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一種菲涅爾器件的制作方法及制作裝置與流程

文檔序號:11152439閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種菲涅爾器件的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:

1)圖像3D建模;

2)將建模后的3D圖,按照菲涅爾的變化規(guī)律進行量化處理;

3)通過等高投影或等寬投影進行像素微結(jié)構(gòu)模擬;

4)像素化拼接;

5)通過光刻工藝將整個圖像光刻完成;

6)通過轉(zhuǎn)移工藝將模板轉(zhuǎn)移到應用材料上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種菲涅爾器件的制作方法,其特征在于,所述步驟2)中,量化后將圖像分解為位置變量、位置變量、取向角度變量和坡度變量。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種菲涅爾器件的制作方法,其特征在于,將每一個具有取向角和坡度的像素微結(jié)構(gòu)進行像素化拼接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種菲涅爾器件的制作方法,其特征在于,所述步驟3)中,所述等高投影為微結(jié)構(gòu)在模擬后通過有傾斜角度的條紋疏密圖來表示;其中:所述微結(jié)構(gòu)的坡度用條紋疏密來表示;所述微結(jié)構(gòu)的角度為取向角,用條紋的傾斜角度來表示。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種菲涅爾器件的制作方法,其特征在于,所述步驟3)中,所述等寬投影為微結(jié)構(gòu)在模擬后通過有傾斜角度的灰度圖來表示;其中:所述微結(jié)構(gòu)的坡度用灰度來表示;所述微結(jié)構(gòu)的角度為取向角,用灰度傾斜角度來表示。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種菲涅爾器件的制作方法,其特征在于,所述步驟4)中,采用空間光調(diào)制器將像素灰度圖或像素條紋疏密圖,按序在記錄材料上光刻,并控制二位移動平臺相應移位,直至整個圖像光刻完成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種菲涅爾器件的制作方法,其特征在于,所述步驟5)中,經(jīng)顯影處理完成任意形狀菲涅爾器件的模板制作,再經(jīng)過后續(xù)工序,最終轉(zhuǎn)移到應用材料上。

8.一種菲涅爾器件的制作裝置,其特征在于,包括:

空間光調(diào)制器,其用于顯示圖像數(shù)據(jù);

光源,其發(fā)出的光照明所述空間光調(diào)制器;

精縮光學系統(tǒng),其將所述空間光調(diào)制器上的圖像微縮到記錄材料表面,形成結(jié)構(gòu)光場,該光場與感光材料發(fā)生光化學作用;

二維移動平臺,其提供光學系統(tǒng)和記錄材料的相對移動;

控制系統(tǒng),其用于圖像顯示、曝光、工件臺移動協(xié)調(diào)工作。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種菲涅爾器件的制作裝置,其特征在于,所述空間光調(diào)制器為透射式的LCD、反射式的DMD或反射式的LCOS。

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