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一種用于集成光學(xué)相控陣的電光單元及光學(xué)相控陣的制作方法

文檔序號:11152677閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種電光單元,其特征在于,包括一光耦合器、一微型諧振器、一電光控制結(jié)構(gòu)和一光發(fā)射器;其中

該光耦合器與該微型諧振器連接,用于將光信號耦合輸入到該微型諧振器內(nèi);

該電光控制結(jié)構(gòu)設(shè)置于該微型諧振器內(nèi),用于調(diào)制該微型諧振器內(nèi)的光信號的光場強度和或相位;

該光發(fā)射器與該微型諧振器的輸出端連接,用于將輸出光場發(fā)射到空間中。

2.如權(quán)利要求1所述的電光單元,其特征在于,該電光控制結(jié)構(gòu)包括電光作用區(qū)和電學(xué)連接線;其中,電學(xué)連接線與電光作用區(qū)連接,用于將電信號加載到該電光作用區(qū)。

3.如權(quán)利要求2所述的電光單元,其特征在于,該電光作用區(qū)的材料為具有電光效應(yīng)的材料。

4.如權(quán)利要求2或3所述的電光單元,其特征在于,該電光作用區(qū)的材料為加載電信號時能夠引起光傳輸波導(dǎo)及光學(xué)腔內(nèi)的光學(xué)特性改變的材料。

5.如權(quán)利要求1所述的電光單元,其特征在于,該微型諧振器包括光傳輸波導(dǎo)和光學(xué)諧振腔;其中,光傳輸波導(dǎo)與光學(xué)諧振腔間距滿足光的隱逝條件,使得光傳輸波導(dǎo)中的光能夠進入光學(xué)諧振腔中。

6.如權(quán)利要求1所述的電光單元,其特征在于,該光耦合器利用光的隱逝現(xiàn)象將光信號耦合入該微型諧振器中。

7.如權(quán)利要求1所述的電光單元,其特征在于,該光發(fā)射器為集成光天線或聚光型光柵。

8.一種基于權(quán)利要求1所述電光單元的光學(xué)相控陣,其特征在于,包括多個按照設(shè)定方式排列的電光單元。

9.如權(quán)利要求8所述的光學(xué)相控陣,其特征在于,各電光單元的間距為一微米至五百微米,使得出射光具有足夠的空間相干性。

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