Rf回路結(jié)構(gòu)及設備機臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種RF回路結(jié)構(gòu)及設備機臺，所述RF回路結(jié)構(gòu)包括：一端固定在反應腔室上蓋上的條帶，與條帶另一端固定相連的固定件，貫穿反應腔室上蓋和反應腔室下體，一端與所述固定件相連，另一端與一射頻相連的銅芯棒，固定件通過卡盤固定在反應腔室上蓋上。將銅芯棒貫穿反應腔室上蓋以及反應腔室下體，使銅芯棒與固定件、條帶直接相連，避免現(xiàn)有技術(shù)中采用插塞與銅芯棒相連出現(xiàn)尖端放電導致接觸不良的現(xiàn)象，此外，固定件通過卡盤與反應腔室上蓋相連，不再采用螺絲連接，避免螺絲出現(xiàn)折斷導致回路接觸不良的現(xiàn)象，能夠保證RF回路的穩(wěn)定性，從而提高設備機臺的性能。
【專利說明】RF回路結(jié)構(gòu)及設備機臺

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及半導體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種RF回路結(jié)構(gòu)及設備機臺。

【背景技術(shù)】
[0002] 半導體工藝中，在進行反應時設備機臺通常需要使用到射頻源（Radio Frequency，RF)對反應腔室內(nèi)的氣體等進行解離處理，為了使RF能夠作用在反應腔室上， 設備機臺通常會設置一射頻回路（RF Loop)，射頻回路通常包括與RF相連的銅芯棒、條帶 以及插塞。
[0003] 請參考圖1和圖2,圖1為現(xiàn)有技術(shù)中條帶和插塞的連接結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為現(xiàn)有 技術(shù)中條帶的俯視圖；其中，條帶11的一端與固定件10通過螺絲相固定，另一端與反應腔 室導電處相連，用于提供射頻電源；條帶11具有三個螺孔15,便于使用螺絲固定；固定件 10內(nèi)設有彈簧12,用于對條帶11施加頂力，便于其與插塞13保持良好接觸，其中，插塞13 外設有絕緣體14,使其與外界絕緣。
[0004] 請參考圖3,圖3為現(xiàn)有技術(shù)中射頻回路安裝在反應腔室的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，反 應腔室包括反應腔室上蓋31和反應腔室下體32,其中，所述反應腔室上蓋31能夠打開，與 所述反應腔室下體32分開；所述條帶11、固定件10以及插塞13均固定在反應腔室上蓋31 上，反應腔室下體32內(nèi)則固定有銅芯棒20,銅芯棒20的一端與射頻（圖未示出）相連，另 一端可以在反應腔室上蓋31和反應腔室下體32閉合時與所述插塞13相連。
[0005] 當反應腔室上蓋31和反應腔室下體32閉合時，所述插塞13能夠與所述銅芯棒20 相連，構(gòu)成射頻回路。然而由于所述插塞13與所述銅芯棒20相連的一端為接觸連接，即二 者相互接觸（如圖3虛線框所示），并且插塞13存在一定的尖端，因此容易出現(xiàn)尖端放電， 并且形成缺陷，導致兩者接觸不良，影響設備機臺的正常工作。同時，由于固定件20、條帶 11均是通過螺絲固定在所述反應腔室上蓋31上，由于螺絲較細，容易出現(xiàn)折斷，致使固定 不牢靠，也會出現(xiàn)RF回路接觸不良的情況。 實用新型內(nèi)容
[0006] 本實用新型的目的在于提供一種RF回路結(jié)構(gòu)及設備機臺，能夠避免出現(xiàn)接觸不 良的情況，提1?設備機臺的性能。
[0007] 為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出了一種RF回路結(jié)構(gòu)，所述回路結(jié)構(gòu)包括：條 帶、固定件以及銅芯棒，其中，所述條帶的一端固定在反應腔室上蓋上，另一端固定在所述 固定件上，所述固定件通過卡盤固定在所述反應腔室上蓋上，所述銅芯棒一端與所述固定 件相連，另一端貫穿所述反應腔室上蓋和反應腔室下體后與一射頻連接。
[0008] 可選的，在所述的RF回路結(jié)構(gòu)中，還包括設置于所述固定件內(nèi)部的彈簧，所述彈 簧頂緊所述條帶使其與銅芯棒保持接觸。
[0009] 可選的，在所述的RF回路結(jié)構(gòu)中，還包括多個卡位部件，所述固定件通過所述多 個卡位部件與所述卡盤相固定。
[0010] 可選的，在所述的RF回路結(jié)構(gòu)中，所述卡位部件一部分固定在所述固定件上，另 一部分固定在所述卡盤上。
[0011] 可選的，在所述的RF回路結(jié)構(gòu)中，所述卡位部件為6個，其中3個固定在所述固定 件上，另外3個固定在所述卡盤上。
[0012] 可選的，在所述的RF回路結(jié)構(gòu)中，還包括設置于所述銅芯棒外側(cè)的絕緣體，所述 絕緣體包圍所述銅芯棒。
[0013] 本實用新型還提出了 一種設備機臺，包括一反應腔室以及設置于所述反應腔室外 的射頻，所述反應腔室包括反應腔室上蓋和反應腔室下體，還包括RF回路結(jié)構(gòu)，所述RF回 路結(jié)構(gòu)一端與所述反應腔室上蓋相連，另一端與所述射頻相連。
[0014] 可選的，在所述的設備機臺中，所述RF回路結(jié)構(gòu)與射頻相連的一端設有絕緣固定 部件。
[0015] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果主要體現(xiàn)在：將銅芯棒貫穿反應腔室上 蓋以及反應腔室下體，使銅芯棒與固定件、條帶直接相連，避免現(xiàn)有技術(shù)中采用插塞與銅芯 棒相連出現(xiàn)尖端放電導致接觸不良的現(xiàn)象，此外，固定件通過卡盤與反應腔室上蓋相連，不 再采用螺絲連接，避免螺絲出現(xiàn)折斷導致回路接觸不良的現(xiàn)象，能夠保證RF回路的穩(wěn)定 性，從而提高設備機臺的性能。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)中條帶和插塞的連接結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017] 圖2為現(xiàn)有技術(shù)中條帶的俯視圖；
[0018] 圖3為現(xiàn)有技術(shù)中射頻回路安裝在反應腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019] 圖4為本實用新型一實施例中射頻回路安裝在反應腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020] 圖5為本實用新型一實施例中固定件和卡盤的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0021] 下面將結(jié)合示意圖對本實用新型的RF回路結(jié)構(gòu)及設備機臺進行更詳細的描述， 其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實 用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù) 人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
[0022] 為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和 耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0023] 在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權(quán) 利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且 均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0024] 請參考圖4,在本實施例中，提出了一種RF回路結(jié)構(gòu)，所述RF回路結(jié)構(gòu)包括：條帶 110、固定件120以及銅芯棒200,其中，所述條帶110的一端通過導電片400固定在反應腔 室上蓋310上，另一端固定在所述固定件120上，所述固定件120通過卡盤130固定在所述 反應腔室上蓋310上，所述銅芯棒200 -端與所述固定件120相連，另一端貫穿所述反應腔 室上蓋310和反應腔室下體320后與一射頻（圖未示出）連接，從而構(gòu)成射頻（RF)電路回 路，所述射頻電路回路用于對反應腔室內(nèi)提供相應的射頻電源，便于反應腔室進行相應的 反應。
[0025] 請參考圖5,在本實施例中，所述固定件120通過多個卡位部件與卡盤130相固定， 所述卡位部件為3對，2個一組相互對應，第一組卡位部件121固定在所述固定件120上， 第二組卡位部件131固定在所述卡盤130上，其中，第一組卡位部件121和第二組卡位部件 131位置一一對應，能夠通過旋轉(zhuǎn)的方式（如圖5箭頭所示）將兩者卡緊，同樣的，也可以通 過旋轉(zhuǎn)的方式將兩者分開，該種卡口有利于安裝和拆卸固定件120。采用卡盤130的連接方 式避免固定件120采用螺絲與所述反應腔室上蓋310固定在一起，能夠避免螺絲發(fā)生折斷 后導致兩者接觸不良的現(xiàn)象，有利于提高RF回路的連接性能。
[0026] 請參考圖4,在本實施例中，所述固定件120內(nèi)部設有彈簧（圖未示出），彈簧能夠 頂緊所述條帶110使其與銅芯棒200保持良好接觸；所述銅芯棒200外側(cè)四周設有絕緣體 210,用于將銅芯棒200與反應腔室隔離開來，防止發(fā)生漏電。
[0027] 采用本實施例提出的固定件120以及銅芯棒200,由于銅芯棒200為一體成型，與 現(xiàn)有技術(shù)中需要兩段連接在一起不同，不會存在接觸不良的狀況，能夠很好的保證RF回路 的可靠性，為反應提供穩(wěn)定的環(huán)境。
[0028] 根據(jù)本實用新型的另一面，還提出了一種設備機臺，包括一反應腔室以及設置于 所述反應腔室外的射頻，所述反應腔室包括反應腔室上蓋310和反應腔室下體320,還包括 如上所述的RF回路結(jié)構(gòu)，所述RF回路結(jié)構(gòu)一端與所述反應腔室上蓋310相連，另一端與所 述射頻相連。
[0029] 所述RF回路結(jié)構(gòu)與射頻相連的一端設有絕緣固定部件330,具體的所述絕緣固定 部件330設于所述銅芯棒200與射頻相連的一端上，一方面用于起著隔離作用，另一方面用 于射頻與銅芯棒200固定在一起。
[0030] 綜上，在本實用新型實施例提供的RF回路結(jié)構(gòu)及設備機臺中，將銅芯棒貫穿反應 腔室上蓋以及反應腔室下體，使銅芯棒與固定件、條帶直接相連，避免現(xiàn)有技術(shù)中采用插塞 與銅芯棒相連出現(xiàn)尖端放電導致接觸不良的現(xiàn)象，此外，固定件通過卡盤與反應腔室上蓋 相連，不再采用螺絲連接，避免螺絲出現(xiàn)折斷導致回路接觸不良的現(xiàn)象，能夠保證RF回路 的穩(wěn)定性，從而提高設備機臺的性能。
[0031] 上述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。 任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實用新型 揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型 的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種RF回路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述RF回路結(jié)構(gòu)包括：條帶、固定件、卡盤以及銅芯 棒，其中，所述條帶的一端固定在一反應腔室上蓋上，另一端固定在所述固定件上，所述固 定件通過所述卡盤固定在所述反應腔室上蓋上，所述銅芯棒一端與所述固定件相連，另一 端貫穿所述反應腔室上蓋和一反應腔室下體后與一射頻連接。
2. 如權(quán)利要求1所述的RF回路結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括設置于所述固定件內(nèi)部的彈 簧，所述彈簧頂緊所述條帶使其與所述銅芯棒保持接觸。
3. 如權(quán)利要求1所述的RF回路結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括多個卡位部件，所述固定件通 過所述多個卡位部件與所述卡盤相固定。
4. 如權(quán)利要求3所述的RF回路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述卡位部件一部分固定在所述固 定件上，另一部分固定在所述卡盤上。
5. 如權(quán)利要求4所述的RF回路結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括6個所述卡位部件，其中3個固 定在所述固定件上，另外3個固定在所述卡盤上。
6. 如權(quán)利要求1所述的RF回路結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括設置于所述銅芯棒外側(cè)的絕 緣體，所述絕緣體包圍所述銅芯棒。
7. -種設備機臺，包括一反應腔室以及設置于所述反應腔室外的射頻，所述反應腔室 包括反應腔室上蓋和反應腔室下體，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1至6中任意一項所述 的RF回路結(jié)構(gòu)。
8. 如權(quán)利要求7所述的設備機臺，其特征在于，所述RF回路結(jié)構(gòu)與射頻相連的一端設 有絕緣固定部件。
【文檔編號】H01J37/16GK203895407SQ201420291248
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年6月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月3日
【發(fā)明者】曹偉剛, 田華 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司