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設(shè)有耗能板的簡(jiǎn)易外延片曝光裝置的制作方法

文檔序號(hào):12062527閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種設(shè)有耗能板的簡(jiǎn)易外延片曝光裝置,包括影像定準(zhǔn)器,影像定準(zhǔn)器頂部設(shè)有數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu),數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu)與影像定準(zhǔn)器之間安裝有曝光燈,數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu)與影像定準(zhǔn)器之間通過可調(diào)節(jié)裝置連接,影像定準(zhǔn)器底部位于一操作平臺(tái)上,影像定準(zhǔn)器與操作平臺(tái)之間鉸接,操作平臺(tái)靠近兩側(cè)面下表面處安裝有云臺(tái),云臺(tái)與操作平臺(tái)之間固定連接,兩云臺(tái)之間連接有耗能板,耗能板不止一個(gè),耗能板上設(shè)有導(dǎo)軌。本設(shè)有耗能板的簡(jiǎn)易外延片曝光裝置提高了設(shè)備的制動(dòng)化和智能化程度,使其線條更加均勻,同時(shí)延長(zhǎng)了曝光設(shè)備的使用壽命,具有良好的調(diào)節(jié)性,調(diào)試簡(jiǎn)單,方便操作。

技術(shù)研發(fā)人員:姚海林
受保護(hù)的技術(shù)使用者:東莞唯度電子科技服務(wù)有限公司
文檔號(hào)碼:201611010292
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.17
技術(shù)公布日:2017.05.24

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