)b-1:日本化藥(株)制ZAR1035(屬于環(huán)氧基(甲基)丙烯酸酯樹(shù)脂。在雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂加成丙烯酸,進(jìn)一步地加成琥珀酸酐而成的樹(shù)脂。分子量13,000,酸值約100)·自由基聚合光引發(fā)劑(α-氨基烷基苯酮衍生物類)c-1:BASF(株)制IRGACURE907·表面活性劑:DIC(株)制RS-72-K(具有聚合性基團(tuán)的氟系表面活性劑)[表1]感光性樹(shù)脂組合物1的成分(重量份)光聚合性單體a-147.4樹(shù)脂b-147.4自由基聚合光引發(fā)劑c-15表面活性劑0.2((I)工序)作為基板,準(zhǔn)備在玻璃制基板(10×10cm、厚度0.7mm)上形成取向膜(聚酰亞胺膜厚約60nm),在端面實(shí)施水平方向的摩擦處理后的基板。在該取向膜上,采用模具涂布機(jī)(濕膜厚2μm,機(jī)頭速度15mm/s)連續(xù)涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物1,使其自然干燥,從而形成膜厚約為0.4μm的具有各向異性的光學(xué)膜。另外,涂布時(shí)的環(huán)境條件為23℃、50RH%。使形成有具有各向異性的光學(xué)膜的基板含浸于不溶化液1中3秒鐘。取出基板之后,使用軟化水,為了將多余的不溶化液進(jìn)行沖洗而實(shí)施充分的清洗,然后進(jìn)行基板的風(fēng)干。((II)工序)在(I)工序中進(jìn)行不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜上,滴加約1.0mL的感光性樹(shù)脂組合物1,調(diào)節(jié)旋涂機(jī)的轉(zhuǎn)速使膜厚成為500nm,進(jìn)行40秒的旋轉(zhuǎn)涂布。然后在熱板上進(jìn)行90℃、90秒鐘的加熱干燥,形成保護(hù)層。((III)工序)使用3kW高壓汞燈,介由具有負(fù)片圖案(1英寸Φ的圓狀)的掩模,以500mJ/cm2的曝光量對(duì)在(II)工序中形成有保護(hù)層的基板進(jìn)行曝光。接著,將曝光后的基板在0.06%氫氧化鉀水溶液(顯影液)中進(jìn)行90秒鐘的搖動(dòng)浸漬,進(jìn)行顯影。顯影后,采用25℃軟化水充分地?fù)u動(dòng)含浸清洗后,吹出壓縮空氣對(duì)其進(jìn)行干燥,獲得光學(xué)元件1。光學(xué)元件1上未發(fā)現(xiàn)膜的剝落等缺陷。光學(xué)元件1的從基板上面拍攝的照片如圖1所示。中央的黑色圓的部分為光學(xué)元件1(符號(hào)4)。可知光學(xué)元件1以外的不需要的部分(不溶化后的具有各向異性的光學(xué)膜和保護(hù)層)通過(guò)實(shí)施例1中的(III)工序的曝光顯影被一次性地除去。此外,圖1的光學(xué)元件1的端部放大照片如圖2所示。光學(xué)元件1(符號(hào)4)的端部形狀良好,可知獲得了尺寸特性優(yōu)異的光學(xué)元件。此外,采用大塚電子制的RETS-100測(cè)定該元件的偏振光特性時(shí),表現(xiàn)出單體透射率41.0%、偏振光度99.4%的良好的值,可知具有作為光學(xué)元件的充分特性。((IV)工序)接著,將該光學(xué)元件1用180℃的烘箱進(jìn)行30分鐘的加熱。觀察加熱后的光學(xué)元件1的相當(dāng)于具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部的部分的截面的SEM時(shí),用顯微鏡觀察確認(rèn)到保護(hù)層如圖4的最下段的圖所示地熔體流動(dòng),密封了具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部側(cè)面。[實(shí)施例2](聚合物A的制作)在具備有回流冷凝器、攪拌機(jī)和氮?dú)馔ㄈ牍艿臒恐?,加入甲基丙烯酸二環(huán)戊基酯(日立化成(株)制“FA-513M”)11質(zhì)量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯61質(zhì)量份、甲基丙烯酸-4-羥基苯基酯14質(zhì)量份、丙二醇單甲醚乙酸酯400質(zhì)量份、二甲基-2,2’-偶氮二(2-甲基丙酸酯)8.0質(zhì)量份,進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后,一邊攪拌一邊使液溫上升至80℃,在80℃下進(jìn)行6小時(shí)的反應(yīng)。進(jìn)一步地,在100℃下進(jìn)行1小時(shí)的二甲基-2,2’-偶氮二(2-甲基丙酸酯)的分解處理之后,在80℃減壓條件下,蒸餾丙二醇單甲醚乙酸酯,濃縮至固體成分濃度成為50質(zhì)量%左右,獲得聚合物A。該聚合物A的重均分子量(Mw)約為9,000。另外,重均分子量以島津制作所制的“凝膠滲透色譜系統(tǒng)LSSolution”使用島津制作所制的“ColumnGPC-804”進(jìn)行測(cè)定。聚合物A中的來(lái)源于含有環(huán)氧基的乙烯基化合物(甲基丙烯酸縮水甘油酯)的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的含有比例為67摩爾%,來(lái)源于含有環(huán)狀脂肪族基團(tuán)的乙烯基化合物(甲基丙烯酸二環(huán)戊基酯)的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的含有比例為13摩爾%,來(lái)源于含有芳香族性羥基的乙烯基化合物(甲基丙烯酸-4-羥基苯基酯)的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的含有比例為20摩爾%。聚合物A中含有的重復(fù)單元的結(jié)構(gòu)如下所示。[化2](感光性樹(shù)脂組合物2的制作)分別稱取表2的各成分,使用磁力攪拌器進(jìn)行攪拌而使其完全溶解,進(jìn)一步地繼續(xù)攪拌10分鐘。接著,使用Entegris公司的OptimizerV470.02μmFD5AXFR進(jìn)行過(guò)濾,獲得感光性樹(shù)脂組合物2。[表2](*1)固體成分的含量(*2)也包含來(lái)源于聚合物A、B的溶劑另外,表2中所示的各成分的結(jié)構(gòu)如下所示。結(jié)構(gòu)式中,Et表示乙基。(含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物OXT-121(東亞合成公司制))[化3](陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑IRGACURE250(BASF公司制))[化4](敏化劑UVS-1331(川崎化成公司制))[化5](加速劑ET-2201(川崎化成公司制))[化6](流平劑BYK-330(畢克化學(xué)公司制))聚醚改性聚甲基烷基硅氧烷((I)工序)作為基板,準(zhǔn)備在玻璃制基板(10×10cm、厚度0.7mm)上形成取向膜(膜厚約60nm的聚酰亞胺膜)并在端面實(shí)施水平方向的摩擦處理后的基板。在該取向膜上,采用模具涂布機(jī)(濕膜厚2μm,機(jī)頭速度15mm/s)連續(xù)涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物1,通過(guò)使其自然干燥,形成膜厚約為0.4μm的具有各向異性的光學(xué)膜。另外,涂布時(shí)的環(huán)境條件為23℃、50RH%。將形成有具有各向異性的光學(xué)膜的基板在不溶化液1中含浸5秒鐘。取出基板之后,使用軟化水進(jìn)行清洗,然后進(jìn)行基板的風(fēng)干。((II)工序)在(I)工序中進(jìn)行不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜上,滴加約0.5mL的感光性樹(shù)脂組合物1,調(diào)節(jié)旋涂機(jī)的轉(zhuǎn)速,進(jìn)行50秒的旋轉(zhuǎn)涂布,使后述的(III)工序的顯影后的膜厚成為1.5μm。然后在熱板上進(jìn)行90℃、90秒鐘的加熱干燥,形成保護(hù)層。((III)工序)使用3kW高壓汞燈,介由具有負(fù)片圖案的掩模,以50mJ/cm2的曝光量對(duì)在(II)工序中形成有保護(hù)層的基板進(jìn)行曝光。接著,將曝光后的基板在0.04%氫氧化鉀水溶液(顯影液)中進(jìn)行3分鐘的一邊搖動(dòng)一邊顯影,之后采用流水進(jìn)行30秒鐘的水洗,吹出壓縮空氣對(duì)其進(jìn)行干燥,獲得光學(xué)元件2。光學(xué)元件2被圖案化,未發(fā)現(xiàn)膜的剝落等缺陷。((IV)工序)接著,將該光學(xué)元件2用180℃的烘箱進(jìn)行30分鐘的加熱。保護(hù)層之下的具有各向異性的光學(xué)膜為不存在裂紋、膜的脫落等的均勻且良好的膜。(偏振光特性的評(píng)價(jià))對(duì)所得的光學(xué)元件2進(jìn)行偏振光特性的評(píng)價(jià)。將光學(xué)元件2分割為兩半,觀察將其重疊為成為正交尼科爾或平行尼科爾時(shí)的樣態(tài)時(shí),可確認(rèn)到光被均勻地遮光或透射。[實(shí)施例3](聚合物B的制作)在具備有回流冷凝器、攪拌機(jī)和氮?dú)馔ㄈ牍艿臒恐校尤刖哂腥h(huán)癸烷骨架的單甲基丙烯酸酯(日立化成(株)制“FA-513M”)16質(zhì)量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯61質(zhì)量份、甲基丙烯酸12質(zhì)量份、二乙二醇甲基乙基醚300質(zhì)量份、二甲基-2,2’-偶氮二(2-甲基丙酸酯)9質(zhì)量份,進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后,一邊攪拌一邊使液溫上升至80℃,在80℃下進(jìn)行6小時(shí)反應(yīng),獲得聚合物B。該聚合物B的重均分子量(Mw)約為8,000。另外,重均分子量以島津制作所制的“凝膠滲透色譜系統(tǒng)LSSolution”使用島津制作所制的“ColumnGPC-804”進(jìn)行測(cè)定。聚合物B中含有的重復(fù)單元的結(jié)構(gòu)如下所述。聚合物B中的來(lái)源于含有環(huán)氧基的乙烯基化合物(甲基丙烯酸縮水甘油酯)的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的含有比例為67摩爾%,來(lái)源于含有環(huán)狀脂肪族基團(tuán)的乙烯基化合物(甲基丙烯酸二環(huán)戊基酯)的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的含有比例為11摩爾%,來(lái)源于甲基丙烯酸的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的含有比例為22摩爾%。[化7](感光性樹(shù)脂組合物3的制作)稱取表2的各成分,與實(shí)施例2的感光性樹(shù)脂組合物2同樣地實(shí)施,獲得感光性樹(shù)脂組合物3。除使在(III)工序中的0.04%的氫氧化鉀水溶液(顯影液)中的搖動(dòng)時(shí)間為1分鐘外,與實(shí)施例2同樣地進(jìn)行(I)工序~(III)工序,獲得光學(xué)元件3。光學(xué)元件3被圖案化,未發(fā)現(xiàn)膜的剝落等缺陷。((IV)工序)接著,將該光學(xué)元件3與實(shí)施例2同樣地進(jìn)行加熱。保護(hù)層之下的具有各向異性的光學(xué)膜為不存在裂紋、膜的脫落等的均勻且良好的膜。(偏振光特性的評(píng)價(jià))對(duì)所得的光學(xué)元件3,與實(shí)施例2同樣地進(jìn)行偏振光特性的評(píng)價(jià)??纱_認(rèn)到光學(xué)元件3可均勻地對(duì)光進(jìn)行遮光或透射。[參考例]<含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物1的制造方法>在具備有回流冷凝器、攪拌機(jī)和氮?dú)馔ㄈ牍艿臒恐?,加入具有三環(huán)癸烷骨架的單甲基丙烯酸酯(日立化成(株)制“FA-513M”)47質(zhì)量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯61質(zhì)量份、丙二醇單甲醚乙酸酯400質(zhì)量份、二甲基-2,2’-偶氮二(2-甲基丙酸酯)8.0質(zhì)量份,進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后,一邊攪拌一邊使液溫上升至80℃に,在80℃下進(jìn)行6小時(shí)反應(yīng)。進(jìn)一步地,在100℃下進(jìn)行1小時(shí)的二甲基-2,2’-偶氮二(2-甲基丙酸酯)的分解處理之后,在80℃減壓條件下,蒸餾丙二醇單甲醚乙酸酯,濃縮至固體成分濃度成為50質(zhì)量%左右,獲得含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物1。該樹(shù)脂的重均分子量(Mw)約為11,000。另外,重均分子量以島津制作所制的“凝膠滲透色譜系統(tǒng)LSSolution”使用島津制作所制的“ColumnGPC-804”進(jìn)行測(cè)定。[化8]<感光性樹(shù)脂組合物4的制備>在如表3所示的感光性樹(shù)脂組合物4的成分之中,首先分別稱取陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑(Irg250)、敏化劑(UVS-1331)、加速劑(ET-2201)、自由基聚合光引發(fā)劑(Irg369)和自由基聚合熱引發(fā)劑(VAm-110),在其中加入作為有機(jī)溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA),使用磁力攪拌器進(jìn)行攪拌而使其完全溶解。接著,加入上述以外的感光性樹(shù)脂組合物4的成分,進(jìn)一步地繼續(xù)攪拌10分鐘。接著,使用Entegris公司的OptimizerV470.02μmFD5AXFR進(jìn)行過(guò)濾,獲得感光性樹(shù)脂組合物4。<感光性樹(shù)脂組合物5的制備>在如表3所示的感光性樹(shù)脂組合物5的成分之中,首先分別稱取陽(yáng)離子聚合光引發(fā)劑(Irg250)、敏化劑(UVS-1331)、加速劑(ET-2201),在其中加入作為有機(jī)溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA),使用磁力攪拌器進(jìn)行攪拌而使其完全溶解。接著,加入上述以外的感光性樹(shù)脂組合物5的成分,進(jìn)一步地繼續(xù)攪拌10分鐘。接著,使用Entegris公司的OptimizerV470.02μmFD5AXFR進(jìn)行過(guò)濾,獲得感光性樹(shù)脂組合物5。[表3](*1)固體成分的含量(*2)也包含來(lái)源于含有陽(yáng)離子聚合性基團(tuán)的化合物1的溶劑[參考例4]((V)工序)作為基板,準(zhǔn)備在玻璃制基板(10×10cm、厚度0.7mm)上形成取向膜(聚酰亞胺膜厚約60nm)并且在端面實(shí)施水平方向的摩擦處理的基板。在該取向膜上,采用模具涂布機(jī)(濕膜厚2μm,機(jī)頭速度15mm/s)連續(xù)涂布用于形成具有各向異性的光學(xué)膜的組合物1,通過(guò)使其自然干燥,形成膜厚約為0.4μm的具有各向異性的光學(xué)膜。另外,涂布時(shí)的環(huán)境條件為23℃、50RH%。使形成有具有各向異性的光學(xué)膜的基板在不溶化液1中含浸5秒鐘。取出基板之后,使用軟化水進(jìn)行清洗,然后進(jìn)行基板的風(fēng)干。((VI)工序)在(V)工序中進(jìn)行不溶性處理后的具有各向異性的光學(xué)膜上,滴加約0.5mL的感光性樹(shù)脂組合物4,調(diào)節(jié)旋涂機(jī)的轉(zhuǎn)速以使下一個(gè)工序(VII)工序的顯影后的膜厚成為1μm,進(jìn)行50秒的旋轉(zhuǎn)涂布。然后,在熱板上進(jìn)行90℃、90秒鐘的加熱干燥,形成保護(hù)層。((VII)工序)使用3kW高壓汞燈,介由具有負(fù)片圖案的掩模,以500mJ/cm2的曝光量對(duì)在(VI)工序中形成有保護(hù)層的基板進(jìn)行曝光。接著,將曝光后的基板,以丙二醇單甲醚乙酸酯作為顯影液,進(jìn)行30秒的一邊搖動(dòng)一邊浸漬,進(jìn)行顯影。顯影后,采用軟化水進(jìn)行清洗之后,進(jìn)行干燥,在具有各向異性的光學(xué)膜上形成圖案化后的保護(hù)層。((VIII)工序)將(VII)工序后的基板在1N草酸水溶液中30秒搖動(dòng)浸漬后,施以軟化水而進(jìn)行流動(dòng)水洗。通過(guò)進(jìn)行3次該工序,完全除去保護(hù)層被顯影除去而露出的部分的具有各向異性的光學(xué)膜,進(jìn)行干燥,獲得光學(xué)元件4。用顯微鏡對(duì)光學(xué)元件4進(jìn)行確認(rèn)時(shí),可觀察到具有各向異性的光學(xué)膜被浸蝕至相比保護(hù)層的輪廓部的更內(nèi)側(cè)1.5μm左右。此外,保護(hù)層之下的具有各向異性的光學(xué)膜為不存在裂紋、膜的脫落等的均勻且良好的膜。((IX)工序)接著,將(VIII)工序中所得的光學(xué)元件4用180℃的烘箱進(jìn)行30分鐘的加熱。觀察加熱后的光學(xué)元件4的相當(dāng)于具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部的部分的截面的SEM時(shí),確認(rèn)到保護(hù)層進(jìn)行熔體流動(dòng),密封了具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部側(cè)面。此外,保護(hù)層之下的具有各向異性的光學(xué)膜為不存在裂紋、膜的脫落等的均勻且良好的膜。此外,如后述的參考例5,將2片光學(xué)元件4正交或平行地重疊,確認(rèn)了其作為光學(xué)元件發(fā)揮機(jī)能。[參考例5]將參考例4的感光性樹(shù)脂組合物4變更為感光性樹(shù)脂組合物5,進(jìn)一步地將(VII)工序的曝光量變更為200mJ/cm2,其他同樣地進(jìn)行,獲得光學(xué)元件5。與參考例4同樣地采用顯微鏡確認(rèn)光學(xué)元件時(shí),具有各向異性的光學(xué)膜被浸蝕至相比保護(hù)層的輪廓部的更內(nèi)側(cè)1.5μm左右。此外,保護(hù)層之下的具有各向異性的光學(xué)膜為不存在裂紋、膜的脫落等的均勻且良好的膜。進(jìn)一步地,觀察截面SEM時(shí),確認(rèn)到保護(hù)層進(jìn)行熔體流動(dòng),密封了具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部側(cè)面。此外,保護(hù)層之下的具有各向異性的光學(xué)膜為不存在裂紋、膜的脫落等的均勻且良好的膜。如圖8(a)~(c)所示,將2片光學(xué)元件5進(jìn)行正交或平行地重疊,確認(rèn)了其作為光學(xué)元件發(fā)揮機(jī)能。[參考例6]除(VIII)工序按下述進(jìn)行之外,其他與參考例5同樣地進(jìn)行,獲得光學(xué)元件6。((VIII)工序)將(VII)工序后的基板在0.4%TMAH水溶液中進(jìn)行20秒的搖動(dòng)浸漬,完全除去保護(hù)層被顯影除去而露出的部分的具有各向異性的光學(xué)膜,施以軟化水而進(jìn)行流動(dòng)水洗并且進(jìn)行干燥。觀察所得的光學(xué)元件6的相當(dāng)于具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部的部分的截面的SEM時(shí),確認(rèn)到保護(hù)層進(jìn)行熔體流動(dòng),密封了具有各向異性的光學(xué)膜的輪廓部側(cè)面。此外,保護(hù)層之下的具有各向異性的光學(xué)膜為不存在裂紋、膜的脫落等的均勻且良好的膜。進(jìn)一步地,與參考例5同樣地,將2片光學(xué)元件6進(jìn)行正交或平行地重疊,確認(rèn)了其作為光學(xué)元件發(fā)揮機(jī)能。詳細(xì)地并且參照特定的實(shí)施方法進(jìn)行說(shuō)明,但本領(lǐng)域技術(shù)人員知曉,可以不超出本發(fā)明的精神和范圍地進(jìn)行各種變更和修正。本申請(qǐng)基于2014年8月1日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)(特愿2014-157886)、2014年8月1日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)(特愿2014-157887)、2015年3月23日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)(特愿2015-059748)和2015年7月22日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)(特愿2015-144891),作為參考將其內(nèi)容引入至本文。當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3