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雙帶通截止型復(fù)合濾光膜、濾光片及其制備方法與流程

文檔序號:12062033閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.雙帶通截止型復(fù)合濾光膜,其特征在于,膜系結(jié)構(gòu)為滿足λ/4周期性的膜堆(LH)S,

其中,L為二氧化硅膜層;H為五氧化三鈦膜層,S為周期數(shù),取值為21-23;與基片相鄰的膜層為第1層,采用五氧化三鈦膜層,所述第1層的幾何厚度為177-178nm;最外層為S層,采用二氧化硅膜層,所述第S層的幾何厚度為178-179nm;第2-S層中,偶數(shù)層均為二氧化硅膜層,偶數(shù)層的幾何厚度為50-101nm,奇數(shù)層均為五氧化三鈦膜層,奇數(shù)層的幾何厚度為30-50nm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙帶通截止型復(fù)合濾光膜,其特征在于,S取值為22。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙帶通截止型復(fù)合濾光膜,其特征在于,

第1層的幾何厚度為177.05nm;第2層的幾何厚度為75.76nm;

第3層的幾何厚度為37.27nm;第4層的幾何厚度為78.89nm;

第5層的幾何厚度為47.18nm;第6層的幾何厚度為53.49nm;

第7層的幾何厚度為38.58nm;第8層的幾何厚度為82.23nm;

第9層的幾何厚度為46.44nm;第10層的幾何厚度為88.18nm;

第11層的幾何厚度為51.41nm;第12層的幾何厚度為92.54nm;

第13層的幾何厚度為51.8nm;第14層的幾何厚度為83.65nm;

第15層的幾何厚度為38.36nm;第16層的幾何厚度為59.64nm;

第17層的幾何厚度為35.24nm;第18層的幾何厚度為75.89nm;

第19層的幾何厚度為49.73nm;第20層的幾何厚度為94.78nm;

第21層的幾何厚度為53.36nm;第22層的幾何厚度為94.84nm;

第23層的幾何厚度為53.07nm;第24層的幾何厚度為93.91nm;

第25層的幾何厚度為49.13nm;第26層的幾何厚度為77.24nm;

第27層的幾何厚度為30.12nm;第28層的幾何厚度為55.92nm;

第29層的幾何厚度為42.28nm;第30層的幾何厚度為85.93nm;

第31層的幾何厚度為51.6nm;第32層的幾何厚度為97.17nm;

第33層的幾何厚度為54.09nm;第34層的幾何厚度為97.98nm;

第35層的幾何厚度為53.76nm;第36層的幾何厚度為95.61nm;

第37層的幾何厚度為53.04nm;第38層的幾何厚度為100.15nm;

第39層的幾何厚度為53.93nm;第40層的幾何厚度為92.96nm;

第41層的幾何厚度為51.64nm;第42層的幾何厚度為88.44nm;

第43層的幾何厚度為48.43nm;第44層的幾何厚度為178.8nm。

4.采用如權(quán)利要求1-3所述的濾光膜制成的雙帶通截止型復(fù)合濾光片,其特征在于,還包括光學(xué)玻璃基片,在所述基片上覆蓋所述第1層膜層。

5.如權(quán)利要求4所述雙帶通截止型復(fù)合濾光片的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟S101,清潔基片;

步驟S102,將基片放入真空室內(nèi),抽真空至2×10-2Pa,加熱所述基片至170℃-200℃;

步驟S103,鍍制第1層膜層,對五氧化三鈦膜料顆粒進行預(yù)熔,用預(yù)熔后的五氧化三鈦膜料對基片進行離子轟擊,真空度為2×10-2Pa,離子轟擊電壓600V-1kV負(fù)高壓,離擊時間為15min-20min,使五氧化三鈦膜料離子沉積在基片上,采用石英晶體監(jiān)控以及光學(xué)監(jiān)控的方法確定第1層膜層的厚度;

步驟S104,鍍制第2層膜層,對二氧化硅膜料顆粒進行預(yù)熔,用預(yù)熔后的二氧化硅膜料對基片進行離子轟擊,真空度為2×10-1Pa,離子轟擊電壓400V-800V負(fù)高壓,離擊時間為10min-15min,使二氧化硅膜料離子沉積在基片上,采用石英晶體監(jiān)控以及光學(xué)監(jiān)控的方法確定第2層膜層的厚度;

步驟S105,鍍制第3層膜層,對五氧化三鈦膜料顆粒進行預(yù)熔,用預(yù)熔后的五氧化三鈦膜料對基片進行離子轟擊,真空度為2×10-1Pa,離子轟擊電壓200V-600V負(fù)高壓,離擊時間為10min-15min,使五氧化三鈦膜料離子沉積在基片上,采用石英晶體監(jiān)控以及光學(xué)監(jiān)控的方法確定第3層膜層的厚度;

步驟S106,依次重復(fù)步驟S104和步驟S105,鍍制第4~43層膜層;

步驟S107,鍍制第44層膜層,對二氧化硅膜料顆粒進行預(yù)熔,用預(yù)熔后的二氧化硅膜料對基片進行離子轟擊,真空度為2×10-2Pa,離子轟擊電壓600V-1kV負(fù)高壓,離擊時間為15min-20min,使二氧化硅膜料離子沉積在基片上,采用石英晶體監(jiān)控以及光學(xué)監(jiān)控的方法確定第44層膜層的厚度;

步驟S108,將鍍制完成44層膜層的濾光片放置在真空室內(nèi)200℃的溫度中保溫2小時后取出。

6.如權(quán)利要求5所述雙帶通截止型復(fù)合濾光片的制備方法,其特征在于,在步驟S103-步驟S107中還包括:離子輔助沉淀;在采用膜料對基片進行離子轟擊的同時,通過離子束轟擊在基片表面的淀積離子。

7.如權(quán)利要求6所述雙帶通截止型復(fù)合濾光片的制備方法,其特征在于,在步驟S108中包括:

步驟S1081,將鍍制完成44層膜層的濾光片放置在真空室內(nèi)200℃的溫度中保溫2小時,待真空室溫度降至100℃以下,打開放氣閥向真空室內(nèi)充氣,使真空室內(nèi)氣壓與大氣壓相等,并放置2小時;

步驟S1082,在大氣壓環(huán)境下對濾光片進行烘烤,在200℃溫度中烘烤2小時。

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