本發(fā)明涉及作為使用了滾珠絲杠的直線動(dòng)作機(jī)構(gòu)的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)和加工裝置。

背景技術(shù)：

以往，在各種工作機(jī)械等裝置中，作為使用了滾珠絲杠的直線動(dòng)作機(jī)構(gòu)的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)較多使用在使對(duì)被加工物進(jìn)行加工的加工單元移動(dòng)的構(gòu)件及對(duì)被加工物進(jìn)行搬送的搬送構(gòu)件等中。例如，在專利文獻(xiàn)1中公開了具有切削進(jìn)給機(jī)構(gòu)的切削裝置，該切削進(jìn)給機(jī)構(gòu)具有：導(dǎo)軌，其設(shè)置在靜止基臺(tái)上并將對(duì)被加工物進(jìn)行保持的卡盤工作臺(tái)的支承基臺(tái)嵌合為能夠移動(dòng)；以及滾珠絲杠，其與支承基臺(tái)螺合。

專利文獻(xiàn)1：日本特許第5801077號(hào)公報(bào)

在使用了滾珠絲杠的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)中，將經(jīng)由多個(gè)滾珠而與螺紋螺合的螺母與作為移動(dòng)體的滑塊一體化，為了對(duì)多個(gè)滾珠與螺母之間進(jìn)行潤(rùn)滑，在絲杠上涂布潤(rùn)滑脂等潤(rùn)滑油。但是，當(dāng)該潤(rùn)滑油的涂布量過多時(shí)，有時(shí)潤(rùn)滑油會(huì)隨著滑塊的移動(dòng)而在絲杠與螺母嚙合時(shí)向周邊飛散。其結(jié)果是，存在潤(rùn)滑油附著在被加工物的表面上而妨礙被加工物的品質(zhì)提高的擔(dān)心。作為該對(duì)策，考慮了在滑塊的兩側(cè)安裝對(duì)滾珠絲杠進(jìn)行覆蓋的折皺狀的罩的方法，但在該方法中，滑塊的可動(dòng)區(qū)域會(huì)按照折皺狀的罩的最小厚度(折疊狀態(tài)下的寬度)減少。并且，存在因長(zhǎng)期的使用而容易在折皺狀的罩上產(chǎn)生損傷的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于上述而完成的，其目的在于提供移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)和加工裝置，在使用了滾珠絲杠的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)中，既能夠抑制部件的損傷，又能夠確保移動(dòng)體的可動(dòng)區(qū)域，并且抑制潤(rùn)滑油從滾珠絲杠向周邊飛散。

為了解決上述的課題并達(dá)成目的，本發(fā)明的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)具有：一對(duì)導(dǎo)軌，它們?cè)O(shè)置在基臺(tái)上；滾珠絲杠，其設(shè)置在該一對(duì)導(dǎo)軌之間并借助電動(dòng)機(jī)而旋轉(zhuǎn)；滑塊，其具有與該滾珠絲杠螺合的內(nèi)螺紋并沿著該導(dǎo)軌移動(dòng)；以及罩單元，其沿著該導(dǎo)軌和滾珠絲杠延伸并對(duì)該導(dǎo)軌和滾珠絲杠進(jìn)行覆蓋而防止涂布在該滾珠絲杠上的潤(rùn)滑油飛散，其中，該罩單元具有：截面為大致コ字形的流槽狀部件，其具有在滾珠絲杠伸展方向上延伸的蓋體和配設(shè)在該蓋體的兩側(cè)并在滾珠絲杠伸展方向上延伸的側(cè)板；以及固定部，其在滾珠絲杠伸展方向的兩端部將該流槽狀部件固定在該基臺(tái)上，并且將該流槽狀部件定位成利用該コ字形的內(nèi)側(cè)對(duì)該導(dǎo)軌和滾珠絲杠進(jìn)行覆蓋并在該コ字形的前端與該基臺(tái)之間空出間隙，該滑塊包含：主體部，其與該滾珠絲杠螺合并相對(duì)于該導(dǎo)軌滑動(dòng)；支架部，其從該主體部向該導(dǎo)軌的兩外側(cè)延伸，鉆過該基臺(tái)與該流槽狀部件之間的該間隙而沿著該側(cè)板立起；以及移動(dòng)體，其遍及立起的該支架部的兩端部而橫跨該流槽狀部件并固定，コ字形的該流槽狀部件接受飛散的該潤(rùn)滑油，該滑塊不與該流槽狀部件接觸地進(jìn)行移動(dòng)。

為了解決上述的課題并達(dá)成目的，本發(fā)明的加工裝置具有：卡盤工作臺(tái)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；加工單元，其對(duì)保持在該卡盤工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行加工；以及移動(dòng)單元，其使該卡盤工作臺(tái)與該加工單元相對(duì)移動(dòng)，其中，該移動(dòng)單元具有上述本發(fā)明的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)。

并且，優(yōu)選本發(fā)明的加工裝置具有：盒載置部，其對(duì)收納多個(gè)該被加工物的盒進(jìn)行載置；清洗單元，其對(duì)利用該加工單元進(jìn)行了加工的被加工物進(jìn)行清洗；以及搬送單元，其在載置于該盒載置部的該盒、該卡盤工作臺(tái)以及該清洗單元之間對(duì)該被加工物進(jìn)行搬送，該搬送單元借助上述本發(fā)明的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)而移動(dòng)。

本發(fā)明的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)和加工裝置起到如下效果：在使用了滾珠絲杠的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)中，既能夠抑制部件的損傷，又能夠確保移動(dòng)體的可動(dòng)區(qū)域，并且能夠抑制潤(rùn)滑油從滾珠絲杠向周邊飛散。

附圖說明

圖1是示出實(shí)施方式的加工裝置的概略的立體圖。

圖2是示出包含在圖1的加工裝置中的切削單元的概略的立體圖。

圖3是示出實(shí)施方式的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)的立體圖。

圖4是示出實(shí)施方式的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)的分解立體圖。

圖5是示出實(shí)施方式的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)的剖視圖。

圖6是示出作為比較例的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)的立體圖。

圖7是示出作為比較例的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)的剖視圖。

圖8是示出變形例的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)的剖視圖。

標(biāo)號(hào)說明

1：加工裝置；2：殼體；3：柱部；4：定位棒；5：基臺(tái)；10：盒載置部；20：保持單元；21：卡盤工作臺(tái)；21a：保持面；22：旋轉(zhuǎn)單元；23：卡盤工作臺(tái)支承基臺(tái)；24：加工進(jìn)給單元；24a：導(dǎo)軌；24b：滾珠絲杠；24c：脈沖電動(dòng)機(jī)；25：蓋板；26：折皺狀罩；30：清洗單元；31：旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)；40：切削單元；41：切削刀具；42：主軸；43：外殼；44：分度進(jìn)給單元；44a：y軸移動(dòng)單元；44b、45b：移動(dòng)體；45：切入進(jìn)給單元；45a：z軸移動(dòng)單元；50：搬送單元；51：第1搬送單元；51a、52a、53a：y軸移動(dòng)單元；51b、52b、53b：臂；51c：夾具；52：第2搬送單元；52c、53c：墊；53：第3搬送單元；60、60b、60c：移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)；61：導(dǎo)軌；62：脈沖電動(dòng)機(jī)；63：滾珠絲杠；64、64b：罩單元；641：流槽狀部件；641a：蓋體；641b：側(cè)板；641t：前端；642：固定部；65：滑塊；65a：主體部；65b：支架部；65c：移動(dòng)體；650：凹部；66：板體；70、80：間隙。

具體實(shí)施方式

以下，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)和加工裝置的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說明。另外，該發(fā)明并不僅限于該實(shí)施方式。

圖1是示出實(shí)施方式的加工裝置1的概略的立體圖，圖2是示出包含在加工裝置1中的切削單元40的立體圖。加工裝置1是對(duì)被加工物實(shí)施切削加工的裝置。加工裝置1具有：殼體2；盒載置部10，在該盒載置部10上載置有對(duì)被加工物進(jìn)行收納的未圖示的盒；保持單元20，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；清洗單元30，其對(duì)被加工物進(jìn)行清洗；切削單元40(參照?qǐng)D2)，其配置在殼體2的內(nèi)部并且對(duì)被加工物進(jìn)行切削；以及搬送單元50，其在盒載置部10、保持單元20和清洗單元30之間對(duì)被加工物進(jìn)行搬送。另外，在圖1中，為了示出盒載置部10、保持單元20、清洗單元30和搬送單元50，省略了對(duì)殼體2的一部分的記載。

這里，被加工物并沒有特別地限定，例如，是以硅、金剛石、鎵等為主要材料的板狀的半導(dǎo)體晶片或光器件晶片、陶瓷、玻璃、金剛石類的板狀的無機(jī)材料基板、金屬或樹脂等的板狀的延展性材料等各種板狀的加工材料。

盒載置部10能夠?qū)ξ磮D示的盒進(jìn)行載置，該盒具有將多個(gè)被加工物一張張?jiān)趜軸方向上區(qū)分而收納的收納部。盒載置部10是在z軸方向上自由升降的、所謂的盒升降臺(tái)，將未圖示的盒定位在z軸方向上的規(guī)定的位置。

保持單元20構(gòu)成為能夠沿x軸方向在對(duì)被加工物進(jìn)行搬出搬入的圖1所示的搬出搬入位置與對(duì)被加工物進(jìn)行切削加工的圖2所示的加工位置之間移動(dòng)。如圖2所示，保持單元20具有：卡盤工作臺(tái)21，其能夠?qū)Ρ患庸の镞M(jìn)行保持；旋轉(zhuǎn)單元22，其使卡盤工作臺(tái)21旋轉(zhuǎn)；卡盤工作臺(tái)支承基臺(tái)23，其借助旋轉(zhuǎn)單元22對(duì)卡盤工作臺(tái)21進(jìn)行支承；以及加工進(jìn)給單元24，其使卡盤工作臺(tái)21在x軸方向(加工進(jìn)給方向)上移動(dòng)。進(jìn)而，如圖1所示，保持單元20具有：矩形的蓋板25，其圍繞卡盤工作臺(tái)21；以及折皺狀罩26，其安裝在蓋板25的x軸方向的兩側(cè)。另外，在圖2中，省略了對(duì)蓋板25和折皺狀罩26的記載。

卡盤工作臺(tái)21例如由多孔陶瓷構(gòu)成而具有對(duì)被加工物進(jìn)行吸附保持的圓盤狀的保持面21a。保持面21a形成為與水平方向平行且平坦。旋轉(zhuǎn)單元22具有電動(dòng)機(jī)等未圖示的驅(qū)動(dòng)源，使卡盤工作臺(tái)21繞著z軸在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。卡盤工作臺(tái)支承基臺(tái)23自由滑動(dòng)地支承在一對(duì)導(dǎo)軌24a上，該一對(duì)導(dǎo)軌24a沿著x軸方向形成在殼體2上。加工進(jìn)給單元24具有：上述一對(duì)導(dǎo)軌24a；沿x軸方向在一對(duì)導(dǎo)軌24a之間延伸的滾珠絲杠24b；以及作為驅(qū)動(dòng)源的脈沖電動(dòng)機(jī)24c，該加工進(jìn)給單元24使卡盤工作臺(tái)支承基臺(tái)23相對(duì)于殼體2在x軸方向(加工進(jìn)給方向)上相對(duì)移動(dòng)。蓋板25固定在卡盤工作臺(tái)21上，與卡盤工作臺(tái)21一起在x軸方向上移動(dòng)。折皺狀罩26由布等自由折疊的適當(dāng)?shù)牟牧蠘?gòu)成，對(duì)卡盤工作臺(tái)21和蓋板25的移動(dòng)區(qū)域進(jìn)行覆蓋，隨著卡盤工作臺(tái)支承基臺(tái)23的移動(dòng)而沿著x軸方向伸縮。通過蓋板25和折皺狀罩26來防止切削加工時(shí)產(chǎn)生的切削屑或切削水向加工進(jìn)給單元24側(cè)落下。

清洗單元30具有：對(duì)加工后的被加工物進(jìn)行保持的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)31；未圖示的清洗液噴射裝置；以及未圖示的氣體噴射裝置。清洗單元30一邊通過未圖示的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源使旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)31旋轉(zhuǎn)一邊從清洗液噴射裝置對(duì)加工后的被加工物噴射清洗液，從而對(duì)該被加工物進(jìn)行清洗。并且，清洗單元30通過從氣體噴射裝置對(duì)清洗后的被加工物噴射氣體而使該被加工物干燥。

切削單元40以能夠在y軸方向和z軸方向上移動(dòng)的方式安裝在設(shè)置于殼體2的門型的柱部3上。如圖2所示，切削單元40具有：作為加工單元的兩個(gè)切削刀具41，它們對(duì)保持在卡盤工作臺(tái)21上的被加工物進(jìn)行加工；兩個(gè)主軸42，它們供各切削刀具41安裝；兩個(gè)外殼43，它們對(duì)各主軸42進(jìn)行支承；以及作為移動(dòng)單元的分度進(jìn)給單元44和切入進(jìn)給單元45，它們使卡盤工作臺(tái)21與各切削刀具41相對(duì)移動(dòng)。

切削刀具41是形成為極薄的圓板狀而且呈環(huán)狀的切削磨具。主軸42將切削刀具41安裝成能夠裝拆。外殼43具有電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)源，將主軸42支承為繞y軸自由旋轉(zhuǎn)。

分度進(jìn)給單元44和切入進(jìn)給單元45具有實(shí)施方式的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60。分度進(jìn)給單元44具有：作為移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的y軸移動(dòng)單元44a；以及移動(dòng)體44b，其安裝在y軸移動(dòng)單元44a上。y軸移動(dòng)單元44a具有：固定件，其固定在柱部3上；以及移動(dòng)件，其安裝在該固定件上并且能夠沿著y軸方向移動(dòng)。移動(dòng)體44b安裝在y軸移動(dòng)單元44a的移動(dòng)件上，能夠與移動(dòng)件一起在y軸方向上移動(dòng)。在移動(dòng)體44b上固定有切入進(jìn)給單元45。

切入進(jìn)給單元45具有：作為移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的z軸移動(dòng)單元45a；以及移動(dòng)體45b，其安裝在z軸移動(dòng)單元45a上。z軸移動(dòng)單元45a具有：固定件，其固定在分度進(jìn)給單元44的移動(dòng)體44b上；以及移動(dòng)件，其安裝在該固定件上并且能夠沿著z軸方向移動(dòng)。移動(dòng)體45b安裝在z軸移動(dòng)單元45a的移動(dòng)件上，能夠與該移動(dòng)件一起在z軸方向上移動(dòng)。在移動(dòng)體45b上固定有外殼43。

通過上述的結(jié)構(gòu)，分度進(jìn)給單元44能夠借助切入進(jìn)給單元45、外殼43和主軸42使各切削刀具41相對(duì)于柱部3(殼體2)在y軸方向(分度進(jìn)給方向)上相對(duì)移動(dòng)。并且，切入進(jìn)給單元45能夠借助外殼43和主軸42使各切削刀具41相對(duì)于柱部3(殼體2)在z軸方向(切入進(jìn)給方向)上相對(duì)移動(dòng)。即，分度進(jìn)給單元44和切入進(jìn)給單元45能夠通過加工進(jìn)給單元24使切削刀具41相對(duì)于定位在殼體2上的卡盤工作臺(tái)21相對(duì)移動(dòng)。由此，能夠通過切削刀具41對(duì)保持在卡盤工作臺(tái)21的保持面21a上的被加工物進(jìn)行切削加工。

搬送單元50具有第1搬送單元51、第2搬送單元52和第3搬送單元53。第1搬送單元51、第2搬送單元52和第3搬送單元53具有實(shí)施方式的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60。

第1搬送單元51具有：作為移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的y軸移動(dòng)單元51a；以及臂51b，其安裝在y軸移動(dòng)單元51a上。y軸移動(dòng)單元51a具有：固定件，其固定在殼體2上；以及移動(dòng)件，其安裝在該固定件上并且能夠沿著y軸方向移動(dòng)。臂51b安裝在y軸移動(dòng)單元51a的移動(dòng)件上，能夠與該移動(dòng)件一起沿著y軸方向移動(dòng)。臂51b具有形成在前端部的夾具51c。夾具51c形成為能夠?qū)d置在盒載置部10上的未圖示的盒內(nèi)的被加工物之一進(jìn)行把持。第1搬送單元51將通過臂51b的夾具51c把持的被加工物搬送到形成于卡盤工作臺(tái)21的兩側(cè)部的一對(duì)定位棒4上。這里，一對(duì)定位棒4以能夠在x軸方向上移動(dòng)的方式安裝在殼體2上，通過在載置有被加工物的狀態(tài)下互相接近而能夠?qū)⒈患庸の镌诳ūP工作臺(tái)21的上方配置成與保持面21a為同心圓狀。

第2搬送單元52具有：作為移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的y軸移動(dòng)單元52a；以及臂52b，其安裝在y軸移動(dòng)單元52a上并能夠在z軸方向上伸縮。y軸移動(dòng)單元52a具有：固定件，其固定在殼體2上；以及移動(dòng)件，其安裝在該固定件上并且能夠沿著y軸方向移動(dòng)。臂52b安裝在y軸移動(dòng)單元52a的移動(dòng)件上，能夠與該移動(dòng)件一起沿著y軸方向移動(dòng)。臂52b在形成于其前端部的h型的支架的前端具有真空吸附式的墊52c。墊52c能夠?qū)Ρ患庸の镞M(jìn)行吸附保持。第2搬送單元52通過墊52c對(duì)由第1搬送單元51載置在定位棒4上的被加工物進(jìn)行吸附，將該被加工物移動(dòng)到卡盤工作臺(tái)21的保持面21a上。并且，第2搬送單元52通過墊52c對(duì)由清洗單元30清洗后的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)31上的被加工物進(jìn)行吸附，將該被加工物搬送到一對(duì)定位棒4上。另外，通過第1搬送單元51將由第2搬送單元52搬送到一對(duì)定位棒4上的清洗后的被加工物再次搬送到未圖示的盒內(nèi)。

第3搬送單元53具有：作為移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的y軸移動(dòng)單元53a；以及臂53b，其安裝在y軸移動(dòng)單元53a上并能夠在z軸方向上伸縮。y軸移動(dòng)單元53a具有：固定件，其固定在殼體2上；移動(dòng)件，其安裝在該固定件上并且能夠沿著y軸方向移動(dòng)。臂53b安裝在y軸移動(dòng)單元53a的移動(dòng)件上，能夠與該移動(dòng)件一起沿著y軸方向移動(dòng)。臂53b在形成于其前端部的h型的支架的前端具有真空吸附式的墊53c。墊53c能夠?qū)Ρ患庸の镞M(jìn)行吸附保持。第3搬送單元53通過墊53c對(duì)卡盤工作臺(tái)21的保持面21a上的被加工物進(jìn)行吸附，將該被加工物搬送到清洗單元30的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)31上。

接著，對(duì)實(shí)施方式的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60進(jìn)行詳細(xì)地說明。如上述那樣，在本實(shí)施方式的加工裝置1中，移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60是分度進(jìn)給單元44的y軸移動(dòng)單元44a、切入進(jìn)給單元45的z軸移動(dòng)單元45a、第1搬送單元51的y軸移動(dòng)單元51a、第2搬送單元52的y軸移動(dòng)單元52a以及第3搬送單元53的y軸移動(dòng)單元53a。圖3是示出移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的立體圖，圖4是示出移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的分解立體圖，圖5是示出移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的剖視圖。另外，在圖3和圖4中省略了對(duì)移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的兩端部的記載。

移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60具有：一對(duì)導(dǎo)軌61，它們?cè)O(shè)置在基臺(tái)5(參照?qǐng)D5)上；作為驅(qū)動(dòng)源的脈沖電動(dòng)機(jī)62；滾珠絲杠63，其設(shè)置在一對(duì)導(dǎo)軌61之間，借助脈沖電動(dòng)機(jī)62而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；罩單元64，其沿著導(dǎo)軌61和滾珠絲杠63延伸，對(duì)導(dǎo)軌61和滾珠絲杠63進(jìn)行覆蓋而防止涂布在滾珠絲杠63上的潤(rùn)滑油飛散；以及滑塊65，其具有與滾珠絲杠63螺合的內(nèi)螺紋并沿著導(dǎo)軌61移動(dòng)。在移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的構(gòu)成要素中，一對(duì)導(dǎo)軌61、脈沖電動(dòng)機(jī)62、滾珠絲杠63和罩單元64是上述固定件，滑塊65是上述移動(dòng)件。并且，在分度進(jìn)給單元44中，基臺(tái)5對(duì)應(yīng)的是柱部3，在切入進(jìn)給單元45中，基臺(tái)5對(duì)應(yīng)的是分度進(jìn)給單元44的移動(dòng)體44b，在第1搬送單元51、第2搬送單元52、第3搬送單元53中，基臺(tái)5對(duì)應(yīng)的是殼體2。

一對(duì)導(dǎo)軌61在基臺(tái)5上沿著滑塊65的移動(dòng)方向a(參照?qǐng)D3所示的實(shí)線箭頭)延伸。滾珠絲杠63沿著滑塊65的移動(dòng)方向在一對(duì)導(dǎo)軌61之間延伸，其一端被未圖示的固定部固定在基臺(tái)5上。

如圖3和圖5所示，罩單元64具有：流槽狀部件641，其具有沿著滑塊65的移動(dòng)方向a即滾珠絲杠伸展方向a延伸的蓋體641a和配設(shè)在蓋體641a的兩側(cè)并沿著滾珠絲杠伸展方向a延伸的側(cè)板641b，該流槽狀部件641的截面為大致コ字形(矩形的框去掉一條邊的形狀)；固定部642(參照?qǐng)D1)，其按照如下方式對(duì)流槽狀部件641進(jìn)行定位：利用滾珠絲杠伸展方向a的兩端部將流槽狀部件641固定在基臺(tái)5上，并利用コ字形的內(nèi)側(cè)對(duì)導(dǎo)軌61和滾珠絲杠63進(jìn)行覆蓋，使作為コ字形的前端的側(cè)板641b的前端641t與基臺(tái)5空出間隙70。

如圖3所示，流槽狀部件641的蓋體641a沿著一對(duì)導(dǎo)軌61形成。如圖5所示，蓋體641a從與基臺(tái)5相反的一側(cè)對(duì)導(dǎo)軌61和滾珠絲杠63進(jìn)行覆蓋。流槽狀部件641的側(cè)板641b從沿著蓋體641a的滾珠絲杠伸展方向a延伸的兩緣部朝向基臺(tái)5側(cè)在與滾珠絲杠伸展方向a平行的方向上延伸。另外，如果側(cè)板641b從蓋體641a的兩端部朝向基臺(tái)5側(cè)在與滾珠絲杠伸展方向a交叉的方向上延伸，則側(cè)板641b也可以不在與滾珠絲杠伸展方向a平行的方向上延伸。即，側(cè)板641b也可以從蓋體641a的兩端部朝向基臺(tái)5側(cè)以相對(duì)于滾珠絲杠伸展方向a呈銳角或鈍角的方式延伸。

如圖1所示，罩單元64在固定部642固定在基臺(tái)5上。只要能夠在流槽狀部件641的側(cè)板641b與基臺(tái)5之間形成上述間隙70，則固定部642可以具有任何構(gòu)造。例如，可以考慮預(yù)先在流槽狀部件641的兩端部設(shè)置朝向基臺(tái)5延伸的未圖示的突出部并通過緊固件等將該突出部固定在基臺(tái)5上的方法以及預(yù)先在基臺(tái)5上設(shè)置朝向流槽狀部件641的側(cè)板641b延伸的未圖示的突出部并通過緊固件等將該突出部固定在流槽狀部件641的側(cè)板641b上的方法等。

滑塊65包含：主體部65a，其與滾珠絲杠63螺合，并相對(duì)于導(dǎo)軌61滑動(dòng)；支架部65b，其從主體部65a向?qū)к?1的兩外側(cè)延伸，鉆過基臺(tái)5與上述流槽狀部件641之間的該間隙70而沿著側(cè)板641b立起；以及移動(dòng)體65c，其遍及立起的支架部65b的兩端部而橫跨上述流槽狀部件641并固定。

主體部65a具有一對(duì)凹部650，該一對(duì)凹部650自由滑動(dòng)與一對(duì)導(dǎo)軌61嵌合。主體部65a構(gòu)成為在其內(nèi)部形成有未圖示的螺母，該螺母具有與滾珠絲杠63螺合的內(nèi)螺紋，未圖示的多個(gè)滾珠在該未圖示的螺母與滾珠絲杠63之間滾動(dòng)。因此，為了對(duì)未圖示的螺母與多個(gè)滾珠之間進(jìn)行潤(rùn)滑而在滾珠絲杠63上涂布例如被稱為潤(rùn)滑脂的潤(rùn)滑油。在主體部65a與固定在基臺(tái)5上的罩單元64的流槽狀部件641的蓋體641a之間形成有間隙。

各支架部65b從主體部65a的基臺(tái)5側(cè)的端部朝向與該基臺(tái)5相反的一側(cè)延伸。如圖5所示，從滾珠絲杠63的伸展方向a來看各支架部65b的截面呈l字形狀。各支架部65b在其與固定在基臺(tái)5上的罩單元64的流槽狀部件641的側(cè)板641b之間形成間隙，并圍繞該側(cè)板641b的一部分延伸。這樣，各支架部65b與流槽狀部件641的側(cè)板641b一邊空出間隙一邊互相交織地延伸。

移動(dòng)體65c通過螺釘而緊固在各支架部65b的與主體部65a相反的一側(cè)的端部上。另外，支架部65b與移動(dòng)體65c的固定方法也可以是例如預(yù)先在兩部件上形成卡合部等任何方法。在分度進(jìn)給單元44中則在移動(dòng)體65c上安裝移動(dòng)體44b，在切入進(jìn)給單元45中則在移動(dòng)體65c上安裝移動(dòng)體45b，在第1搬送單元51中則在移動(dòng)體65c上安裝臂51b，在第2搬送單元52中則在移動(dòng)體65c上安裝臂52b，在第3搬送單元53中則在移動(dòng)體65c上安裝臂53b。如圖5所示，在移動(dòng)體65c與固定在基臺(tái)5上的罩單元64的流槽狀部件641的蓋體641a之間形成有間隙。

根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，在移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60中，能夠通過罩單元64的流槽狀部件641所具有的蓋體641a和側(cè)板641b對(duì)一對(duì)導(dǎo)軌61和滾珠絲杠63的與基臺(tái)5相反的一側(cè)的區(qū)域進(jìn)行覆蓋。并且，在移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60中，在滑塊65與固定在基臺(tái)5上的罩單元64的流槽狀部件641之間形成有間隙，滑塊65能夠隨著滾珠絲杠63的旋轉(zhuǎn)而不與流槽狀部件641接觸地沿著一對(duì)導(dǎo)軌61移動(dòng)。

圖6是作為比較例示出了具有罩單元64b的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60b的立體圖，圖7是示出移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60b的剖視圖。如圖示的那樣，移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60b的罩單元64b是從罩單元64的流槽狀部件641省略了側(cè)板641b而得到的。這樣，在從流槽狀部件641省略了側(cè)板641b的罩單元64b的情況，如圖6和圖7所示，在一對(duì)導(dǎo)軌61與流槽狀部件641之間形成有間隙80。因此，在使滑塊65沿著一對(duì)導(dǎo)軌61移動(dòng)時(shí)，如圖7中實(shí)線箭頭所示的那樣，存在如下的擔(dān)心：涂布在滾珠絲杠63上的潤(rùn)滑油因主體部65a的未圖示的螺母與滾珠絲杠63的嚙合而經(jīng)由該間隙80向移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60b的周邊飛散。其結(jié)果是，當(dāng)潤(rùn)滑油附著在被加工物的表面上時(shí)，存在妨礙被加工物的品質(zhì)提高的擔(dān)心。

在本實(shí)施方式的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60中，能夠通過罩單元64的流槽狀部件641的蓋體641a和側(cè)板641b對(duì)一對(duì)導(dǎo)軌61和滾珠絲杠63的與基臺(tái)5相反的一側(cè)的區(qū)域進(jìn)行覆蓋而不形成圖7所示的間隙80。由此，能夠通過流槽狀部件641、特別是側(cè)板641b來良好地抑制涂布在滾珠絲杠63上的潤(rùn)滑油因滑塊65的主體部65a的未圖示的螺母與滾珠絲杠63的嚙合而向移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的周邊飛散。并且，通過使滑塊65的支架部65b沿著流槽狀部件641的側(cè)板641b立起，支架部65b和側(cè)板641b一邊空出間隙一邊互相交織地延伸，因此能夠更好地抑制潤(rùn)滑油從支架部65b與側(cè)板641b之間漏出。其結(jié)果是，能夠不使?jié)櫥透街诒患庸の锏谋砻嫔?，?shí)現(xiàn)被加工物的品質(zhì)提高。

進(jìn)而，在本實(shí)施方式的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60中，能夠不使滑塊65與流槽狀部件641接觸而使滑塊65沿著一對(duì)導(dǎo)軌61移動(dòng)。由此，與例如在滑塊65的兩端部設(shè)置對(duì)滾珠絲杠63進(jìn)行覆蓋的折皺狀的罩的情況相比，能夠確保滑塊65的可動(dòng)區(qū)域。并且，通過不使滑塊65和流槽狀部件641接觸，能夠良好地抑制滑塊65和流槽狀部件641發(fā)生損傷。

如以上說明的那樣，在實(shí)施方式的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60和加工裝置1中，通過對(duì)導(dǎo)軌61和滾珠絲杠63進(jìn)行覆蓋的罩單元64的具有蓋體641a和側(cè)板641b的流槽狀部件641，能夠良好地抑制涂布在滾珠絲杠63上的潤(rùn)滑油向周邊飛散。并且，由于使滑塊65不與流槽狀部件641接觸而進(jìn)行移動(dòng)，所以能夠一邊抑制在滑塊65或流槽狀部件641上產(chǎn)生損傷，一邊確?；瑝K65的可動(dòng)區(qū)域。

另外，在本實(shí)施方式中，對(duì)分度進(jìn)給單元44、切入進(jìn)給單元45、第1搬送單元51、第2搬送單元52和第3搬送單元53應(yīng)用了移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60，但也可以僅將移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60應(yīng)用于這些單元中的任意單元。

圖8是示出變形例的移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60c的剖視圖。如圖示的那樣，移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60c除了上述移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的結(jié)構(gòu)以外還具有從基臺(tái)5延伸的兩個(gè)板體66。兩個(gè)板體66位于比滑塊65的支架部65b靠外側(cè)(主體部65a相對(duì)于支架部65b的相反側(cè))的位置，并且沿著該支架部65b延伸。由此，能夠通過板體66來更好地抑制涂布在滾珠絲杠63上的潤(rùn)滑油因滑塊65的主體部65a的未圖示的螺母與滾珠絲杠63的嚙合而向移動(dòng)體進(jìn)給機(jī)構(gòu)60的周邊飛散。特別是在圖8的下側(cè)成為鉛直方向的下側(cè)的情況下，能夠通過配置在下側(cè)的板體66來良好地抑制被罩單元64的流槽狀部件641的側(cè)板641b擋住的潤(rùn)滑油朝向下方落下。