專利名稱：品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管具有獨特的場致發(fā)射特性，在外加電壓的作用下能夠發(fā)射出大量的電子，非常適合于用作場致發(fā)射平板器件的陰極材料。碳納米管作為陰極電子源，與熱陰極相比較，省掉了加熱源，無須加熱，可隨時啟動，是一種典型的冷陰極材料。利用碳納米管作為陰極材料而制作的場致發(fā)射平板顯示器是一種新型的平板器件，具有高清晰度、高亮度以及高分辨率等特點，其應(yīng)用越來越廣泛，已經(jīng)成為了平板顯示領(lǐng)域的熱門話題。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的驅(qū)動電路相聯(lián)系，制作三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射平板顯示器已經(jīng)成為了一種必然的選擇。柵極結(jié)構(gòu)是三極結(jié)構(gòu)場致發(fā)射平板顯示器中比較關(guān)鍵的控制元件之一，它直接控制著碳納米管陰極的電子發(fā)射。目前，在大多數(shù)的顯示器件當中都采用了柵極位于碳納米管陰極上方的結(jié)構(gòu)形式，當在柵極上施加適當電壓以后，就會在碳納米管頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量電子。因此，柵極電壓是決定碳納米管發(fā)射電子的重要因素。與此同時，碳納米管陰極的形狀也影響著在碳納米管陰極表面頂端所形成的電場強度，碳納米管陰極的形狀曲率越小，越不利于進一步增強所形成的電場強度，也就越不利于進一步降低器件的整體工作電壓。那么，如何有效地進一步增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度，從而能夠發(fā)射出更多的電子，如何進一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，符合平板器件低工作電壓的要求，這些都是急需解決的問題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的帶有一種品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層、制備在陽極導電層上面的熒光粉層以及在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)。
所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成提升層；提升層分為三個三面棱椎型形狀，即三面棱椎位于陰極引線層的上面，有三個面，每個面均是三角形形狀；提升層中的三個三面棱椎呈品字型排列，是通過底部的陰極引線層而相互連通的；提升層表面的刻蝕后的金屬層形成陰極連通層；陰極連通層布滿提升層的上表面；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層的下表面為一個平面，覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層，上表面也為一個平面，和柵極引線層相互接觸；隔離層中存在電子通道孔，暴露出底部的提升層和陰極連通層；電子通道孔的內(nèi)表面是垂直于陰極玻璃面板的一個圓柱面；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分伸向電子通道孔的中心部位，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極引線層中前端處于懸空狀態(tài)部分并不是水平狀態(tài)的，而是呈現(xiàn)一個兩段折線形狀，依次略向下彎曲；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但是不能夠覆蓋住其前端處于懸空狀態(tài)部分的柵極引線層；碳納米管制備在陰極連通層上面。
所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；提升層的摻雜類型為n型、p型；陰極連通層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層的制作在絕緣層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)提升層的制作在陰極引線層上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成提升層；5)陰極連通層的制作在提升層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極連通層；6)隔離層的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；隔離層中存在電子通道孔；7)柵極引線層的制作在隔離層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；11)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；13)絕緣漿料層的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[14]和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟13具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
所述步驟14具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行高溫燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)中，將陰極提升層制作成了三個三面棱椎狀形狀，且呈品字型排列。這樣，就極大地增大的碳納米管陰極的發(fā)射面積，有利于提高整體器件的顯示亮度。同時，利用摻雜多晶硅層的半導體特性，可以對流經(jīng)碳納米管陰極的電流進行調(diào)節(jié)，避免其過大或者過小。另外，由于棱椎的多面性，可以有效地改變碳納米管陰極的形狀，使得其曲率變小，有利于碳納米管能夠發(fā)射出更多的電子。
其次，在所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)中，將柵極引線層制作成了多段折線型。這樣，一方面可以進一步縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，降低整體器件的工作電壓，另一方面還有利于進一步增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度，迫使其發(fā)射出更多的電子，有利于提高整體器件的顯示亮度。
此外，在所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3給出了帶有品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進行進一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例。
所述的一種帶有品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[10]和四周玻璃圍框[15]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[11]、制備在陽極導電層上面的熒光粉層[13]以及在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[12]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[14]以及消氣劑[16]附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]、碳納米管[9]以及品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)。
所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、陰極引線層[3]、提升層[4]、陰極連通層[5]、隔離層[6]、柵極引線層[7]、柵極覆蓋層[8]和碳納米管[9]部分。
所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成提升層；提升層分為三個三面棱椎型形狀，即三面棱椎位于陰極引線層的上面，有三個面，每個面均是三角形形狀；提升層中的三個三面棱椎呈品字型排列，是通過底部的陰極引線層而相互連通的；提升層表面的刻蝕后的金屬層形成陰極連通層；陰極連通層布滿提升層的上表面；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層的下表面為一個平面，覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層，上表面也為一個平面，和柵極引線層相互接觸；隔離層中存在電子通道孔，暴露出底部的提升層和陰極連通層；電子通道孔的內(nèi)表面是垂直于陰極玻璃面板的一個圓柱面；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分伸向電子通道孔的中心部位，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極引線層中前端處于懸空狀態(tài)部分并不是水平狀態(tài)的，而是呈現(xiàn)一個兩段折線形狀，依次略向下彎曲；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但是不能夠覆蓋住其前端處于懸空狀態(tài)部分的柵極引線層；碳納米管制備在陰極連通層上面。
所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；提升層的摻雜類型可以為n型，也可以為p型；陰極連通層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種帶有品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成陰極引線層；4)提升層[4]的制作在陰極引線層上面制備出一個n型摻雜多晶硅層，刻蝕后形成提升層；5)陰極連通層[5]的制作在提升層上面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極連通層；6)隔離層[6]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；隔離層中存在電子通道孔；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管[9]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；11)陽極玻璃面板[10]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導電層[11]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；13)絕緣漿料層[12]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層[13]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[14]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟4具體為陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成提升層；提升層分為三個三面棱椎型形狀，即三面棱椎位于陰極引線層的上面，有三個面，每個面均是三角形形狀；提升層中的三個三面棱椎呈品字型排列，是通過底部的陰極引線層而相互連通的。
所述步驟5具體為提升層表面的刻蝕后的金屬層形成陰極連通層；陰極連通層布滿提升層的上表面。
所述步驟7具體為隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分伸向電子通道孔的中心部位，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極引線層中前端處于懸空狀態(tài)部分并不是水平狀態(tài)的，而是呈現(xiàn)一個兩段折線形狀，依次略向下彎曲。
所述步驟13具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)；所述步驟14具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)；所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行高溫燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[10]和四周玻璃圍框[15]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[11]、制備在陽極導電層上面的熒光粉層[13]以及在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[12]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[14]以及消氣劑[16]附屬元件，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]、碳納米管[9]以及品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成提升層；提升層分為三個三面棱椎型形狀，即三面棱椎位于陰極引線層的上面，有三個面，每個面均是三角形形狀；提升層中的三個三面棱椎呈品字型排列，是通過底部的陰極引線層而相互連通的；提升層表面的刻蝕后的金屬層形成陰極連通層；陰極連通層布滿提升層的上表面；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層的下表面為一個平面，覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層，上表面也為一個平面，和柵極引線層相互接觸；隔離層中存在電子通道孔，暴露出底部的提升層和陰極連通層；電子通道孔的內(nèi)表面是垂直于陰極玻璃面板的一個圓柱面；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分伸向電子通道孔的中心部位，呈現(xiàn)一種懸空狀態(tài)；柵極引線層中前端處于懸空狀態(tài)部分并不是水平狀態(tài)的，而是呈現(xiàn)一個兩段折線形狀，依次略向下彎曲；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但是不能夠覆蓋住其前端處于懸空狀態(tài)部分的柵極引線層；碳納米管制備在陰極連通層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；提升層的摻雜類型為n型、p型；陰極連通層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
4.一種品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)提升層[4]的制作在陰極引線層上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成提升層；5)陰極連通層[5]的制作在提升層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極連通層；6)隔離層[6]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；隔離層中存在電子通道孔；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管[9]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；11)陽極玻璃面板[10]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導電層[11]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；13)絕緣漿料層[12]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層[13]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[14]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟13具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行高溫燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及品字型錐狀陰極陣列結(jié)構(gòu)；在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠進一步增達碳納米管陰極的發(fā)射電子面積，增強碳納米管陰極頂端的電場強度，有利于提高整體器件的顯示亮度，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J9/00GK1956125SQ20061010730
公開日2007年5月2日 申請日期2006年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月17日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學院