技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種紫外激光投影鏡頭，屬于光學(xué)鏡頭技術(shù)領(lǐng)域。所述紫外激光為波長(zhǎng)為200nm~400nm的準(zhǔn)分子激光，紫外激光投影鏡頭包括光學(xué)結(jié)構(gòu)和機(jī)械結(jié)構(gòu)兩部分，光學(xué)結(jié)構(gòu)包括沿入射光線(xiàn)傳輸方向依次設(shè)置的第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，其中第一透鏡為雙凸型柱面正透鏡，第二透鏡為凹凸型柱面負(fù)透鏡，第三透鏡為雙凸型柱面正透鏡；機(jī)械結(jié)構(gòu)包括沿入射光線(xiàn)傳輸方向依次設(shè)置的固定架，第一調(diào)節(jié)組件，第二調(diào)節(jié)組件，第三調(diào)節(jié)組件。本發(fā)明的鏡頭結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于裝調(diào)，生產(chǎn)成本低，便于拆裝和維護(hù)，可應(yīng)用于平板顯示低溫多晶硅制備的光束整形系統(tǒng)中。

技術(shù)研發(fā)人員：尹廣玥;游利兵;方曉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院
文檔號(hào)碼：201611137768
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.12
技術(shù)公布日：2017.05.17