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光柵耦合器的制作方法

文檔序號:41947417發(fā)布日期:2025-05-16 14:04閱讀:7來源:國知局
光柵耦合器的制作方法

本發(fā)明涉及光柵耦合器,特別涉及一種光柵耦合器。


背景技術(shù):

1、相關(guān)技術(shù)中,光柵耦合器作為連接光纖與波導(dǎo)的光學(xué)器件,能夠?qū)崿F(xiàn)光纖與波導(dǎo)的相互耦合。目前,光纖出射的光在耦入光柵耦合器的波導(dǎo)芯層后,一部分光沿著波導(dǎo)芯層傳輸,一部分則會散射到光柵耦合器的襯底而導(dǎo)致光能量損耗,從而會影響光柵耦合器的耦合效率。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的是提出一種光柵耦合器,旨在提高光柵耦合器的耦合效率。

2、為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提出的光柵耦合器,包括:

3、波導(dǎo)芯層,設(shè)有光柵部,所述光柵部用于接收外部光纖耦入的光線,以使所述光線耦入所述波導(dǎo)芯層,并通過所述波導(dǎo)芯層傳輸;和

4、襯底層,設(shè)于所述波導(dǎo)芯層背離所述外部光纖的一側(cè),所述襯底層設(shè)有反射結(jié)構(gòu),所述反射結(jié)構(gòu)與所述光柵部相對設(shè)置,用于反射自所述波導(dǎo)芯層散射至所述襯底層的光線,以使所述光線通過所述光柵部耦入所述波導(dǎo)芯層。

5、在一實施方式中,所述襯底層包括:

6、襯底部,設(shè)于所述波導(dǎo)芯層背離所述外部光纖的一側(cè),并與所述波導(dǎo)芯層間隔設(shè)置,所述襯底部的其中一側(cè)設(shè)有所述反射結(jié)構(gòu);和

7、氧化物埋入部,設(shè)于所述襯底部和所述波導(dǎo)芯層之間。

8、在一實施方式中,所述反射結(jié)構(gòu)設(shè)于所述襯底部朝向所述氧化物埋入部的一側(cè)。

9、在一實施方式中,所述反射結(jié)構(gòu)朝向所述波導(dǎo)芯層的一側(cè)設(shè)有凹面結(jié)構(gòu),以使其所接收的光線朝向所述光柵部匯聚。

10、在一實施方式中,所述凹面結(jié)構(gòu)設(shè)有若干,若干所述凹面結(jié)構(gòu)沿所述光柵部的周期方向并排設(shè)置。

11、在一實施方式中,所述波導(dǎo)芯層還包括波導(dǎo)部,所述光柵部包括:

12、基底結(jié)構(gòu),所述基底結(jié)構(gòu)與所述波導(dǎo)部依次連接,并與所述反射結(jié)構(gòu)相對間隔設(shè)置;

13、第一光柵結(jié)構(gòu),所述第一光柵結(jié)構(gòu)位于所述基底結(jié)構(gòu)朝向所述襯底層的一側(cè),用于接收并耦入所述反射結(jié)構(gòu)反射的光線;以及

14、第二光柵結(jié)構(gòu),所述第二光柵結(jié)構(gòu)位于所述基底結(jié)構(gòu)背離所述襯底層的一側(cè),用于接收并耦入外部光纖耦入的光線。

15、在一實施方式中,所述波導(dǎo)芯層還包括光刻膠部,所述光刻膠部疊設(shè)于所述襯底層的一側(cè),所述基底結(jié)構(gòu)疊設(shè)于所述光刻膠部背離所述襯底層的一側(cè);

16、所述光刻膠部背離所述襯底層的一側(cè)設(shè)有光柵槽,所述光柵槽和所述第一光柵結(jié)構(gòu)仿形設(shè)置。

17、在一實施方式中,所述第一光柵結(jié)構(gòu)和所述第二光柵結(jié)構(gòu)對稱設(shè)置于所述基底結(jié)構(gòu)的相背兩側(cè)。

18、在一實施方式中,所述第一光柵結(jié)構(gòu)和/或所述第二光柵結(jié)構(gòu)為變跡光柵,所述變跡光柵的周期沿所述光柵部至所述波導(dǎo)部的方向逐漸減小設(shè)置。

19、在一實施方式中,所述光柵耦合器還包括包層,所述包層覆蓋于所述波導(dǎo)芯層背離所述襯底層的一側(cè)。

20、本發(fā)明的技術(shù)方案的光柵耦合器包括層疊設(shè)置的波導(dǎo)芯層和襯底層,其中,波導(dǎo)芯層設(shè)有用于接收外部光纖耦入的光線的光柵部,襯底層設(shè)有和光柵部相對設(shè)置的反射結(jié)構(gòu)。當(dāng)光線由外部光纖耦入光柵耦合器的波導(dǎo)芯層后,部分光線會散射至襯底層的反射結(jié)構(gòu)處,此時,反射結(jié)構(gòu)能夠?qū)⒃摬糠止饩€重新反射回波導(dǎo)芯層的光柵部,以使散射至襯底層中的光線能夠通過光柵部重新耦入波導(dǎo)芯層,從而可以有效減少光柵耦合器因光線散射到襯底層而導(dǎo)致的光能量損耗,提高了光柵耦合器的耦合效率。



技術(shù)特征:

1.一種光柵耦合器,其特征在于,包括:

2.如權(quán)利要求1所述的光柵耦合器,其特征在于,所述襯底層包括:

3.如權(quán)利要求2所述的光柵耦合器,其特征在于,所述反射結(jié)構(gòu)設(shè)于所述襯底部朝向所述氧化物埋入部的一側(cè)。

4.如權(quán)利要求1所述的光柵耦合器,其特征在于,所述反射結(jié)構(gòu)朝向所述波導(dǎo)芯層的一側(cè)設(shè)有凹面結(jié)構(gòu),以使其所接收的光線朝向所述光柵部匯聚。

5.如權(quán)利要求4所述的光柵耦合器,其特征在于,所述凹面結(jié)構(gòu)設(shè)有若干,若干所述凹面結(jié)構(gòu)沿所述光柵部的周期方向并排設(shè)置。

6.如權(quán)利要求1至5中任一項所述的光柵耦合器,其特征在于,所述波導(dǎo)芯層還包括波導(dǎo)部,所述光柵部包括:

7.如權(quán)利要求6所述的光柵耦合器,其特征在于,所述波導(dǎo)芯層還包括光刻膠部,所述光刻膠部疊設(shè)于所述襯底層的一側(cè),所述基底結(jié)構(gòu)疊設(shè)于所述光刻膠部背離所述襯底層的一側(cè);

8.如權(quán)利要求6所述的光柵耦合器,其特征在于,所述第一光柵結(jié)構(gòu)和所述第二光柵結(jié)構(gòu)對稱設(shè)置于所述基底結(jié)構(gòu)的相背兩側(cè)。

9.如權(quán)利要求6所述的光柵耦合器,其特征在于,所述第一光柵結(jié)構(gòu)和/或所述第二光柵結(jié)構(gòu)為變跡光柵,所述變跡光柵的周期沿所述光柵部至所述波導(dǎo)部的方向逐漸減小設(shè)置。

10.如權(quán)利要求1至5中任一項所述的光柵耦合器,其特征在于,所述光柵耦合器還包括包層,所述包層覆蓋于所述波導(dǎo)芯層背離所述襯底層的一側(cè)。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種光柵耦合器,涉及光柵耦合器技術(shù)領(lǐng)域,其中,光柵耦合器包括波導(dǎo)芯層和襯底層,波導(dǎo)芯層設(shè)有光柵部,光柵部用于接收外部光纖耦入的光線,以使光線耦入波導(dǎo)芯層,并通過波導(dǎo)芯層傳輸;襯底層設(shè)于波導(dǎo)芯層背離外部光纖的一側(cè),襯底層設(shè)有反射結(jié)構(gòu),反射結(jié)構(gòu)與光柵部相對設(shè)置,用于反射自波導(dǎo)芯層散射至襯底層的光線,以使光線通過光柵部耦入波導(dǎo)芯。本發(fā)明的技術(shù)方案,能夠提高光柵耦合器的耦合效率。

技術(shù)研發(fā)人員:施佼佼,高峰,王磊,姬厚領(lǐng),何林燁,黃宇森
受保護(hù)的技術(shù)使用者:鵬城實驗室
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/15
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