技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種極紫外光的二維單級(jí)衍射光柵，包括：透明基底以及位于所述透明基底表面的柵條層；所述柵條層具有多個(gè)透光柵條以及多個(gè)不透光柵條；所述透光柵條以及所述不透光柵條在第一方向上交替分布，且所述透光柵條以及所述不透光柵條均沿第二方向延伸，所述第一方向垂直于所述第二方向；在所述第一方向上，所述透光柵條相對(duì)的兩邊均為鋸齒形；且所述透光柵條在所述第一方向上的寬度處處相同。本發(fā)明技術(shù)方案通過鋸齒形的透光柵條與不透光柵條實(shí)現(xiàn)衍射，透光柵條的寬度不變，并設(shè)置隨機(jī)分布的透光柵條，使得不透光柵條的寬度滿足預(yù)設(shè)的隨機(jī)分布，可以在實(shí)現(xiàn)對(duì)預(yù)設(shè)波段實(shí)現(xiàn)衍射的同時(shí)消除高次諧波。

技術(shù)研發(fā)人員：劉子維;浦探超;史麗娜;謝常青;王冠亞;李海亮;牛潔斌;劉明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.23
技術(shù)公布日：2017.07.18